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FSK Modulation Scheme for High-Speed Optical Transmission 被引量:1
1
作者 Nan Chi Wuliang Fang +2 位作者 Yufeng Shao Junwen Zhang Li Tao 《ZTE Communications》 2012年第3期2-11,共10页
In this paper, we describe the generation, detection, and performance of frequency-shift keying (FSK) for high-speed optical transmission and label switching. A non-return-to-zero (NRZ) FSK signal is generated by ... In this paper, we describe the generation, detection, and performance of frequency-shift keying (FSK) for high-speed optical transmission and label switching. A non-return-to-zero (NRZ) FSK signal is generated by using two continuous-wave (CW) lasers, one Mach-Zehnder modulator (MZM), and one Mach-Zehnder delay interferometer (MZDI). An RZ-FSK signal is generated by cascading a dual-arm MZM, which is driven by a sinusoidal voltage at half the bit rate. Demodulation can be achieved on 1 bit rate through one MZDI or an array waveguide grating (AWG) demultiplexer with balanced detection. We perform numerical simulation on two types of frequency modulation schemes using MZM or PM, and we determine the effect of frequency tone spacing (FTS) on the generated FSK signal. In the proposed scheme, a novel frequency modulation format has transmission advantages compared with traditional modulation formats such as RZ and differential phase-shift keying (DPSK), under varying dispersion management. The performance of an RZ-FSK signal in a 4 x 40 Gb/s WDM transmission system is discussed. We experiment on transparent wavelength conversion based on four-wave mixing (FWM) in a semiconductor optical amplifier (SOA) and in a highly nonlinear dispersion shifted fiber (HNDSF) for a 40 Gb/s RZ-FSK signal. The feasibility of all-optical signal processing of a high-speed RZ-FSK signal is confirmed. We also determine the receiver power penalty for the RZ-FSK signal after a 100 km standard single-mode fiber (SMF) transmission link with matching dispersion compensating fiber (DCF), under the post-compensation management scheme. Because the frequency modulation format is orthogonal to intensity modulation and vector modulation (polarization shift keying), it can be used in the context of the combined modulation format to decrease the data rate or enhance the symbol rate. It can also be used in orthogonal label-switching as the modulation format for the payload or the label. As an example, we propose a simple orthogonal optical label switching technique based on 40 Gb/s FSK payload and 2.5 Gb/s intensity modulated (IM) label. 展开更多
