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金属氧化物半导体TFT器件的膜层均一性研究
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作者 朱晖 《电子世界》 CAS 2021年第7期89-91,共3页
金属氧化物薄膜晶体管(TFT)具有较好的光电特性,在新型显示器件中应用前景广泛。本论文重点针对金属氧化物TFT器件的IWZO膜层的成膜均一性进行了研究。从磁场、成膜功率、O_2分压等工艺参数角度出发,研究了IWZO膜层均一性与成膜工艺参... 金属氧化物薄膜晶体管(TFT)具有较好的光电特性,在新型显示器件中应用前景广泛。本论文重点针对金属氧化物TFT器件的IWZO膜层的成膜均一性进行了研究。从磁场、成膜功率、O_2分压等工艺参数角度出发,研究了IWZO膜层均一性与成膜工艺参数的关系,并探讨了改善膜层均一性的具体工艺参数和方法。 展开更多
关键词 金属氧化物半导体 tft器件 均一性 新型显示器件 成膜工艺 光电特性 膜层
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TFT器件过孔腐蚀机理研究及改善
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作者 董康旭 孟盼盼 +1 位作者 陈甫 邢宝宝 《中国金属通报》 2019年第12期246-250,共5页
通过原电池反应模型模拟,研究了TFT器件过孔腐蚀的机理。从材料的选择、过孔的形貌、金属间界面及表面防护四个方面,提出了提升过孔抗腐蚀能力的方向和详细措施。减少金属间的电势差和去除界面电解质溶液残留,是提升TFT器件过孔抗腐蚀... 通过原电池反应模型模拟,研究了TFT器件过孔腐蚀的机理。从材料的选择、过孔的形貌、金属间界面及表面防护四个方面,提出了提升过孔抗腐蚀能力的方向和详细措施。减少金属间的电势差和去除界面电解质溶液残留,是提升TFT器件过孔抗腐蚀能力的主要方向。 展开更多
关键词 过孔腐蚀 tft器件 原电池腐蚀反应模型 电势差
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TFT阵列金属电极的制备与性能 被引量:4
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作者 王大海 杨柏梁 +5 位作者 吴渊 刘传珍 李牧菊 李轶华 张玉 廖燕平 《液晶与显示》 CAS CSCD 2000年第4期260-267,共8页
利用磁控溅射的方法制备了 Cr、Ta、Al、Mo、Mo W等金属薄膜 ,采用 XRD、SEM、四探针法等分析手段分析了薄膜的性能。讨论了衬底温度、反应气压、溅射功率、气体流量等因素对薄膜质量的影响 ,得到了制作 TFT器件中优质金属电极的工艺参数。
关键词 磁控溅射 tft器件 溅射速率 金属薄膜 金属电极
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TFT栅线及阵列的缺陷分析 被引量:3
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作者 柳江虹 马凯 《液晶与显示》 CAS CSCD 1999年第2期126-130,共5页
对TFT(ThinFilmTransistor)的栅线及阵列缺陷的表现及成因进行了分析。在实际工艺过程中避免这些缺陷有利于提高器件成品率。
关键词 tft器件 阵列缺陷 刻蚀 液晶显示器
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TFT制造工艺简化
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《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期659-659,共1页
三星电子公司开发了三次套刻工艺来制造TFT器件。一般TFT制造采用四次或五次套刻工艺来完成。采用三次套刻工艺后,比四次套刻工艺不仅提高生产能力20%,而且节省原材料、缩短生产节拍,将提高产量,提高竞争力。
关键词 tft器件 工艺简化 三星电子公司 生产能力 生产节拍 套刻 原材料
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项目简介
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作者 黄锡珉 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期277-277,共1页
有机发光器件(OLED)具有薄而轻、低电压、低功耗、高亮度、快速响应、宽视角、高对比度、彩色显示等许多优点。被认为具有非常发展前景的下一代平板显示技术,引起人们的高度关注。OLED主要应用于手机、车载和机载仪器仪表显示、摄像... 有机发光器件(OLED)具有薄而轻、低电压、低功耗、高亮度、快速响应、宽视角、高对比度、彩色显示等许多优点。被认为具有非常发展前景的下一代平板显示技术,引起人们的高度关注。OLED主要应用于手机、车载和机载仪器仪表显示、摄像机、PC、TV等,其市场近几年将发展成40~50亿美元。高性能、高品位OLED显示必需采用TFT—OLED技术。由于OLED电流驱动特点,在TFT—OLED像素电路中至少有两个以上TFT器件和存储电容器, 展开更多
关键词 OLED技术 tft器件 简介 项目 有机发光器件 平板显示技术 LED显示 快速响应 高对比度
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The effect of MWCNTs on the performance of α-sexithiophene OTFT device and its gas-sensing property
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作者 TAI HuiLing ZHANG Bo +2 位作者 DUAN ChengLi XIE GuangZhong JIANG YaDong 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2014年第6期1101-1108,共8页
In this paper,bottom contact organic thin-film transistor(OTFT)gas sensors were prepared.Silicon dioxide(SiO2)and titanium/aurum(Ti/Au)were used as the insulating layer and the electrode for the device,respectively.Th... In this paper,bottom contact organic thin-film transistor(OTFT)gas sensors were prepared.Silicon dioxide(SiO2)and titanium/aurum(Ti/Au)were used as the insulating layer and the electrode for the device,respectively.The multi-walled carbon nanotubes(MWCNTs)/α-sexithiophene(α-6T)bilayer films were used as the active layer,andα-6T single layer sensitive film was also prepared