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Microstructure and abrasive wear behaviour of anodizing composite films containing Si C nanoparticles on Ti6Al4V alloy 被引量:6
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作者 李松梅 郁秀梅 +3 位作者 刘建华 于美 吴量 杨康 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第12期4415-4423,共9页
Anodized composite films containing Si C nanoparticles were synthesized on Ti6Al4 V alloy by anodic oxidation procedure in C4O6H4Na2 electrolyte. Scanning electron microscopy(SEM), energy dispersive spectroscopy(EDS) ... Anodized composite films containing Si C nanoparticles were synthesized on Ti6Al4 V alloy by anodic oxidation procedure in C4O6H4Na2 electrolyte. Scanning electron microscopy(SEM), energy dispersive spectroscopy(EDS) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) were employed to characterize the morphology and composition of the films fabricated in the electrolytes with and without addition of Si C nanoparticles. Results show that Si C particles can be successfully incorporated into the oxide film during the anodizing process and preferentially concentrate within internal cavities and micro-cracks. The ball-on-disk sliding tests indicate that Si C-containing oxide films register much lower wear rate than the oxide films without Si C under dry sliding condition. Si C particles are likely to melt and then are oxidized by frictional heat during sliding tests. Potentiodynamic polarization behavior reveals that the anodized alloy with Si C nanoparticles results in a reduction in passive current density to about 1.54×10-8 A/cm2, which is more than two times lower than that of the Ti O2 film(3.73×10-8 A/cm2). The synthesized composite film has good anti-wear and anti-corrosion properties and the growth mechanism of nanocomposite film is also discussed. 展开更多
关键词 Ti6al4V alloy anodic oxidation Si C nanoparticle composite film
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Formation and capacitance properties of Ti-Al composite oxide film on aluminum 被引量:1
2
作者 姚雷 刘建华 +2 位作者 于美 李松梅 吴昊 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第5期825-830,共6页
Al specimens were covered with TiO2 film by sol-gel dip-coating and then anodized in ammonium adipate solution.The structure,composition and capacitance properties of the anodic oxide film were investigated by transmi... Al specimens were covered with TiO2 film by sol-gel dip-coating and then anodized in ammonium adipate solution.The structure,composition and capacitance properties of the anodic oxide film were investigated by transmission