退火Ar流速对VO_(2)薄膜热致变色光学性能的影响研究

本工作采用溶胶-凝胶法,以石英玻璃为衬底,乙酰丙酮氧钒(VO(acac)_(2))为钒源,高纯Ar为保护气体,在真空管式炉中以不同流速的Ar气氛下进行退火处理,制备出一系列具有不同热致变色性能的VO_(2)薄膜.采用XRD、FE-SEM、XPS、紫外-可见-近红外光谱仪表征薄膜的结构、表面形貌、V元素的价态、热致变色光学性能.结果表明:随着Ar流速的上升,VO_(2)薄膜的结晶质量持续下降,薄膜的近红外调节能力先上升后下降.当Ar流速为225 mL/min时,制备的VO_(2)薄膜综合性能最优:近红外调控效率(ΔT_(IR))达到20.2%,可见光透过率(T_(lum))为55.5%.