关键词 optical communication return-to-zero frequency shift keying Mach-Zehnder modulator Mach-Zehnder delay interferometer chromaticdispersion wavelength conversion label switching
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移相干涉测量术及其应用 被引量:37
2
作者 朱日宏 陈磊 +2 位作者 王青 高志山 何勇 《应用光学》 CAS CSCD 2006年第2期85-88,共4页
为了对移相式数字干涉仪在光学元件测量中的应用有全面了解,介绍了移相干涉术的基本原理。结合激光数字波面干涉仪,阐述移相干涉术的四步重叠平均算法、压电晶体移相器(PZT)的结构、3 PZT的组合方法、移相器的标定误差和非线性误差的校... 为了对移相式数字干涉仪在光学元件测量中的应用有全面了解,介绍了移相干涉术的基本原理。结合激光数字波面干涉仪,阐述移相干涉术的四步重叠平均算法、压电晶体移相器(PZT)的结构、3 PZT的组合方法、移相器的标定误差和非线性误差的校正方法、波面相位解包的自适应种子算法、波面相位的评价指标等内容。结合移相数字波面干涉仪,叙述了移相干涉测量技术在普通光学元件、红外光学元件、大口径光学元件、非球面光学元件等测量中的应用并指出了应用过程中的注意事项。最后明确指出光干涉技术正沿着高相位分辨率、高空间分辨率、宽波段和瞬态高速测量的方向发展,并将会在瞬态波前测量、微机械的微结构动态分析等方面有着越来越广泛的应用。 展开更多
关键词 移相干涉术 光学测量 干涉仪
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光纤点衍射干涉仪的技术研究 被引量:13
3
作者 刘国淦 张学军 +4 位作者 王权陡 张忠玉 郭培基 张峰 齐涤菲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第2期142-145,共4页
提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法 ,由两根光纤分别传输参考光和测试光 ,利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比 ,该方法结构相对简单 ,误差来源少 ,且不需要传统干涉仪中的高质量标... 提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法 ,由两根光纤分别传输参考光和测试光 ,利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比 ,该方法结构相对简单 ,误差来源少 ,且不需要传统干涉仪中的高质量标准面 。 展开更多
关键词 干涉仪 点衍射 相移 光学纤维
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一种新型单频激光干涉系统的研究 被引量:11
4
作者 韩旭东 艾华 龙科慧 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期49-51,共3页
这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强“零漂”问题。利用共模抑制技术... 这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强“零漂”问题。利用共模抑制技术,提高了干涉系统的测量稳定性和重复性。采用光程差放大技术,提高了干涉系统的分辨力。 展开更多
关键词 单频激光干涉系统 激光干涉仪 偏振光移相 光程差放大 光路设计
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检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪 被引量:6
5
作者 张红霞 张以谟 +2 位作者 井文才 周革 李岩 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期377-380,共4页
基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.... 基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5mm,视场0.64×0.48mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875μm,垂直方向的测量范围为5.3μm,重复测量精度为1.7nm. 展开更多
关键词 Mirau干涉 相移干涉轮廓仪 Mirau干涉物镜 光纤连接器 压电陶瓷传感器
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神光-Ⅲ原型装置用速度干涉仪的光学系统设计 被引量:9
6
作者 闫亚东 张法全 +1 位作者 何俊华 齐文博 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2355-2361,共7页
基于激光多普勒频移效应研制了一套应用于惯性约束聚变(ICF)研究的任意反射表面干涉测速系统(VISAR)。采用532nm的照明激光设计了一套光谱带宽为0.2nm的光学系统,通过合理选材,保证了光学系统的防辐射性能;基于光学膜系设计,滤除了526n... 基于激光多普勒频移效应研制了一套应用于惯性约束聚变(ICF)研究的任意反射表面干涉测速系统(VISAR)。采用532nm的照明激光设计了一套光谱带宽为0.2nm的光学系统,通过合理选材,保证了光学系统的防辐射性能;基于光学膜系设计,滤除了526nm的强干扰打靶激光以及其它波段的杂散光;采用模块化方法并设计光学铰链进行模块对接,简化了系统调试的复杂程度;利用激光对干涉仪粗调,再利用白光精调,实现了零程差调试。设计的系统光路总长为6.3m,物方视场范围为φ1.0mm,放大倍率为5×、10×;静态实验显示,干涉条纹平直、调制度达到0.67以上,物方分辨率达到5.3μm。目前,该系统已成功地在神光-Ⅲ原型装置上进行了动态实验。 展开更多
