THERMCO水平氧化炉外点火系统保护措施分析

本文简要介绍了外点火工艺在半导体生产中的作用及制备氧化膜中各种方法的特点比较。描述了THERMCO水平氧化炉外点火系统的三部分组成部件:加热器、点火器以及保护措施。具体分析了THERMCO水平氧化炉外点火系统在工艺过程中会触发的软件及硬件的保护事件:H2事件、O2事件、RATIO H2事件、PYRO LOW事件、HI H2 FL事件以及NO TORCH事件,同时描述了相关保护措施的调节方法及步骤。最后介绍了THERMCO水平氧化炉外点火工艺中常见故障的分析。

七星电子12英寸立式氧化炉实现产业化

北京七星华创电子股份有限公司（简称＂七星电子＂）与上海华力微电子有限公司签订2台12英寸（1英寸=2.54 cm）立式氧化炉供销合同,用于其55 nm集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后,又一次在国内高端集成电路生产领域取得突破,开始走向商用化。近年来,七星电子承担了12英寸立式氧化炉的研制任务。

旋风炉制钙镁磷肥配料的研究

一、前言钙镁磷肥是当前国内产量最大的两个磷肥品种之一,是一种枸溶性肥料,具有不吸潮、不结块、无毒性、无臭味及无腐蚀性等优良性质,故有利于包装、运输、贮存和施用。生产方法以高炉法为主,采用块状磷矿为原料,焦炭为燃料。指导配料的理论。