退火对TU2铜管显微组织的影响

微电子行业用TU2铜管是弯曲成形的,为改善其成形性能,需进行退火处理。对拉拔成形的TU2铜管进行了260~460℃保温10~120 min的退火处理。此后,采用电子背散射衍射技术研究了TU2铜管的织构演变。结果表明:在260~340℃退火60 min后,随着退火温度的提高,TU2铜管中的<001>、<111>织构数量减少,<112>织构强度增大;在300℃退火10~60 min的铜管中<111>和<001>织构数量减少,<112>织构数量增多,但退火时间超过60 min,铜管组织无明显变化。