electron microscopy (TEM),Auger electron spectroscopy (AES),X-ray diffractometry (XRD) and electrochemical impedance spectroscopy (EIS).It was found that an anodic oxide film with a dual-layer structure formed between TiO2 coating and Al substrate.The film consisted of an inner Al2O3 layer and an outer Ti-Al composite oxide layer.The thickness of layers varied with the number of times of sol-gel dip-coating.The capacitance of anodic oxide films formed on coated specimens was at most 80% higher than that without TiO2.In film formation mechanism,it was claimed that the formation of composite oxide film was mainly affected by the structure of micro-pores network in TiO2 coating which had an influence on Al3+ and O2? ions transport during the anodizing. 展开更多
关键词 al electrolytic capacitor composite oxide film anodized dielectric film sol-gel coating capacitance property
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Light scattering effect of submicro-textured Ag/Al composite films prepared at lower substrate temperatures
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作者 唐平林 吴永刚 +4 位作者 童广德 夏子奂 刘仁臣 梁钊铭 周建 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第7期590-595,共6页
We present a new and practical approach for preparing submicro-textured silver and aluminum (Ag/Al) double-structured layers at low substrate temperatures. The surface texturing of silver and aluminum double-structu... We present a new and practical approach for preparing submicro-textured silver and aluminum (Ag/Al) double-structured layers at low substrate temperatures. The surface texturing of silver and aluminum double-structured layers was performed by increasing the deposition temperature of the Al layers to 270℃. The highly submicro-textured silver and aluminum double-structured layers were prepared by thermal evaporation on quartz glasses and their surface microstructure, light scattering properties, and thermal stability were investigated. Results showed that the highly submicro-textured Ag/Al composite films prepared at low substrate temperatures used as back reflectors not only can enhance the light scattering and have good thermal stability, but also have good adhesion properties. In addition, their fabrication is low cost and readily carried out. 展开更多
关键词 random submicro-textured Ag/al composite films light scattering
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Electroless plating and growth kinetics of Ni-P alloy film on SiC_p/Al composite with high SiC volume fraction 被引量:4
4
作者 方萌 胡玲 +3 位作者 杨磊 史常东 吴玉程 汤文明 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第3期799-805,共7页
