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Thermal time constant of a terminating type MEMS microwave power sensor
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作者 许映林 廖小平 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期51-54,共4页
A terminating type MEMS microwave power sensor based on the Seebeck effect and compatible with the GaAs MMIC process is presented.An electrothermal model is introduced to simulate the thermal time constant. An analyti... A terminating type MEMS microwave power sensor based on the Seebeck effect and compatible with the GaAs MMIC process is presented.An electrothermal model is introduced to simulate the thermal time constant. An analytical result,about 160 ms,of the thermal time constant from the non-stationary Fourier heat equations for the structure of the sensor is also given.The sensor measures the microwave power jumping from 15 to 20 dBm at a constant frequency 15 GHz,and the experimental thermal time constant result is 180 ms.The frequency is also changed from 20 to 10 GHz with a constant power 20 dBm,and the result is also 180 ms.Compared with the analytical and experimental results,the model is verified. 展开更多
关键词 MEMS thermal time constant microwave power electrothermal model
原文传递
Dynamic thermal modeling and parameter identification for a monolithic laser diode module
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作者 李金义 杜振辉 +1 位作者 马艺闻 徐可欣 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第3期317-322,共6页
We improved the thermal equivalent-circuit model of the laser diode module(LDM) to evaluate its thermal dynamic properties and calculate the junction temperature of the laser diode with a high accuracy.The thermal p... We improved the thermal equivalent-circuit model of the laser diode module(LDM) to evaluate its thermal dynamic properties and calculate the junction temperature of the laser diode with a high accuracy.The thermal parameters and the transient junction temperature of the LDM are modeled and obtained according to the temperature of the thermistor integrated in the module.Our improved thermal model is verified indirectly by monitoring the emission wavelength of the laser diode against gas absorption lines,and several thermal parameters are obtained with the temperature uncertainty of 0.01 K in the thermal dynamic process. 展开更多