关键词 任意反射表面干涉测速系统 光学系统设计 多普勒频移
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193nm移相点衍射干涉仪的测量误差分析 被引量:9
7
作者 邢廷文 何国良 舒亮 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期67-72,共6页
为了提高移相点衍射干涉仪对193nm投影光刻系统的检测精度,本文对其主要测量误差进行了探讨。在简要介绍了193nm移相点衍射干涉仪的基本结构和测量原理之后,总结了可能对测量结果产生影响的各种误差及其产生的原因。通过理论分析和数值... 为了提高移相点衍射干涉仪对193nm投影光刻系统的检测精度,本文对其主要测量误差进行了探讨。在简要介绍了193nm移相点衍射干涉仪的基本结构和测量原理之后,总结了可能对测量结果产生影响的各种误差及其产生的原因。通过理论分析和数值模拟的方法分别对参考波前误差、相移误差、探测器非线性误差以及光源波动、环境变化引起的随机误差等进行了具体分析,从而得到各种测量误差的大小、存在形式以及与干涉仪结构参数的依赖关系,并提出了相应的避免或减小误差的方法。 展开更多
关键词 干涉测量 移相点衍射干涉仪 光学检测 193 nm投影光刻
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极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究 被引量:6
8
作者 张宇 金春水 +1 位作者 马冬梅 王丽萍 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3384-3389,共6页
为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理。将影响干涉仪检测精度及波面重复精度... 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理。将影响干涉仪检测精度及波面重复精度的误差源引入到干涉图中进行整体分析,得到干涉仪的检测精度及波面重复精度,为了验证双光纤相移点衍射干涉仪的切实可行性及理论分析结果的正确性,搭建了原理实验装置,对同一被检光学系统进行了512次测量,将其分成8组,最终8组测量的波面重复精度能够达到0.13 nm,优于λ/4000。 展开更多
关键词 光学检测 双光纤相移点衍射干涉仪 精度分析 波面重复精度
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用基于3×3耦合器的干涉仪解调相移光纤光栅传感信号 被引量:9
9
作者 李东 张晓晖 黄俊斌 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第3期460-462,452,共4页
提出了一种用非平衡Mach Zehnder干涉仪解调相移光纤光栅传感信号的新方案。非平衡Mach Zehnder干涉仪由一只 3× 3耦合器和一只 2× 2耦合器构成 ,作为相移光栅波长移动的解调器。解调器三路输出信号之间互存1 2 0°相位... 提出了一种用非平衡Mach Zehnder干涉仪解调相移光纤光栅传感信号的新方案。非平衡Mach Zehnder干涉仪由一只 3× 3耦合器和一只 2× 2耦合器构成 ,作为相移光栅波长移动的解调器。解调器三路输出信号之间互存1 2 0°相位差 ,由高通滤波器、微分器、差分放大器、加法器、积分器等环节组成的解调电路可直接由三路输出信号获取被传感信号。计算机仿真实验的结果验证了该信号传感方案既具有很高的灵敏度 ,又具有较宽的信号响应带宽。 展开更多
关键词 相移光栅 光纤传感器 MACH-ZEHNDER干涉仪 3×3耦合器
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原子干涉仪中激光频率和光强控制系统的设计 被引量:7
10
作者 胡朝晖 杨婷 亓鲁 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期614-618,共5页
为了对铯原子外态干涉仪的激光束精密控制,设计了一套适用于多种需求的激光频率和光强控制系统。该系统基于声光调制器,并集成了激光移频、光强稳定和光强调制等功能。首先,根据原子干涉仪的原理,提出对激光的要求和指标。接着,按... 为了对铯原子外态干涉仪的激光束精密控制,设计了一套适用于多种需求的激光频率和光强控制系统。该系统基于声光调制器,并集成了激光移频、光强稳定和光强调制等功能。首先,根据原子干涉仪的原理,提出对激光的要求和指标。接着,按照提出的要求设计了集成锁相频率合成器等硬件电路系统和LabVIEW软件控制系统。最后,对所开发的系统进行了实验测试。实验结果表明:系统的移频范围可控制在100~200 MHz;光强稳定性好,采用稳光系统后输出光强的波动减小为2%。设计的这套系统功能齐全,可靠有效,实现预期目标,满足原子干涉仪对光学系统的要求。另外此系统还可以应用到其他需要系统中,比如原子钟、原子干涉重力梯度仪等。 展开更多
关键词 声光调制器 原子干涉 频率合成器 频率偏移 光强控制
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数字横向剪切干涉仪相移技术 被引量:5
11