After Sn/Pd activating, the SiCp/Al composite with 65% SiC (volume fraction) was coated by electroless Ni?P alloy plating. Surface morphology of the composite and its effect on the Ni?P alloy depositing process and bo... After Sn/Pd activating, the SiCp/Al composite with 65% SiC (volume fraction) was coated by electroless Ni?P alloy plating. Surface morphology of the composite and its effect on the Ni?P alloy depositing process and bonding action of Ni and P atoms in the Ni?P alloy were studied. The results show that inhomogeneous distribution of the Sn/Pd activating points results in preferential deposition of the Ni?P alloy particles on the Al alloy and rough SiC particle surfaces and in the etched caves. The Ni?P alloy film has an amorphous structure where chemical bonding between Ni and P atoms exists. After a continuous Ni?P alloy film formed, electroless Ni?P alloy plating is not affected by surface morphology and characteristics of the SiCp/Al composite any longer, but by the electroless plating process itself. The Ni?P alloy film follows linear growth kinetics with an activation energy of 68.44 kJ/mol. 展开更多
关键词 SiC_p/al composite electroless plating Ni-P alloy film MICROSTRUCTURE growth kinetics
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Enhancement of catalytic and anti-carbon deposition performance of SAPO-34/ZSM-5/quartz films in MTA reaction by Si/Al ratio regulation 被引量:2
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作者 Jiaxin Wu Chenxiao Wang +6 位作者 Xianliang Meng Haichen Liu Ruizhi Chu Guoguang Wu Weisong Li Xiaofeng Jiang Deguang Yang 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第4期314-324,共11页
In order to further improve the catalytic performance of zeolite catalyst for methanol to aromatics(MTA)technology, the double-tier SAPO-34/ZSM-5/quartz composite zeolite films were successfully synthesized via hydrot... In order to further improve the catalytic performance of zeolite catalyst for methanol to aromatics(MTA)technology, the double-tier SAPO-34/ZSM-5/quartz composite zeolite films were successfully synthesized via hydrothermal crystallization. The Si/Al ratio of SAPO-34 film was used as the only variable to study this material. The composite zeolite material with 0.6Si/Al ratio of SAPO-34 has the largest mesoporous specific surface area and the most suitable acid distribution. The catalytic performance for the MTA process showed that 0.6-SAPO-34/ZSM-5/quartz film has as high as 50.3% benzene-toluenexylene selectivity and 670 min lifetime. The MTA