关键词 laser diode module dynamic thermal modeling thermal time constant tunable diode laser absorption spectroscopy(TDLAS)
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基于热网络分区等效策略的Si/SiC混合器件耦合热参数辨识方法 被引量:1
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作者 龙柳 肖凡 +2 位作者 涂春鸣 肖标 郭祺 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第12期3718-3731,共14页
由硅(Si)绝缘栅双极型晶体管(IGBT)与碳化硅(SiC)金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)并联构成的混合器件可打破单一Si基器件和SiC基器件的局限性,实现损耗和成本间的有效均衡。结温估计对于Si/SiC混合器件的可靠运行至关重要,然而,... 由硅(Si)绝缘栅双极型晶体管(IGBT)与碳化硅(SiC)金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)并联构成的混合器件可打破单一Si基器件和SiC基器件的局限性,实现损耗和成本间的有效均衡。结温估计对于Si/SiC混合器件的可靠运行至关重要,然而,目前针对热监测的研究往往需满足热稳态平衡和功率损耗可测两大条件,在实际变流器中实用性较低。基于此,该文以零输入响应法为切入点,首先,对Si/SiC混合器件热结构特性进行分析,详细阐述零输入响应法直接应用于混合器件时所带来的高阶热约束条件难以表征的问题;其次,通过对SiIGBT与SiC MOSFET进行热网络分区处理实现模型的降阶,构建出壳温降温曲线时间常数与热参数之间的约束关系,提出了基于热网络分区等效思想的混合器件耦合热参数辨识方法,所提方法简化了功率损耗测量步骤与热平衡态条件,在并联器件耦合热参数辨识研究中具有简单、通用、流程化高的应用优势;最后,通过实验验证了该文所提方法的准确性和有效性。 展开更多
关键词 耦合热参数辨识 Si/SiC混合器件 热网络分区 热时间常数 热约束
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板翅式换热器传递函数动态模型及参数确定方法
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作者 梁兴壮 黄志远 +2 位作者 艾凤明 袁振伟 汪箭 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期154-162,共9页
飞机综合环控/热管理系统迫切需要建立快捷高效的换热器动态仿真模型,以满足先进控制系统设计需求。基于此,针对板翅式换热器动态模型,提出一种包含2个延迟环节和4个一阶惯性环节的传递函数矩阵形式,并从换热器机理模型出发,利用拉普拉... 飞机综合环控/热管理系统迫切需要建立快捷高效的换热器动态仿真模型,以满足先进控制系统设计需求。基于此,针对板翅式换热器动态模型,提出一种包含2个延迟环节和4个一阶惯性环节的传递函数矩阵形式,并从换热器机理模型出发,利用拉普拉斯变换推导模型中4个时间常数的计算公式,提出基于换热器效率的传热热阻计算关系式的辨识方法,解决了主要模型参数设置难题。以板翅式换热器为研究对象,在Simulink仿真平台搭建其传递函数动态模型,并与AMESim仿真平台搭建的机理模型进行对比分析,结果显示:2种模型所得空气和冷却水出口温度分别随入口温度和质量流量阶跃变化的动态响应曲线吻合很好,其中,4种工况空气和冷却水出口温度最大稳态偏差分别为0.034℃和0.029℃,当冷却水入口质量流量阶跃变化时,空气出口温度动态响应相对偏差最大,为9.27%,当空气入口质量流量阶跃变化时,冷却水出口温度动态响应相对偏差最大,为7.03%。 展开更多
关键词 换热器 动态模型 传递函数矩阵 时间常数 传热热阻
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单芯电缆热时间常数的理论计算与试验研究 被引量:58
5
作者 张尧 周鑫 +4 位作者 牛海清 王晓兵 汤毅 赵健康 樊友兵 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2801-2806,共6页
