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PtSi超薄膜厚度的一种检测方法研究 被引量：7
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作者 刘爽 宁永功 +5 位作者 张毅 张怀武 陈艾 刘俊刚 杨家德 李昆 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1447-1450,共4页
介绍了采用角分辨X 射线光电子解谱 (angleresolvedX rayphotoelectricspectrum(ARXPS) )测试薄膜不同角度光电子能谱强度 ,计算电子平均自由程 ,从而计算出PtSi超薄膜厚度的方法 ,并给出其透射电子显微镜 (TEM)晶格象验证结果 .实验表... 介绍了采用角分辨X 射线光电子解谱 (angleresolvedX rayphotoelectricspectrum(ARXPS) )测试薄膜不同角度光电子能谱强度 ,计算电子平均自由程 ,从而计算出PtSi超薄膜厚度的方法 ,并给出其透射电子显微镜 (TEM)晶格象验证结果 .实验表明该方法简单易行 。 展开更多
关键词 PtSi超薄膜 小角度X射线电子能谱 tem晶格象 厚度
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