reaction is carried out through the path we designed to effectively avoid the hydrocarbon pool circulation of ZSM-5 zeolite, so as to improve the aromatics selectivity and inhibit the occurrence of deep side reactions to a great extent. The coke deposition behavior was monitored by thermogravimetric analysis and gas chromatograph/mass spectrometer, it is found that with the increase of Si/Al ratio, the active intermediates changed from low-substituted methylbenzene to high-substituted methylbenzene, which led to the rapid deactivation of the catalyst. This work provides a possibility to employ the synergy effect of composite zeolite film synthesizing anti-carbon deposition catalyst in MTA reaction. 展开更多
关键词 composite zeolite film Methanol to aromatics Anti-carbon deposition Si/al ratio Hydrocarbon pool circulation mechanism
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Ta/Al复合薄膜性能及应用 被引量:1
6
作者 贾宇明 杨邦朝 刘兴钊 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第6期605-609,共5页
铝含量为50%的Ta/Al复合薄膜由于其具有优良的热稳定性而适用于制造高精密、高稳定功率型电阻或功率集成电阻网络。用钽铝复合靶直流共溅射的方法可以制备这种薄膜,但淀积参数及热处理条件对薄膜的热稳定性能有很大影响。用该... 铝含量为50%的Ta/Al复合薄膜由于其具有优良的热稳定性而适用于制造高精密、高稳定功率型电阻或功率集成电阻网络。用钽铝复合靶直流共溅射的方法可以制备这种薄膜,但淀积参数及热处理条件对薄膜的热稳定性能有很大影响。用该复合薄膜制出了功率负荷性能优良的中功率薄膜衰减器。最后,用XPS分析了薄膜表面的化学组成。 展开更多
关键词 复合薄膜 共溅射 热稳定性 功率负荷
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纳米Ta-Al-N薄膜的制备及其扩散阻挡特性的研究 被引量:2
7
作者 周继承 陈海波 李幼真 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期327-331,共5页
采用直流反应磁控溅射方法在p型(100)Si衬底上制备了Ta-Al-N纳米薄膜与Cu/Ta-Al-N复合膜,并对薄膜样品进行了卤钨灯快速热退火(RTP)。用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM-EDS、Alpha-step IQ台阶仪和XRD等分析测试方法对样品的形貌结构... 采用直流反应磁控溅射方法在p型(100)Si衬底上制备了Ta-Al-N纳米薄膜与Cu/Ta-Al-N复合膜,并对薄膜样品进行了卤钨灯快速热退火(RTP)。用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM-EDS、Alpha-step IQ台阶仪和XRD等分析测试方法对样品的形貌结构与特性进行了分析表征。实验结果表明,本实验条件下制得的Ta-Al-N纳米薄膜表面光滑;随着Al靶溅射功率的增加,Ta-Al-N薄膜中Al含量和方块电阻相应增大,均方根粗糙度降低,而沉积速率变化不大,且Ta-Al-N膜层对Cu扩散的阻挡能力增强。但在过高的温度下退火,导致Cu通过Ta-Al-N的晶界扩散到Ta-Al-N/Si界面并形成Cu3Si,从而引起阻挡层的失效。 展开更多
关键词 反应磁控溅射 taal-N纳米薄膜 Cu扩散阻挡层 阻挡特性
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工艺参数对Ta/Al合金电阻薄膜性能的影响 被引量:2
8
作者 贾宇明 杨邦朝 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期492-495,共4页
Al原子含量约为50%的Ta/Al合金薄膜具有优良的电阻性能。使用直流共溅射的方法制作这种薄膜,靶极采用了Al面积为45%的Ta/Al复合靶。研究了工艺参数如溅射气压、溅射电压以及热处理条件等因素对该薄膜的性能影响。... Al原子含量约为50%的Ta/Al合金薄膜具有优良的电阻性能。使用直流共溅射的方法制作这种薄膜,靶极采用了Al面积为45%的Ta/Al复合靶。研究了工艺参数如溅射气压、溅射电压以及热处理条件等因素对该薄膜的性能影响。结果表明,这种Ta/Al合金薄膜能用于制作功率稳定的电阻器或电阻网络。 展开更多
关键词 合金薄膜 电阻性能 共溅射 钽铝合金
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多靶磁控共溅射纳米Ta-Al-N薄膜的阻挡性能研究
9