作者 何煦 向阳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2244-2251,共8页
由于相移式横向剪切干涉仪相移单元的分辨率、精度等参数直接影响其测试物镜波像差的精度,本文根据相移式横向剪切干涉测试原理,设计了采用宏微复合运动模式的相移组件,该相移组件可在25 mm行程内实现纳米级的相移运动。重点分析了柔性... 由于相移式横向剪切干涉仪相移单元的分辨率、精度等参数直接影响其测试物镜波像差的精度,本文根据相移式横向剪切干涉测试原理,设计了采用宏微复合运动模式的相移组件,该相移组件可在25 mm行程内实现纳米级的相移运动。重点分析了柔性铰链复合四杆结构微动单元初始设计参数间的数学规律,计算了铰链刚度与弱截面应力,并给出了具体的设计实例。采用有限元分析方法,对设计实例中微动单元的相移量与压电陶瓷(PZT)出力之间的作用规律进行仿真,并分析了相移精度。结果显示,PZT在促动力输出范围内可促动0.1 mm^1 nm的一维相移运动,理论精度优于3.5 nm。微动单元的开环标定测试结果表明,相移微动单元的实际精度优于5 nm。 展开更多
关键词 光学测量 波像差 相移式干涉仪 剪切干涉仪 柔性铰链
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光纤相移点衍射干涉仪关键技术 被引量:5
12
作者 张宇 金春水 +1 位作者 马冬梅 王丽萍 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第1期254-259,共6页
为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允... 为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允许范围内,光束位置稳定度约为6μm,相干长度为1 cm左右,都在测试精度允许范围内;选择了纤芯直径为3.5μm的单模不保偏光纤,对光纤端面镀半反半透金属膜,实现了较高的条纹对比度和光能利用率,并设计了波前参考源,方便了光纤端面的抛光、镀膜及装卡。最后,利用选择的部件搭建了光纤相移点衍射干涉仪实验装置,为最终能够实现光学系统波像差的高精度检测提供了前期的准备。 展开更多
关键词 高精度检测 光纤相移点衍射干涉仪 光学系统波像差 激光光源 光纤
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双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 被引量:3
13
作者 张宇 金春水 +1 位作者 马冬梅 王丽萍 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期145-150,共6页
为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦... 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦合系统与光纤之间最大的耦合效率和干涉条纹最大的条纹对比度,为最终能够实现极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测提供了前期准备。装调完毕后,利用实验装置对某一光学系统进行了测量,使用十三步相移算法还原被检光学系统波像差,得到了较好的结果,测试结果为:PV值为37.82 nm,RMS值为7.83 nm。 展开更多
关键词 装调技术 双光纤相移点衍射干涉仪 光学系统波像差 光学检测
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光学移相干涉仪抗振系统的鲁棒控制系统仿真分析 被引量:3
14
作者 陆振宇 朱日宏 +1 位作者 陈磊 高志山 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期332-334,共3页
将被动抗振和主动抗振相结合的混合控制技术应用于解决光学移相干涉仪抗振系统的不确定性问题,其中主动抗振采用鲁棒控制策略.该方法克服了由模型和干扰所引起的不确定性,使得控制系统能够有效地抑制抗振模型的不确定性和外部振动的干扰... 将被动抗振和主动抗振相结合的混合控制技术应用于解决光学移相干涉仪抗振系统的不确定性问题,其中主动抗振采用鲁棒控制策略.该方法克服了由模型和干扰所引起的不确定性,使得控制系统能够有效地抑制抗振模型的不确定性和外部振动的干扰.仿真结果表明,该方法使光学移相干涉仪在振动的干扰下具有较好的鲁棒稳定性和控制准确度. 展开更多
关键词 光学移相干涉仪 抗振系统 主动振动控制 鲁棒控制理论
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激光聚变冲击波速度测量光学系统设计 被引量:1
15
作者 闫亚东 韦明智 +3 位作者 李奇 王维 齐文博 何俊华 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期259-266,共8页
针对激光聚变冲击波速度测量的需求,设计了一种集被动式扫描高温计和主动式冲击波速度测量于一体的复合冲击波速度测量系统。通过采用多种耐辐射光学玻璃材料,实现了共用光路的400~700 nm耐辐射消色差设计;通过采用自动控制干涉仪简化... 针对激光聚变冲击波速度测量的需求,设计了一种集被动式扫描高温计和主动式冲击波速度测量于一体的复合冲击波速度测量系统。通过采用多种耐辐射光学玻璃材料,实现了共用光路的400~700 nm耐辐射消色差设计;通过采用自动控制干涉仪简化了系统操作;主动测速系统通过切换不同焦距的中继成像镜头,实现了不同放大倍率的切换。系统的物方视场为φ2.0 mm,主动式测速系统的放大倍率为10×,20×,30×,静态实验干涉条纹平直,调制度达到0.69以上,物方分辨率达到4.72μm。该系统在激光聚变装置上能够实现冲击波速度的动态测量。 展开更多
