基于Taurus Workbench的亚微米n沟MOS器件关键工艺参数的优化

简要介绍了集成电路虚拟工厂系统TaurusWorkbench。对亚微米n沟MOS工艺的特点进行了分析。在TaurusWorkbench环境下进行亚微米n沟MOS器件关键工艺参数的优化,优化结果印证了新工艺条件对器件性能的改善。

Taurus Workbench虚拟IC芯片加工系统

介绍了被业界称之为“虚拟集成电路芯片加工厂”的TCAD集成化仿真系统TaurusWorkbench(TWB)及其优化机制。