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薄膜型TMA气体传感器的研制
被引量:
2
1
作者
管玉国
戴国瑞
+1 位作者
南金
朱勇
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1997年第4期38-43,共6页
本文报道了采用等离子体CVD方法制备Fe^2O^3/TiO^2薄膜材料,并用浸渍法对表面修饰了In,制成了检测鱼鲜度了TMA的薄膜气体传感器,并具有很好的灵敏度、选择性、稳定性和响应、恢复特性。
关键词
气体
传感器
tma气体
表面修饰
传感器
敏感器件
下载PDF
职称材料
题名
薄膜型TMA气体传感器的研制
被引量:
2
1
作者
管玉国
戴国瑞
南金
朱勇
机构
吉林大学电子工程系
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1997年第4期38-43,共6页
文摘
本文报道了采用等离子体CVD方法制备Fe^2O^3/TiO^2薄膜材料,并用浸渍法对表面修饰了In,制成了检测鱼鲜度了TMA的薄膜气体传感器,并具有很好的灵敏度、选择性、稳定性和响应、恢复特性。
关键词
气体
传感器
tma气体
表面修饰
传感器
敏感器件
Keywords
sensorstrimethylamine gases surface modification
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN379 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
薄膜型TMA气体传感器的研制
管玉国
戴国瑞
南金
朱勇
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1997
2
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