由于电缆热容的存在,当施加阶跃电流时,电缆温度随时间逐渐变化,经一段时间后达到热稳态,导体温度变化的速度一般用热时间常数来反映。为此,以单芯电缆为研究对象,介绍了电缆热时间常数;建立了电缆本体及周围介质的暂态热路模型并进行... 由于电缆热容的存在,当施加阶跃电流时,电缆温度随时间逐渐变化,经一段时间后达到热稳态,导体温度变化的速度一般用热时间常数来反映。为此,以单芯电缆为研究对象,介绍了电缆热时间常数;建立了电缆本体及周围介质的暂态热路模型并进行简化等效;计算了空气敷设和直埋敷设单芯电缆的热时间常数;并在试验现场进行了阶跃电流下的单芯电缆温升试验,通过对实测导体温度暂态过程的曲线拟合求得了电缆实际的热时间常数,验证了理论计算的正确性。电缆的热时间常数可用于估算阶跃电流作用下的导体暂态温度响应、以及到达最高允许温度所需要的升温时间,为电缆的运行状态监测及故障预警提供理论支持。 展开更多
关键词 导体温度 热时间常数 单芯电缆 暂态热路模型 计算 试验 升温时间
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不依赖于传感器静态特性的温度传感器热时间常数测试方法研究 被引量:11
6
作者 路立平 鹿晓力 高巍 《河南师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期36-38,76,共4页
基于温度传感器与其所处介质环境交换热能的速率和温度传感器的静态特性无关这样的认识,提出了无需利用温度传感器静态特性的热时间常数测量方法,推导出了温度传感器的热时间常数方程.该方法用两个不同大小的功率对同一个温度传感器进... 基于温度传感器与其所处介质环境交换热能的速率和温度传感器的静态特性无关这样的认识,提出了无需利用温度传感器静态特性的热时间常数测量方法,推导出了温度传感器的热时间常数方程.该方法用两个不同大小的功率对同一个温度传感器进行两次恒功率加热,在这两次加热过程中,温度传感器的介质环境、传感器加热开始时的温度和传感器加热截止时的温度分别相同.根据两次加热过程所用的时间和功率就可以计算出温度传感器的热时间常数.该方法理论严谨,技术可行,无由温度传感器静态特性的离散性和非线性带来的测量误差,为准确测量接触式温度传感器的热时间常数提供了理论依据和技术手段. 展开更多
关键词 温度传感器 热时间常数 测量算法 动态测试
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温度传感器的热时间常数及其测试方法 被引量:15
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作者 路立平 冯建勤 鹿晓力 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第7期17-18,共2页
提出了一种电阻式温度传感器热时间常数的测试方法和测试系统。系统先对温度传感器电加热,然后使其在环境介质中自然冷却,测量并记录温度传感器在冷却过程中的示值温度,进而用降温幅度达到全额降温幅度的63.2%所用的时间表示温度传感器... 提出了一种电阻式温度传感器热时间常数的测试方法和测试系统。系统先对温度传感器电加热,然后使其在环境介质中自然冷却,测量并记录温度传感器在冷却过程中的示值温度,进而用降温幅度达到全额降温幅度的63.2%所用的时间表示温度传感器的热时间常数。该方法准确度高,系统构成简单。 展开更多
关键词 温度传感器 时间常数 动态响应
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一种航天器热平衡试验温度稳定判据确定方法 被引量:3
8
作者 孟繁孔 赵亮 +3 位作者 卿恒新 范宇峰 满广龙 范含林 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1263-1270,共8页
针对典型航天器热控设计与传热过程特点,建立了设备与舱体动态耦合换热集总参数模型。提出了一种基于热时间常数的航天器热平衡试验温度稳定判据确定方法,给出了双节点耦合换热型航天器系统的热时间常数定义,建立了热平衡温差与温度变... 针对典型航天器热控设计与传热过程特点,建立了设备与舱体动态耦合换热集总参数模型。提出了一种基于热时间常数的航天器热平衡试验温度稳定判据确定方法,给出了双节点耦合换热型航天器系统的热时间常数定义,建立了热平衡温差与温度变化率的对应关系。提出了基于Levenberg-Marquardt最小二乘法温度曲线拟合的热时间常数实时修正方法,该实时修正方法可用于多节点耦合换热航天器热平衡温度稳定判据确定。讨论了目前广泛采用的航天器热平衡试验温度稳定判据的适用性,研究结果可用于指导航天器热平衡试验中温度稳定判据确定。 展开更多
关键词 热平衡试验 温度稳定判据 热时间常数 热控
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功率补偿式DSC曲线的理论分析 被引量:8
9
