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题名厚膜Au导体的超声键合技术研究
被引量:2
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作者
李自学
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机构
西安微电子技术研究所
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出处
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
1997年第6期1-5,共5页
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文摘
Al丝超声键合技术是混合电路组装中使用得最为普遍的一种键合技术。本文使用焊点破坏性拉力试验和焊点的接触电阻测试两种方法,研究了导体材料(Au、Pd—Au)、膜层厚度、125℃、300℃热老练和温度循环对焊点键合强度的影响。分析了键合强度降低和焊点失效的原因。
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关键词
厚膜Au导体
超声键合
混合集成电路
互连
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Keywords
thick film, bonding, contact resistance, intermetallic
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分类号
TN450.597
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名新型导电膜的制备及性能研究
被引量:3
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作者
张洪波
苏春辉
许素莲
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机构
长春理工大学材料与化工学院
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出处
《化学与粘合》
CAS
2004年第6期321-323,共3页
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基金
吉林省科委基金资助项目 (2 0 0 1 0 3 0 5)
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文摘
介绍了各向异性导电胶的发展及国内外现状,阐述了各向异性导电胶的基本构成及导电原理。以环氧树脂为原料,铜为导电粒子,制备了各向异性导电胶。并介绍了各向异性导电胶的连接工艺,讨论了各向异性导电胶的稳定性,粘接压力对连接电阻的影响。研究结果表明,在170℃,95N/mm2,20s的条件下连接电阻才能小于10mΩ。各向异性导电胶在未来的发展中,是可以代替焊接的一种新型材料,可应用于微电子领域精细电路中微小电极的连接。
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关键词
导电膜
各向异性
连接工艺
稳定性
粘接压力
制备
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Keywords
anisotropic conductive adhesive film (ACAF)
conductive particle
epoxy resin
contact resistance
bonding pressure
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分类号
TQ437.6
[化学工程]
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