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集成电路工艺仿真系统TSUPREM-Ⅳ
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作者 李惠军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第3期34-36,63,共4页
SUPREM系列集成电路工艺模拟系统是当今国际上用户群最大的集成电路工艺计算机辅助设计系统。本文介绍该系列系统的最新版本 TSUPREM-Ⅳ。
关键词 集成电路 计算机模拟 工艺仿真系统 tsuprem-ⅳ
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