吸杂技术在TOPCon电池中的应用

硅基体的质量是限制光伏效率提升的关键因素。随着光伏电池效率提升,硅基体中的杂质含量越来越高。本文比较磷扩散、硼扩散和氧化层/多晶硅钝化结构的不同吸杂方法与不同表面浓度的掺杂N+Poly的吸杂方法,结果表明,在表面浓度为5×1020cm-3、Poly厚度为90 nm的条件下,N+Poly的TOPCon吸杂效果最佳,将其引入TOPCon小批量生产线,电池效率提升0.1%。