Topcon太阳电池氧化工艺研究

随着P型电池效率接近极限,目前,Topcon电池是与PERC产线匹配性最高的高效电池。该型电池可以提效关键背面钝化,由磷扩调整为硼扩。在Topcon电池的优化过程中,关于硼扩+大氧氧化的调试匹配至关重要。本文主要针对大氧氧化温度、时间、氧气流量进行窗口验证,通过方阻、ECV曲线、电性数据得出大氧氧化温度对ECV曲线影响最大,氧气使用均为过量气体,对大氧氧化影响不大。在后续提效过程中,仍需结合硼扩以及印刷浆料、烧结温度进行匹配优化,达到提效目的。

袪PSG上料自动化产能提升方法研究

通过分析袪PSG上料自动化的结构和工作原理,对产能的影响因素进行研究,提出提升产能的有效方法,更换摩擦系数更高的平皮带以增加横向传输硅片速度;采用U型双边上料结构以增加硅片上料速度;采用两段式纵向传送组件以节省纵向传输时间;增加横向传输组件以提高设备产能。最后对以上提升产能方式进行对比,以便于结合不同情况,采用不同方案进行设备产能提升。