for comparison purpose.The electrical and trace NO2-sening properties of these two OTFT gas sensors were tested and analyzed.The results showed that,the OTFT device based on MWCNTs/α-6T bilayer had obviously better electrical properties,better stabilities and higher NO2-sening response values than the device withα-6T single layer,in which both the carrier mobility(μ)and on/off current ratio enhanced two order of magnitude.The improved performance of bilayer OTFT can be explained that MWCNTs acted as highly conducting bridges connecting the crystalline terraces in theα-6T film.Threshold voltage(VT),carrier mobility,on/off current ratio and grid current which showed extremely similar variation trend as source-drain current,were optional parameters to reveal the gas-sensing characteristic of OTFT gas sensors.Morphology analysis showed that the special feature of MWCNTs had certain influence on the gas-sensing properties. 展开更多
关键词 多壁碳纳米管 tft器件 气敏特性 电性能 噻吩 有机薄膜晶体管 气体传感器 载流子迁移率
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溶液法制备低电压及高性能非晶GaSnO薄膜晶体管(英文) 被引量:2
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作者 任锦华 李凯文 +5 位作者 杨建文 林东 康皓清 邵晶晶 傅若凡 张群 《Science China Materials》 SCIE EI CSCD 2019年第6期803-812,共10页
本文以乙二醇单甲醚为溶剂,采用旋涂法制备了GaSnO半导体薄膜,研究了不同Ga掺杂含量和退火温度条件下薄膜的晶体结构、光学性质、化学价态和表面形貌信息,同时研究了GaSnO薄膜晶体管的电学性质.接着采用高k值的Al_2O_3薄膜作为介质层,... 本文以乙二醇单甲醚为溶剂,采用旋涂法制备了GaSnO半导体薄膜,研究了不同Ga掺杂含量和退火温度条件下薄膜的晶体结构、光学性质、化学价态和表面形貌信息,同时研究了GaSnO薄膜晶体管的电学性质.接着采用高k值的Al_2O_3薄膜作为介质层,将上述优化好的GaSnO薄膜作为沟道层,制备了GaSnO/Al_2O_3薄膜晶体管.实验研究发现,器件的性能得到了显著的提升,工作电压仅为2 V,最大场效应迁移率为69 cm^2V^(-1)s^(-1),阈值电压为0.67 V,电流开关比为1.8×10~7.溶液法制备的非晶GaSnO薄膜晶体管可能会促进高性能无铟TFT器件以及低功耗、低成本电子器件的开发. 展开更多
关键词 薄膜晶体管 溶液法 制备 性能 非晶 低电压 AL2O3薄膜 tft器件
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The mobility improvement of organic thin film transistors by introducing Zn O-nanrods as an zctive layer
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作者 XIE Tao XIE Guang Zhong +3 位作者 DU Hong Fei YE Zong Biao SU Yuan Jie CHEN Yu Yan 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第5期714-720,共7页
Organic thin film transistors(OTFTs) based on poly(3-hexylthiophene)(P3HT)/Zinc oxide(ZnO) nanorods composite films as the active layers were prepared by spray-coating process. The OTFTs with P3HT/ZnO-nanorods composi... Organic thin film transistors(OTFTs) based on poly(3-hexylthiophene)(P3HT)/Zinc oxide(ZnO) nanorods composite films as the active layers were prepared by spray-coating process. The OTFTs with P3HT/ZnO-nanorods composite films owned higher carriers mobility than the OTFT based on pure P3 HT. It can be found that the mobility of OTFTs increased by 135% due to ZnO-nanorods doping. This was attributed to the improvement of the P3 HT crystallinity and the optimization of polymer chains orientation. Meanwhile, because of the distinction of work function between P3 HT and ZnO, the majority carriers would accumulate on either side of the P3HT-ZnO interface which benefited carrier transfer. The influence on the mobility of composite film was studied. In addition, the threshold voltage of devices changed positively with the increase of ZnO-nanorods due to the decrease of electrostatic potential for P3HT/ZnO-nanorods composite films. The effect could be explained by the energy level theory of semiconductor. 展开更多
关键词 有机薄膜晶体管 载流子迁移率 ZnO 氧化锌纳米棒 tft器件 E层 复合薄膜 3-己基噻吩
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