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Using Narrow Line-Width Laser to Measure the Thickness and Refractive Index of the Film
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作者 Junjie Fang 《Natural Science》 2020年第11期726-735,共10页
We demonstrate applications of a novel setup which is used for measuring the relative phase difference between S and P polarization at an oblique incidence point in optically denser medium by analyzing the relative fr... We demonstrate applications of a novel setup which is used for measuring the relative phase difference between S and P polarization at an oblique incidence point in optically denser medium by analyzing the relative frequency shift of adjacent axial modes of S and P resonances of a monolithic folded Fabry-Perot cavity (MFC). The relative phase difference at a reflection point A in an optically denser medium is inferred to be around -167.4°<span "=""> for a confocal cavity and -201.1° for a parallel cavity. Given the <i>n</i><sub>1</sub>, <i>n</i><sub>3</sub>, <i>φ</i><sub>1</sub>, <i>φ</i><sub>3</sub>, <i>λ</i></span><span "="">, and Δ, the elliptic formula tan(<i>ψ</i>)exp(<i>i</i>Δ) = <i>R<sub>p</sub></i>/<i>R<sub>s</sub></i> is used to find a solution for thickness d and refractive index </span><i>n</i><sub>2</sub><span "=""> of the thin film coated on point A, where <i>R<sub>s</sub></i> and <i>R<sub>p</sub></i> are total refractive index of <i>s</i> and<i> p</i> component of light related to two unknown values. Since it is hard to deduce an analytical solution for thickness and refractive index of the film, we firstly used exhaustion method to find the set of solution about thickness and refractive index when assumed there is no light absorption by the film and then Particle Swarm Optimization (PSO) to find a set of solution of thickness and complex refractive index which accounts the light absorption by the film. 展开更多
关键词 Particle Swamp Optimization Narrow-Lined Laser thin-film thickness and refractive index
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基于多项式求根的双厚度透射法确定液体光学常数
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作者 杨百愚 李磊 +5 位作者 王伟宇 武晓亮 王翠香 范琦 刘静 徐翠莲 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期2733-2738,共6页