作者 李幼真 周继承 +1 位作者 陈海波 刘正 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期460-464,共5页
采用磁控反应共溅射方法制备了纳米Ta-Al-N薄膜,并原位制备了Cu/Ta-Al-N薄膜,对薄膜进行了热处理。用四探针测试仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)以及台阶仪等研究了退火对薄膜结构及阻挡性能的影响。结果表明,T... 采用磁控反应共溅射方法制备了纳米Ta-Al-N薄膜,并原位制备了Cu/Ta-Al-N薄膜,对薄膜进行了热处理。用四探针测试仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)以及台阶仪等研究了退火对薄膜结构及阻挡性能的影响。结果表明,Ta-Al-N薄膜具有优良的热稳定性,保持非晶态且能对Cu有效阻挡的温度可达800°C;同时发现在900°C退火5 min后,薄膜开始晶化,在Cu/Ta-Al-N/Si界面处生成了Cu3Si等相,表明此时Ta-Al-N薄膜阻挡层开始失效。 展开更多
关键词 钽铝氮薄膜 热退火 表面形貌 阻挡特性
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Al掺杂对β-Ga_(2)O_(3)薄膜光学性质的影响研究
10
作者 钟琼丽 王绪 +1 位作者 马奎 杨发顺 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第8期1352-1360,共9页
近年来,半导体器件向着高散热性、高击穿场强和低能耗的方向发展,因此超宽禁带半导体材料β-Ga_(2)O_(3)具有广阔的应用前景,而有效掺杂是实现β-Ga_(2)O_(3)器件的基础。实验采用磁控溅射法制备Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_... 近年来,半导体器件向着高散热性、高击穿场强和低能耗的方向发展,因此超宽禁带半导体材料β-Ga_(2)O_(3)具有广阔的应用前景,而有效掺杂是实现β-Ga_(2)O_(3)器件的基础。实验采用磁控溅射法制备Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)复合结构,经高温退火使Al原子热扩散进入薄膜中,形成Al掺杂的β-Ga_(2)O_(3)薄膜。采用激光区熔法使薄膜区域熔化再结晶,进一步提升掺杂质量。对Al掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜的晶体性质、杂质含量及光学性质进行了测试表征。结果表明:Al掺杂不改变β-Ga_(2)O_(3)薄膜的晶体结构;随着Al层溅射时间延长,掺杂含量逐渐增加;当Al溅射时间为5和10 s时,薄膜紫外吸收率分别为40%和50%;随着Al溅射时间的增加,Al掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜紫外区域光吸收率逐渐增强,Al溅射时间为300 s时,β-Ga_(2)O_(3)薄膜的光吸收率接近90%;低浓度的Al掺杂会导致β-Ga_(2)O_(3)薄膜的禁带宽度变窄。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3)薄膜 al掺杂 磁控溅射 Ga_(2)O_(3)/al/Ga_(2)O_(3)/al/Ga_(2)O_(3)复合结构 光吸收 光学带隙
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MoS_2-Al复合薄膜高温摩擦学性能研究 被引量:9
11
作者 杨保平 高斌基 +3 位作者 张斌 强力 高凯雄 张俊彦 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期140-147,共8页
目的提升MoS_2薄膜在高温环境下的润滑性能。方法应用非平衡磁控溅射技术共溅射MoS_2靶和Al靶沉积MoS_2-Al复合薄膜。通过场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、纳米压入仪和CSM牌高温摩擦磨损试验机... 目的提升MoS_2薄膜在高温环境下的润滑性能。方法应用非平衡磁控溅射技术共溅射MoS_2靶和Al靶沉积MoS_2-Al复合薄膜。通过场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、纳米压入仪和CSM牌高温摩擦磨损试验机,评价MoS_2-Al复合薄膜表面及断面形貌、微观结构、机械性能和高温环境下的摩擦学性能,并通过奥斯巴林显微镜观察磨痕及磨斑形貌。结果温度超过400℃时,Al含量(原子数分数)为18.3%的MoS_2-Al复合薄膜表现出了优异的高温润滑性能,摩擦初始阶段的摩擦系数保持在0.07左右,平均摩擦系数低至0.172,比纯MoS_2薄膜的摩擦系数降低了64%,摩擦曲线十分稳定。结论当薄膜中Al的添加量为18.3%时,Al的引入在不破坏MoS_2结构时起到了自身优先氧化的作用,从而保护了MoS_2结构不被破坏,使MoS_2-Al复合薄膜在高温环境下的润滑能力得到了显著提升。 展开更多
关键词 MoS2-A1复合薄膜 高温 摩擦磨损 润滑
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多晶硅与Al/CuO复合薄膜集成的含能点火器件的点火性能 被引量:8
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作者 李勇 王军 +2 位作者 高泽志 周彬 沈瑞琪 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期182-187,共6页
