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薄膜型TMA气体传感器的研制 被引量:2
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作者 管玉国 戴国瑞 +1 位作者 南金 朱勇 《传感技术学报》 CAS CSCD 1997年第4期38-43,共6页
本文报道了采用等离子体CVD方法制备Fe^2O^3/TiO^2薄膜材料,并用浸渍法对表面修饰了In,制成了检测鱼鲜度了TMA的薄膜气体传感器,并具有很好的灵敏度、选择性、稳定性和响应、恢复特性。
关键词 气体传感器 tma气体 表面修饰 传感器 敏感器件
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