多轴精密机械手关键技术研究

随着科技的进步和市场需求的剧增,半导体器件的生产(如半导体激光、LED等)必须步入大规模机械化进程才能满足要求。而半导体器件的自动化生产必须解决的瓶颈问题,就是要实现半导体TO管座从其运输包装盒中向焊接半导体芯片、金属线及管帽等工装夹具中快速转移运动,实现快速转移的主要手段之一为采用多轴精密机械手。论述了多轴精密机械手的总体设计方案,机械结构设计及测控系统设计中的关键技术。同时,研究了以多轴控制器配合光电传感器实现准闭环控制的一种方法。