为研究多晶硅桥型与尺寸对Al/Cu O含能点火器件点火性能的影响规律,用多晶硅和Al/Cu O复合薄膜集成制备了6种不同形状和尺寸的含能点火器件,采用尼亚D-最优感度试验法测试了四种尺寸、两种桥形共6种类型(S、M、Lr、Lv、Hr、Hv)点火器件... 为研究多晶硅桥型与尺寸对Al/Cu O含能点火器件点火性能的影响规律,用多晶硅和Al/Cu O复合薄膜集成制备了6种不同形状和尺寸的含能点火器件,采用尼亚D-最优感度试验法测试了四种尺寸、两种桥形共6种类型(S、M、Lr、Lv、Hr、Hv)点火器件的点火感度。探索了临界爆发电压,得到了点火时间随激励电压的变化规律。采用感度实验和点火实验对比研究了多晶硅点火器件和含能点火器件的点火性能。结果表明,含能点火器件的感度与点火时间随桥膜体积的增大而减小。V形桥膜有助于降低作用时间与作用所需能量。Lv型含能点火器件感度为8.19 V,标准偏差0.14,均低于Lv型多晶硅点火器件(8.70 V、0.53)。Lv型含能点火器件14 V时的点火时间(52.85μs)比多晶硅点火器件点火时间(109.12μs)短,且该差值随激励能量升高而降低。 展开更多
关键词 点火器件 含能复合薄膜 al/CuO 多晶硅 点火性能
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Ag、Ta元素对MoS_2抗氧化性影响的研究 被引量:3
13
作者 刘仲阳 王培录 +2 位作者 廖小东 郑思孝 孙官清 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2001年第9期10-12,共3页
用离子束辅助沉积方法 (IBAD)制备MoS2 Ag和MoS2 Ta复合膜以及MoS2 膜。用XPS分别检测在相对湿度 10 0 %室温环境下存放 4 5天和室温去离子水浸泡 15 8h以及在 4 30℃加热 1h后的三种膜中Mo、S元素的电子结构。数据表明 :掺有Ag、Ta... 用离子束辅助沉积方法 (IBAD)制备MoS2 Ag和MoS2 Ta复合膜以及MoS2 膜。用XPS分别检测在相对湿度 10 0 %室温环境下存放 4 5天和室温去离子水浸泡 15 8h以及在 4 30℃加热 1h后的三种膜中Mo、S元素的电子结构。数据表明 :掺有Ag、Ta元素的MoS2 复合膜抗氧化特性远优于同种工艺条件下制备的纯MoS2 膜。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 复合膜 氧化 二硫化钼 固体润滑剂
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SiCp/2024 Al复合材料阳极氧化膜的结构和耐蚀性 被引量:4
14
作者 贺春林 才庆魁 +2 位作者 洪恒全 何凤鸣 孙旭东 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期1004-1008,共5页
用动电位阳极极化和点滴法评估了17%SiCp/2024 Al复合材料(MMC)硫酸阳极氧化膜的耐蚀性,用光学显微镜、SEM和TEM对氧化膜的形貌和结构进行了观察,用EDXS分析了膜的组成.极化实验结果表明,复合材料的阳极氧化膜具有良好的耐NaCl溶液腐... 用动电位阳极极化和点滴法评估了17%SiCp/2024 Al复合材料(MMC)硫酸阳极氧化膜的耐蚀性,用光学显微镜、SEM和TEM对氧化膜的形貌和结构进行了观察,用EDXS分析了膜的组成.极化实验结果表明,复合材料的阳极氧化膜具有良好的耐NaCl溶液腐蚀的能力,其腐蚀速度较未处理的基体降低了2个数量级以上.SEM形貌表明,SiC颗粒对膜的生长有阻碍作用.低电流密度下形成的阳极氧化膜膜层较薄,结构致密,孔隙细小.腐蚀实验结果表明该膜层具有更高的耐蚀性.TEM显示,MMC阳极氧化膜的孔隙分布严重不均.在SiC颗粒周围的基体中,孔隙密度较大,孔隙间距较小,孔径也较大,最大可达50 nm.这表明阳极氧化膜具有低抗蚀性的结构特征. EDXS分析表明SiC颗粒在阳极氧化过程中会被氧化. 展开更多
关键词 SiCp/2024A1复合材料 阳极氧化膜 耐蚀性 微结构
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CVD金刚石薄膜刀具加工SiC_p/Al复合材料时的切削磨损研究 被引量:5
15
作者 张登友 全燕鸣 +2 位作者 代民江 宋学兵 吴斌 《工具技术》 北大核心 2001年第10期10-12,共3页
通过用CVD金刚石薄膜涂层刀具切削加工SiC颗粒增强铝基复合材料的试验 ,研究了切削参数、刀具材料、刀具几何参数和工件材料对CVD金刚石薄膜涂层刀具磨损的影响规律 ,同时研究了SiCp/Al复合材料的切削加工性能。
关键词 涂层刀具 金刚石薄膜 刀具磨损 碳化硅 铝基复合材料
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Gr/Al-0.7Si-1.2Mg复合材料制备及摩擦性能研究 被引量:6
16
作者 刘强 曾燮榕 +2 位作者 谢盛辉 邹继兆 李志强 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 北大核心 2007年第2期166-171,共6页
采用二次热压法制备Gr质量分数为10%~25%的Gr/Al—0.7Si-1.2Mg复合材料,研究了制备工艺对组织结构及其摩擦磨损性能的影响.结果表明,采用较快速率升温的热压法可有效防止石墨铝复合材料制备过程的有害界面反应,得到组织均匀... 采用二次热压法制备Gr质量分数为10%~25%的Gr/Al—0.7Si-1.2Mg复合材料,研究了制备工艺对组织结构及其摩擦磨损性能的影响.结果表明,采用较快速率升温的热压法可有效防止石墨铝复合材料制备过程的有害界面反应,得到组织均匀且致密的石墨铝基复合材料.Gr/Al—0.7Si-1.2Mg复合材料的摩擦系数随载荷的增大而降低,在较大载荷时,可形成完整的石墨润滑膜,不同石墨含量的复合材料的磨擦系数趋于一致,达到0.17.石墨含量高的复合材料容易形成润滑层,所以摩擦系数在较低载荷下就能达到最小值.复合材料相对密度对磨损率的影响较大,接近理论密度的复合材料在本研究试验条件下能保持较低的磨损率。最低可达到0.5×10^-3~2.1×10^-3mm^3/m. 展开更多
