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圆柱腔内微波等离子体激励的研究 被引量：1
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作者 廖斌 张莲 +1 位作者 安同一 朱守正 《华东师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期52-57,共6页
根据谐振腔理论,证明圆柱反应腔内的主模为TM01p模,并在圆柱坐标下采用FD-TD数值方法求解圆柱形反应腔中的场分布情况,改善和提高微波等离子体反应装置的激励性能.等离子体实际分布与场分布的预测结果基本吻合.
关键词 微波等离子体 圆柱腔 tm01p模 FD-TD数值方法
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