光谱反演法可实现液体光学常数(消光系数和折射率)的确定,其中双厚度透射法是有代表性的光谱反演法之一。由于液体自身无法形成确定的形状,需要盛放在透明容器(液体池)中,因而通过实验测量得到的光谱透射率包含了液体池光学常数的影响,... 光谱反演法可实现液体光学常数(消光系数和折射率)的确定,其中双厚度透射法是有代表性的光谱反演法之一。由于液体自身无法形成确定的形状,需要盛放在透明容器(液体池)中,因而通过实验测量得到的光谱透射率包含了液体池光学常数的影响,这使得基于双厚度透射法所建立的光谱透射率方程极为复杂,难以求得解析解,通常采用反演法来计算液体的光学常数。现有的反演法存在如下问题:一是反演迭代耗费时间,二是反演迭代会引入误差,三是反演法得到的液体折射率存在二值问题。为解决上述问题,基于三层介质结构(液体池),考虑光在两种介质分界面上的多次反射,建立液体厚度满足整数比的光谱透射率方程组。通过代数运算获得与消光系数有关的多项式方程,求解并选择大于0小于1的实数根来计算消光系数;另求解关于液体池光学窗口反射率的一元二次方程,选择大于0小于1的根来计算液体和容器分界面的反射率,进而计算得到液体折射率的两个值。再用另一材料制作的液体池测量液体的光谱透射率,然后结合已经得到的消光系数作相关计算,会另外得到液体折射率的两个值,从四个值中选择相同者即为液体的折射率。作为应用示例,选用文献中水在0.5~1.0μm光谱范围的光学常数作为“理论值”、光学常数已知的石英玻璃和有机玻璃作为液体池材料。在不考虑仪器测量误差的情况下,将上述文献数据代入光谱透射率方程,计算得到的透射率作为“实验数据”。然后用多项式求根的方法确定水的光学常数,所得结果与“理论值”完全符合。模拟过程和计算结果表明:新方法是可用的,该方法解决了反演法的计算耗时、迭代误差以及折射率的二值问题,为液体光学常数的确定提供了一个新选择。 展开更多
关键词 光学常数 折射率 消光系数 衰减系数 双厚度透射率模型
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基于反射光谱的薄膜光学常数和厚度测试
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作者 吕永林 郑万祥 +7 位作者 李汝劼 张友良 唐莹娟 张伟涛 陈奕君 王贵全 李彦生 王乔方 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第8期965-973,共9页
薄膜的光学常数(折射率、消光系数)和厚度决定了镀膜零件的光学性能,因此根据实际条件掌握薄膜的光学常数和厚度是膜系结构设计和性能优化的重要环节。本文采用傅里叶红外光谱仪测试薄膜样品的反射光谱曲线,通过单纯形优化算法拟合反射... 薄膜的光学常数(折射率、消光系数)和厚度决定了镀膜零件的光学性能,因此根据实际条件掌握薄膜的光学常数和厚度是膜系结构设计和性能优化的重要环节。本文采用傅里叶红外光谱仪测试薄膜样品的反射光谱曲线,通过单纯形优化算法拟合反射光谱曲线,借助不同色散模型,构建目标优化函数,获得薄膜光学常数和厚度,拟合结果与采用椭偏仪测试的结果具有较好的一致性。将拟合得到的薄膜光学参数及厚度代入反射率理论计算模型,通过理论计算模型得到的反射率曲线和实验测试曲线吻合良好,折射率测试结果与计算结果的最大相对误差小于1.8%,厚度测试结果的相对误差不大于0.4%,考虑消光系数的反射光谱拟合曲线与测试曲线相对误差的最大值小于2%。该方法只需测量薄膜的反射光谱曲线,通过计算就能得到薄膜的光学常数及厚度。该方法测试计算简单、精度高、适用范围广,对光学薄膜结构设计、优化和加工具有一定的实际应用价值。 展开更多
关键词 光学薄膜 反射光谱 折射率 薄膜厚度
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基于等厚干涉自动检测透明液体的质量分数
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作者 周衍润 罗文泽 夏明岗 《物理实验》 2024年第10期51-55,共5页
基于等厚干涉原理设计了透明液体质量分数自动检测装置.利用普通的光学玻璃作为上层干涉板,采用半透半反镜作为下层干涉板,搭建小角度劈尖.使用CCD拍摄劈尖内空气间隙与待测溶液间隙处形成的干涉条纹图样,对干涉图样进行灰度转换、中值... 基于等厚干涉原理设计了透明液体质量分数自动检测装置.利用普通的光学玻璃作为上层干涉板,采用半透半反镜作为下层干涉板,搭建小角度劈尖.使用CCD拍摄劈尖内空气间隙与待测溶液间隙处形成的干涉条纹图样,对干涉图样进行灰度转换、中值滤波、均值滤波及模糊等处理,利用Matlab软件计算溶液的折射率,进而利用折射率计算透明液体的质量分数. 展开更多
关键词 质量分数 折射率 等厚干涉 劈尖 图像处理
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基于多项式求根的双厚度透射率模型确定光学常数 被引量:2
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作者 杨百愚 武晓亮 +4 位作者 王翠香 王伟宇 李磊 范琦 刘静 《红外技术》 CSCD 北大核心 2023年第1期91-94,共4页
为解决光谱反演法确定物质光学常数的一些问题,基于传统的双厚度透射率模型,建立厚度分别为L和2L的光谱透射率方程,通过代数运算获得与衰减系数有关的八次多项式方程,求解并选择其大于0小于1的实数根来计算衰减系数和消光系数;再求解关... 为解决光谱反演法确定物质光学常数的一些问题,基于传统的双厚度透射率模型,建立厚度分别为L和2L的光谱透射率方程,通过代数运算获得与衰减系数有关的八次多项式方程,求解并选择其大于0小于1的实数根来计算衰减系数和消光系数;再求解关于界面反射率的一元二次方程,选择其大于0小于1的根来计算折射率。在确定光学常数的过程中,新方法没有反演误差和迭代计算耗时问题。利用已知文献中庚烷的光学常数验证新方法的可靠性,并分析了双厚度不满足2倍关系时对计算结果的影响,结论是第二厚度2L的相对误差不超过1%时,消光系数的计算误差不超过2.03%,不考虑3个强吸收点时,折射率的计算误差不超过1%。 展开更多
关键词 光学常数 折射率 消光系数 衰减系数 双厚度透射率模型
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基于傅里叶变换频谱分析的液体折射率实时测量系统 被引量:1
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作者 潘云 张建兵 +1 位作者 周鹏 顾国庆 《应用光学》 CAS 北大核心 2023年第5期1061-1067,共7页