作者 任婉婷 王颖 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期11-18,共8页
根据能量守恒和热传递定律,推导出功率补偿式DSC曲线的理论方程。以纯物质铟的DSC熔融曲线为例,说明其升温扫描过程可分为熔融前、熔融和熔融后3个阶段以及与DSC理论方程的对应关系。DSC曲线分析结果表明:熔点温度对应熔融起始温度;熔... 根据能量守恒和热传递定律,推导出功率补偿式DSC曲线的理论方程。以纯物质铟的DSC熔融曲线为例,说明其升温扫描过程可分为熔融前、熔融和熔融后3个阶段以及与DSC理论方程的对应关系。DSC曲线分析结果表明:熔点温度对应熔融起始温度;熔融后阶段的曲线以指数形式衰减,热时间常数值越大,熔融后曲线的拖尾时间越长;熔融焓对应于DSC曲线的基线以上和熔融开始至熔融结束曲线以下所包络的面积。论证了测定热阻的理论依据及热阻对DSC曲线的影响。以多组分样品体系的模拟DSC曲线为例,说明聚合物熔融DSC曲线的特征来源。 展开更多
关键词 差示扫描量热(DSC) 功率补偿式DSC 热阻 热时间常数
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非制冷红外焦平面阵列器件的热时间常数测试方法 被引量:4
10
作者 刘子骥 赵晟晨 +3 位作者 赵征庭 李聿达 郑兴 张磊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第12期100-107,共8页
热时间常数是基于微测辐射热计的非制冷红外探测器的关键指标参数,它与探测器的最高有效帧频直接相关,因此准确测量热时间常数对于器件设计和应用都有举足轻重的意义。但目前无论是探测器热时间常数的标称值还是基于单元的热时间常数现... 热时间常数是基于微测辐射热计的非制冷红外探测器的关键指标参数,它与探测器的最高有效帧频直接相关,因此准确测量热时间常数对于器件设计和应用都有举足轻重的意义。但目前无论是探测器热时间常数的标称值还是基于单元的热时间常数现有方法的测试值,都无法建立与探测器的频率响应特性的直接定量函数关系,以确定探测器工作的最小帧间时间间隔。直接基于阵列器件测量热时间常数的方法,借助低于1/2帧频的斩波调制,通过变频时域采集,快速傅里叶变换(FFT)等常规测试手段,提取有效的电压响应信号,拟合频响曲线,能快速有效地提取热时间常数。通过实测分析,该测量方法具有准确度高、抗干扰能力强、稳定性高、测试用时短的特点,且均采用通用的测试仪器,无需单独制作测试样品,具有较高的推广价值。 展开更多
关键词 非制冷红外焦平面探测器 热时间常数 快速傅里叶变换 微测辐射热计 斩波器
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半导体激光器光热光频调制特性的理论分析 被引量:1
11
作者 卢洪斌 王向朝 +3 位作者 王学锋 钱锋 陈高庭 方祖捷 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期136-139,共4页
利用光照射半导体激光器而改变其结温的方法 ,可精确地控制激光的频移幅度。理论分析表明频移幅度与调制频率、热时间常数和半导体激光器的偏置电流等物理量有关。
关键词 半导体激光器 光热效应 热时间常数 光热光频调制
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夹具对高压绝缘电缆热学特性影响的有限元分析 被引量:19
12
作者 吕安强 李静 +2 位作者 张振鹏 宋贺 林晓波 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2022年第1期283-290,共8页
夹具是已敷设高压绝缘电缆线路中的必备组件,为了获得夹具对缆体热学特性的影响,以典型220kV交流单芯交联聚乙烯(XLPE)绝缘电缆为对象进行电热耦合有限元分析。按照国内某市电缆的实际敷设情况,建立电缆在五种不同材料夹具下的二维和三... 夹具是已敷设高压绝缘电缆线路中的必备组件,为了获得夹具对缆体热学特性的影响,以典型220kV交流单芯交联聚乙烯(XLPE)绝缘电缆为对象进行电热耦合有限元分析。按照国内某市电缆的实际敷设情况,建立电缆在五种不同材料夹具下的二维和三维电热耦合有限元模型,通过稳态和暂态热力学计算,获得电缆在不同夹具下的载流量和热时间常数;通过计算不同夹具材料和间隔下的电缆温度,得到导体温度在径向和轴向的分布规律,并获得夹具材料和间隔距离与电缆导体温度的关系函数。结果表明,夹具的材料和间隔距离对电缆的载流量和热时间常数都有影响,夹具的热导率和间隔距离都存在一个临界值,在该值两侧导体温度变化存在较大差异。该文研究可为电缆的施工和运维提供理论和数据支持。 展开更多
关键词 夹具 高压电缆 载流量 热时间常数 有限元
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柞蚕卵为繁育寄主的黏虫赤眼蜂发育起点温度和有效积温研究 被引量:5
