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放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究
被引量:
3
1
作者
岳明
刘卫强
+2 位作者
张东涛
刘燕琴
张久兴
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2004年第3期318-322,共5页
采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和Bi2O3/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析。结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织连续性的特征,显微组织中不存在微...
采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和Bi2O3/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析。结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织连续性的特征,显微组织中不存在微裂纹。与单一靶材相比,TbFeCo/Ti复合梯度靶材解决了在制造和使用过程中容易碎裂的问题,Bi2O3/Cu复合梯度靶材解决了在溅射过程中的散热问题。
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关键词
复合梯度靶材
放电等离子烧结
tbfeco/ti
Bi2O3/Cu
扫描电子显微镜
能谱分析仪
原文传递
题名
放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究
被引量:
3
1
作者
岳明
刘卫强
张东涛
刘燕琴
张久兴
机构
北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2004年第3期318-322,共5页
基金
国家计委稀土办项目
文摘
采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和Bi2O3/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析。结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织连续性的特征,显微组织中不存在微裂纹。与单一靶材相比,TbFeCo/Ti复合梯度靶材解决了在制造和使用过程中容易碎裂的问题,Bi2O3/Cu复合梯度靶材解决了在溅射过程中的散热问题。
关键词
复合梯度靶材
放电等离子烧结
tbfeco/ti
Bi2O3/Cu
扫描电子显微镜
能谱分析仪
Keywords
spark plasma sintering
tbfeco/ti
Bi2O3/Cu
composite graded target materials
分类号
TM284 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究
岳明
刘卫强
张东涛
刘燕琴
张久兴
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2004
3
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