椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理

介绍利用椭偏法测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法。采用数字迭代计算方法 ,由测量得到的起偏角和检偏角可直接算出所测薄膜的折射率和厚度。经过数值试验及与标准值比对 ,由此编制的计算程序具有准确、快速、方便的特点。经实际使用 ,计算出的厚度值误差较小。