13
作者 张晨 安仕博 +2 位作者 侯洋旸 李天昊 臧连生 《环境昆虫学报》 CSCD 北大核心 2019年第2期283-287,共5页
为了明确黏虫赤眼蜂的发育起点温度和有效积温,本研究以柞蚕卵为中间繁育寄主,测定了黏虫赤眼蜂在17℃、20℃、23℃、26℃、29℃下各虫态的发育历期,并运用有效积温法则计算出黏虫赤眼蜂的发育起点温度和有效积温。结果表明:黏虫赤眼蜂... 为了明确黏虫赤眼蜂的发育起点温度和有效积温,本研究以柞蚕卵为中间繁育寄主,测定了黏虫赤眼蜂在17℃、20℃、23℃、26℃、29℃下各虫态的发育历期,并运用有效积温法则计算出黏虫赤眼蜂的发育起点温度和有效积温。结果表明:黏虫赤眼蜂各虫态在17℃~29℃均能正常发育,并且各温度下的发育历期明显不同,世代发育历期也明显不同,均随着温度的升高而逐渐变短。柞蚕卵繁育黏虫赤眼蜂的卵期、幼虫前期、幼虫中期、幼虫后期、预蛹期、蛹期的发育起点温度分别为8.01℃、15.41℃、13.51℃、13.32℃、15.39℃、9.04℃,有效积温分别为22.01、7.66、8.98、9.19、37.23、115.22℃·d。本研究为指导利用柞蚕卵大量繁育黏虫赤眼蜂以及探索诱导滞育温度提供了理论依据。 展开更多
关键词 黏虫赤眼蜂 柞蚕卵 发育历期 有效积温
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一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计 被引量:2
14
作者 杨广立 冯飞 +1 位作者 熊斌 王跃林 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期327-330,337,共5页
提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械... 提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3rad/K和2.94 mK。 展开更多
关键词 双材料梁-微镜一体化 热-机械灵敏度 热时间常数 噪声等效温差 光读出红外成像阵列器件
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赤泥最佳热处理工艺制度研究 被引量:10
15
作者 刘晓明 孙恒虎 +2 位作者 冯向鹏 张娜 白雪 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期983-986,共4页
研究了不同煅烧恒温时间和不同冷却制度对赤泥胶凝性能的影响,并借助胶砂强度试验和DTA,XRD等一系列分析方式对热活化后赤泥的胶凝性能进行了分析。结果表明:采用空气中自然冷却的方法,恒温时间从1h~3h,赤泥的活性随恒温时间的增长而... 研究了不同煅烧恒温时间和不同冷却制度对赤泥胶凝性能的影响,并借助胶砂强度试验和DTA,XRD等一系列分析方式对热活化后赤泥的胶凝性能进行了分析。结果表明:采用空气中自然冷却的方法,恒温时间从1h~3h,赤泥的活性随恒温时间的增长而增加较快,恒温3h后活性增加较缓;采用随炉缓慢冷却的方法,恒温2小时的赤泥较恒温1h有明显增加,恒温2h后活性增加缓慢。空气中自然冷却和随炉温缓慢冷却这两种冷却制度对赤泥的活性影响也较为显著。 展开更多
关键词 赤泥 热制度 恒温时间 冷却制度
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柔性接触压力下接触网导线的温度场仿真 被引量:1
16
作者 王智勇 郭凤仪 +2 位作者 刘帅 高洪鑫 薛一鸣 《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2017年第12期1315-1320,共6页
为减小弓网系统温度分布对摩擦副电接触性能的影响,利用COMSOL Multiphysic软件建立了弓网系统温度场仿真模型,通过温升实验验证了模型的有效性.对柔性接触压力下接触网导线的热时间常数和稳态温升进行了仿真计算.随着滑动速度的增加,... 为减小弓网系统温度分布对摩擦副电接触性能的影响,利用COMSOL Multiphysic软件建立了弓网系统温度场仿真模型,通过温升实验验证了模型的有效性.对柔性接触压力下接触网导线的热时间常数和稳态温升进行了仿真计算.随着滑动速度的增加,热时间常数逐渐减小,稳态温升呈现先减小后增加的变化趋势.随着接触电流的增加,热时间常数保持不变,稳态温升变化较小.相比于刚性接触压力,当滑动速度和接触电流恒定时,柔性接触压力下的热时间常数更小、稳态温升更低. 展开更多
关键词 柔性接触压力 接触网导线 稳态温升 热时间常数
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基于有限元法的微测辐射热计热电性能研究 被引量:2
17
