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厚膜Au导体的超声键合技术研究 被引量:2
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作者 李自学 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1997年第6期1-5,共5页
Al丝超声键合技术是混合电路组装中使用得最为普遍的一种键合技术。本文使用焊点破坏性拉力试验和焊点的接触电阻测试两种方法,研究了导体材料(Au、Pd—Au)、膜层厚度、125℃、300℃热老练和温度循环对焊点键合强度的影响。分析了键... Al丝超声键合技术是混合电路组装中使用得最为普遍的一种键合技术。本文使用焊点破坏性拉力试验和焊点的接触电阻测试两种方法,研究了导体材料(Au、Pd—Au)、膜层厚度、125℃、300℃热老练和温度循环对焊点键合强度的影响。分析了键合强度降低和焊点失效的原因。 展开更多
关键词 厚膜Au导体 超声键合 混合集成电路 互连
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新型导电膜的制备及性能研究 被引量:3
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作者 张洪波 苏春辉 许素莲 《化学与粘合》 CAS 2004年第6期321-323,共3页
介绍了各向异性导电胶的发展及国内外现状,阐述了各向异性导电胶的基本构成及导电原理。以环氧树脂为原料,铜为导电粒子,制备了各向异性导电胶。并介绍了各向异性导电胶的连接工艺,讨论了各向异性导电胶的稳定性,粘接压力对连接电阻的... 介绍了各向异性导电胶的发展及国内外现状,阐述了各向异性导电胶的基本构成及导电原理。以环氧树脂为原料,铜为导电粒子,制备了各向异性导电胶。并介绍了各向异性导电胶的连接工艺,讨论了各向异性导电胶的稳定性,粘接压力对连接电阻的影响。研究结果表明,在170℃,95N/mm2,20s的条件下连接电阻才能小于10mΩ。各向异性导电胶在未来的发展中,是可以代替焊接的一种新型材料,可应用于微电子领域精细电路中微小电极的连接。 展开更多
关键词 导电膜 各向异性 连接工艺 稳定性 粘接压力 制备
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