Foundry早期工艺开发的重要抓手——SRAM Bitcell工艺合格性验证芯片

现在国内各地新建集成电路制造厂(以下简称Foundry)越来越多,各个工艺节点的工艺线都在积极地推进,并希望尽早地实现量产出货。目前,对广泛使用的CMOS逻辑工艺来说,达到量产的一个主要标志就是SRAM(静态随机存储器)Bitcel(l位单元)工艺的良率水平。由此,SRAM Bitcell工艺合格性验证芯片(Technology Qualification Vehicle,以下简称TQV)就成为早期工艺开发的重要抓手。本文介绍了SRAM Bitcell TQV芯片的作用,目标,基本的设计方案考虑,测试调试中的常见问题,以及它与Foundry后续SRAMIP(Intelligent Property)开发的不同之处。