一种利用台阶仪测量弹性模量及残余应力的方法

在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量.提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用数值方法计算出弹性模量.采用低压化学气相淀积方法制备多晶硅双支梁.应用该方法测量得到多晶硅的弹性模量值为163GPa,残余应力为20.8MPa.

浅谈Kelvin四线测试技术以及在ATE测试中的应用

介绍了开尔文(Kelvin)四线连接方式的原理及Kelvin连接在ATE(Automated Test Equipment,自动测试设备)测试中的应用,通过列举STS8200测试系统应用Kelvin四线连接方式的例子,说明Kelvin连接方式在ATE测试系统中的重要性。