关键词 光学系统设计 速度干涉仪 多普勒频移 扫描高温计
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MEMS变形反射镜特性测试系统研究 被引量:3
16
作者 陈家凤 陈海清 向东 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期675-679,共5页
为了实现对MEMS变形反射镜的静态形貌、动态离面变形及谐振频率的测量,提出了一种基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统。测试中采用频闪照明技术及5步相移技术实现了对干涉相位的测量,利用空间及时间相位解缠算法恢复了反映物体真实... 为了实现对MEMS变形反射镜的静态形貌、动态离面变形及谐振频率的测量,提出了一种基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统。测试中采用频闪照明技术及5步相移技术实现了对干涉相位的测量,利用空间及时间相位解缠算法恢复了反映物体真实信息的连续相位,从而得到了所需的特性参数。实验结果表明:该系统具有测量简便、自动化程度高及测量精度高等特点。 展开更多
关键词 光学测量 MEMS变形反射镜 频闪干涉测量系统 5步相移算法 相位解缠
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移相干涉测量中的抗振技术 被引量:3
17
作者 左芬 陈磊 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期164-167,170,共5页
移相干涉测量技术是一种众所周知的非接触式的高精密测量方法,具有广泛的应用范围。环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一,国际上一些从事干涉测量的工作人员提出了许多抗振的方法,大体上分为主动技术和被动技术。主动抗振技术... 移相干涉测量技术是一种众所周知的非接触式的高精密测量方法,具有广泛的应用范围。环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一,国际上一些从事干涉测量的工作人员提出了许多抗振的方法,大体上分为主动技术和被动技术。主动抗振技术主要是系统自身探测振动并通过反馈回路对振动进行补偿,被动抗振技术则是通过各种技术措施尽量减小干涉仪对环境振动和气流影响的敏感度。从这两方面对干涉仪的抗振技术研究的进展做简单介绍,并介绍了作者所在课题组在这两个方面所进行的研究工作。 展开更多
关键词 光学测量 移相干涉仪 主动抗振 被动抗振
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一种用于零差干涉型光纤传感器动态相移线性测量的J_1 ~J_6法(英文) 被引量:3
18
作者 靳伟 《光子学报》 EI CAS CSCD 1997年第12期1091-1096,共6页
本文介绍一种用于零差干涉型光纤传感器动态相移线性测量的方法:J1~J6法.该方法同时测量干涉仅输出的一到六次谐波,并用三个奇次谐波或三个偶次谐波来计算动态相移的幅值.这一方法克服了以前提出的J1~J4法的缺点,可以在任何相位... 本文介绍一种用于零差干涉型光纤传感器动态相移线性测量的方法:J1~J6法.该方法同时测量干涉仅输出的一到六次谐波,并用三个奇次谐波或三个偶次谐波来计算动态相移的幅值.这一方法克服了以前提出的J1~J4法的缺点,可以在任何相位偏置的条件下对动态相移进行稳定测量. 展开更多
关键词 光纤传感器 光学干涉仪 零差 相移
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带PZT相移控制器的光纤干涉系统 被引量:3
19
作者 郑光昭 《广东工业大学学报》 CAS 2002年第4期34-37,共4页
简要介绍带PZT相移控制器的光纤干涉系统的组成部分,介绍该系统的干涉原理、PZT移相原理以及光纤干涉仪的检测原理,并提出一种应用相移技术检测不随时间变化的非调制待测量信号的方案.
关键词 马赫-詹德尔干涉仪 光纤干涉系统 PZT相移控制器 工作原理 检测原理 组成部分
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MEMS微变形镜测试技术及算法研究 被引量:1
20
作者 陈家凤 肖风华 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期185-190,共6页
介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术,实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。采用频闪成像、计算机微视觉技术以及基于最小二乘曲面拟合法的亚像素定位技术实现了对平面内微位移的测... 介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术,实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。采用频闪成像、计算机微视觉技术以及基于最小二乘曲面拟合法的亚像素定位技术实现了对平面内微位移的测量;利用频闪成像以及5步相移干涉技术实现了对干涉相位的提取,建立了适合于MEMS微变形镜特性测试的相位解缠算法,恢复了代表被测物体表面形貌的真实相位,实现了微变形镜静动态特性的测试。测试结果表明:频闪显微相移干涉测量技术具有测量速度快、精度高、易实现自动控制等特点。 展开更多
关键词 光学测量 微变形镜 频闪成像 亚像素定位 5步相移干涉 相位解缠
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