PECVD a-Si:H薄膜对TFT有源矩阵性能的影响及其淀积工艺研究

分析了a－Si：HTFT有源层──a－Si：H薄膜质量和厚度对于a－Si：HTFT关键性指标（通断电流比、阈值电压、响应时间、开口率）的影响，深入、详细地研究了PECVD衬底温度、RF功率和频率、气体流量和反应室气压等淀积工艺参数对a—Si：H薄膜组分、结构的影响，并在实验的基础上给出了它们之间的关系曲线，确定了最佳淀积工艺参数，从而获得了高性能的7.5cm372×276象素a－Si：HTFT有源矩阵。

康柏Presario 1260弄潮Internet

康柏日前推出Presario 1260笔记本电脑。 康柏Presario 1260系列笔记本电脑是针对个人和消费者而设计的新一代移动计算工具。 康柏Presario 1260笔记本电脑的基本配置为:具有3D Now！TM技术的333MHz AMD K6-2处理器,12.1英寸TFT有源矩阵液晶显示屏、512KB二级流水线猝发式高速缓存、64MB SyncDRAM（可升级至160MB）、4.0GB集成硬盘、3.5英寸1.44MB磁盘驱动器和24倍速基础光驱。康柏Presario 1260笔记本电脑具有强大的3D图形处理功能。高性能的128位3D图形加速器集成2MB视频内存,能够轻松自如地实现MPEG全动态视频回放。Presario