关键词 Gr/al-0.7Si-1.2Mg复合材料 二次热压 摩擦系数 磨损率 石墨润滑膜
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磁控溅射共沉积Al-Pb复合薄膜微观结构及电性能 被引量:3
17
作者 郭中正 孙勇 +2 位作者 段林昆 李玉阁 彭明军 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第16期12-15,共4页
采用磁控溅射共沉积法制备Al-Pb复合薄膜,运用TEM、SEM、EDX和电阻-温度仪对薄膜微观结构和电性能进行研究。结果表明,Al-Pb薄膜具有温度敏感性,电阻温度系数(TCR)可达8.4×10-3℃-1。薄膜微观结构含富Al基体相和富Pb第二相,呈两相... 采用磁控溅射共沉积法制备Al-Pb复合薄膜,运用TEM、SEM、EDX和电阻-温度仪对薄膜微观结构和电性能进行研究。结果表明,Al-Pb薄膜具有温度敏感性,电阻温度系数(TCR)可达8.4×10-3℃-1。薄膜微观结构含富Al基体相和富Pb第二相,呈两相组织。随着厚度的增大,第二相粒子及基体相晶粒粒度增大,界面密度降低,界面电子散射效应减弱,电阻率下降,TCR值增大。与Al膜和移去Al基体形成的Pb膜的电性能对比研究显示,Al-Pb薄膜存在并联导电机制,电阻率受两相电阻率和体积分数的影响。 展开更多
关键词 al-Pb复合薄膜 磁控共沉积 微观结构 温度敏感性 电阻温度系数
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铝金属基复合材料Al6061/SiC_P表面稀土转化膜的研究 被引量:6
18
作者 于兴文 周育红 +2 位作者 周德瑞 尹钟大 崔岩 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期30-33,共4页
利用电化学方法评价了铝金属基复合材料 Al60 61 /Si CP表面稀土转化膜的抗腐蚀性能 ,膜的存在使腐蚀过程中的阴极反应和阳极反应同时减弱 ,腐蚀速率降低。利用扫描电镜 ( SEM)观察了稀土转化膜的表观形貌 ,膜是以球团状结构层层向外生... 利用电化学方法评价了铝金属基复合材料 Al60 61 /Si CP表面稀土转化膜的抗腐蚀性能 ,膜的存在使腐蚀过程中的阴极反应和阳极反应同时减弱 ,腐蚀速率降低。利用扫描电镜 ( SEM)观察了稀土转化膜的表观形貌 ,膜是以球团状结构层层向外生长 ,最后完全覆盖基体表面。利用 X射线衍射 ( XRD)研究了膜的微观形态 ,膜是以非晶态形式存在。利用 X射线光电子能谱 ( XPS)分析了膜的成分 ,膜是由铈的氧化物和氢氧化物组成。 展开更多
关键词 铝金属基复合材料 耐蚀性 表面稀土转化膜
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影响Al-Ti复合氧化膜比容的工艺因素研究 被引量:3
19
作者 陈金菊 蒋美连 +1 位作者 冯哲圣 杨邦朝 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第8期8-10,共3页
用水解沉积-阳极氧化法制备高介电常数的Al-Ti复合氧化膜,研究了含钛无机盐溶液的浓度、温度、pH值处理时间,以及退火温度对Al-Ti复合氧化膜比容增长率的影响。结果表明,铝腐蚀箔在浓度为0.002mol/L、pH1.5的含钛无机盐溶液中,65℃浸渍... 用水解沉积-阳极氧化法制备高介电常数的Al-Ti复合氧化膜,研究了含钛无机盐溶液的浓度、温度、pH值处理时间,以及退火温度对Al-Ti复合氧化膜比容增长率的影响。结果表明,铝腐蚀箔在浓度为0.002mol/L、pH1.5的含钛无机盐溶液中,65℃浸渍处理10min,取出并烘干后的样品,550℃热处理10min,所制得的Al-Ti复合氧化膜比容最大。35V阳极氧化电压下,比容提高率大于30%。 展开更多
关键词 电子技术 铝箔 水解沉积 阳极氧化 al—Ti复合氧化膜 比容
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ITO/Al_2O_3复合透明导电膜的制备及光电性能 被引量:3
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作者 季振国 王超 刘坤 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期173-175,172,共4页
采用磁控溅射技术 ,在预先沉积有金属Al膜的玻璃衬底上制备了ITO薄膜。通过高温热处理 ,获得了透射率高、导电性能好的ITO/Al2 O3 复合透明导电膜。研究了不同Al薄膜厚度下ITO薄膜的晶体结构及其光、电性能 ,结果表明 ,当预沉积Al层厚度... 采用磁控溅射技术 ,在预先沉积有金属Al膜的玻璃衬底上制备了ITO薄膜。通过高温热处理 ,获得了透射率高、导电性能好的ITO/Al2 O3 复合透明导电膜。研究了不同Al薄膜厚度下ITO薄膜的晶体结构及其光、电性能 ,结果表明 ,当预沉积Al层厚度为 4 0nm左右时 ,ITO的结晶质量得到提高 ,取向性能变好 ,电阻降低 ,而且在 4 0 0 - 80 0nm范围内具有很高的可见光透过率。实验表明 ,通过改变预沉积Al膜的厚度 ,可以改变ITO薄膜最大透过率对应的波长 。 展开更多
关键词 ITO al2O3 复合膜 磁控溅射
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