作者 陈超 蒋亚东 马加锋 《半导体光电》 CAS 北大核心 2015年第5期689-692,共4页
采用有限元法针对微测辐射热计的热电耦合敏感机理进行研究。建立微测辐射热计精确三维有限元模型,采用动态热电有限元方法对器件的热电特性进行了分析,得到了其热电耦合场下的温度响应特性,并获取其热容、有效热时间常数和有效热导值... 采用有限元法针对微测辐射热计的热电耦合敏感机理进行研究。建立微测辐射热计精确三维有限元模型,采用动态热电有限元方法对器件的热电特性进行了分析,得到了其热电耦合场下的温度响应特性,并获取其热容、有效热时间常数和有效热导值等热学参数;采用该方法在微测辐射热计的设计阶段中,即可初步预判器件性能并为器件制备提供可靠的参考。所设计结构经流片验证,性能良好,且满足60Hz帧频成像要求。 展开更多
关键词 微测辐射热计 有限元分析 热导 热时间常数 热电耦合场分析
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添加石蜡的相变水泥墙传热性能分析 被引量:14
18
作者 李丽莎 闫全英 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期126-130,共5页
利用ANSYS有限元分析软件,模拟添加石蜡的相变水泥墙体和普通水泥墙体的传热性能。通过模拟计算,给出普通水泥墙和相变水泥墙在一侧受到热流时另一侧的表面温度和热流的变化规律,并与实验测试结果进行比较;通过对比研究相变墙体和普通... 利用ANSYS有限元分析软件,模拟添加石蜡的相变水泥墙体和普通水泥墙体的传热性能。通过模拟计算,给出普通水泥墙和相变水泥墙在一侧受到热流时另一侧的表面温度和热流的变化规律,并与实验测试结果进行比较;通过对比研究相变墙体和普通墙体的传热性能,分析相变墙的节能效果和可行性;同时求解相变墙体表面恒温时间随导热系数和相变潜热的变化规律。结果显示:数值模拟结果与实验测试结果较吻合,模拟方法可行;与普通墙体相比,相变墙体的温度变化平缓,热流传递出现滞后,热流量小,节能效果较明显;提高相变材料的导热系数和潜热能提高表面恒温时间,有利于相变材料在墙体中的储能效果。 展开更多
关键词 石蜡 相变水泥墙 传热性能 恒温时间
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微型热敏传感器系统动态特性理论研究 被引量:3
19
作者 刘奎 苑伟政 +2 位作者 马炳和 邓进军 姜澄宇 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期648-652,共5页
通过分析用于检测流体参数的微型热敏传感器的工作原理,针对恒流和恒温驱动电路驱动的此类传感器组成的系统,提出了对微型热敏传感器系统动态特性分析的依据和计算设计方法。并且通过对一阶恒流电路驱动传感器系统的时间常数和二阶恒温... 通过分析用于检测流体参数的微型热敏传感器的工作原理,针对恒流和恒温驱动电路驱动的此类传感器组成的系统,提出了对微型热敏传感器系统动态特性分析的依据和计算设计方法。并且通过对一阶恒流电路驱动传感器系统的时间常数和二阶恒温电路驱动传感器系统的响应频率的计算和分析,得到基于M EM S技术的热敏传感器系统的时域、频域参数的计算和设计依据,为此类传感器的器件设计和性能分析提供了重要的参考依据。 展开更多
关键词 热敏传感器 微机电系统 驱动电路 时间常数 响应频率
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光读出热成像芯片的优化设计与ANSYS模拟 被引量:1
20
作者 冯飞 焦继伟 +1 位作者 熊斌 王跃林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期552-556,共5页
利用一种近似理论——悬臂梁理论对光读出热成像芯片进行了优化设计 ,所采用的 Al/ Si O2 双材料体系 ,其关键性能指标——热 -机械灵敏度可达 6 .6 0× 10 - 8m/ K,与之相对应的最优厚度比为 0 .6 .同时 ANSYS模拟表明 ,可动微镜... 利用一种近似理论——悬臂梁理论对光读出热成像芯片进行了优化设计 ,所采用的 Al/ Si O2 双材料体系 ,其关键性能指标——热 -机械灵敏度可达 6 .6 0× 10 - 8m/ K,与之相对应的最优厚度比为 0 .6 .同时 ANSYS模拟表明 ,可动微镜热 -机械灵敏度为 2 .80× 10 - 8m/ K.芯片实测热 -机械灵敏度为 2 .0 2× 10 - 8m/ K,测试结果进一步证实了理论分析与 ANSYS模拟的结果 .理论计算表明 ,可动微镜热响应时间常数为 4 .4 5× 10 - 4s. 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 光读出热成像 可动微镜阵列 热-机械灵敏度 热响应时间常数
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