提出了一种基于傅里叶变换频谱分析技术的数字化、高精度、便携式液体折射率实时干涉测量系统。该系统以劈尖形液体容器构成的等厚干涉测量光路为基础,搭建了以CCD(charge coupled device)相机记录的共路干涉测量系统。以树莓派硬件系... 提出了一种基于傅里叶变换频谱分析技术的数字化、高精度、便携式液体折射率实时干涉测量系统。该系统以劈尖形液体容器构成的等厚干涉测量光路为基础,搭建了以CCD(charge coupled device)相机记录的共路干涉测量系统。以树莓派硬件系统为平台,Python语言为编程基础,通过傅里叶变换频谱分析和三次样条插值实现记录窗口内干涉条纹数的精确提取。设计了图形操作界面,实现了测量过程的动态可视,测量过程只需提前标定未注入液体时的初始干涉条纹数,无需额外预设参数即可实现流动液体折射率的实时测量。实验中分别测定了3种液体的折射率,并验证了测量系统的时间稳定性。结果表明,当初始干涉条纹数大于180条时,测量系统有较好的时间稳定性,且测量的相对误差均在0.754%以内。 展开更多
关键词 干涉测量 等厚干涉 傅里叶变换 折射率 树莓派
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基于多项式求根的双厚度透射率模型确定透明固体光学常数
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作者 杨百愚 武晓亮 +5 位作者 王翠香 王伟宇 李磊 范琦 刘静 徐翠莲 《红外技术》 CSCD 北大核心 2023年第9期969-973,共5页
为解决光谱反演法确定透明固体光学常数的一些问题,如存在反演误差、计算耗时等。本文基于传统的双厚度透射率模型,建立了厚度满足整数比的两个光谱透射率方程。通过代数运算获得了与消光系数有关的多项式方程,求解并选择大于0小于1的... 为解决光谱反演法确定透明固体光学常数的一些问题,如存在反演误差、计算耗时等。本文基于传统的双厚度透射率模型,建立了厚度满足整数比的两个光谱透射率方程。通过代数运算获得了与消光系数有关的多项式方程,求解并选择大于0小于1的实数根来计算消光系数;然后求解关于界面反射率的一元二次方程,选择大于0小于1的根来计算折射率。在确定光学常数的过程中,新方法没有反演误差、迭代计算耗时及多值问题。作为应用示例,利用已知文献中的双厚度透射率实验数据计算了CaF_(2)和Si的光学常数,并和文献的结果进行了比较。结果表明,新方法优于传统的光谱反演法,新方法为透明固体光学常数的高精度确定提供了新选择。 展开更多
关键词 光学常数 折射率 消光系数 衰减系数 双厚度透射率模型 多项式求根
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蓝宝石衬底损伤层厚度和折射率的椭偏测量 被引量:1
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作者 崔长彩 李慧慧 +2 位作者 陈希 周志豪 胡中伟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期37-43,共7页
为了定量测量蓝宝石衬底在化学机械抛光过程中产生的损伤层厚度d和折射率n,提出了一种光谱椭偏测量法。首先,测量蓝宝石衬底反射光谱(波长范围:250~1650 nm)偏振态的改变量(即振幅比和相位差);然后,通过光学建模和测量数据反演,获得损伤... 为了定量测量蓝宝石衬底在化学机械抛光过程中产生的损伤层厚度d和折射率n,提出了一种光谱椭偏测量法。首先,测量蓝宝石衬底反射光谱(波长范围:250~1650 nm)偏振态的改变量(即振幅比和相位差);然后,通过光学建模和测量数据反演,获得损伤层d和n。实验研究了Al_(2)O_(3)和SiO_(2)两种磨料加工蓝宝石衬底损伤层d和n的变化趋势,前者d呈现波动趋势且最小值(约1.4 nm)出现在40 min左右,后者d持续下降,在20 min接近1 nm;二者损伤层n均小于蓝宝石晶体n。另外,实验和仿真分析结果表明相位差与厚度变化趋势一致,因无需建模反演,可作为快速表征损伤层d变化趋势的参量。总之,所提方法作为光学无损测量模式,适用于加工过程监测。 展开更多
关键词 光谱椭偏 蓝宝石衬底 损伤层 厚度 折射率
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Design of Optical Filter Using Bald Eagle Search Optimization Algorithm
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作者 L.Jegan Antony Marcilin N.M.Nandhitha 《Intelligent Automation & Soft Computing》 SCIE 2023年第4期1215-1226,共12页
Controlled thermonuclear reactors require consistent monitoring of plasma in the toroidal chamber.Better working conditions of such machines can be monitored by analyzing its radiations.Various wavelengths such as 656... Controlled thermonuclear reactors require consistent monitoring of plasma in the toroidal chamber.Better working conditions of such machines can be monitored by analyzing its radiations.Various wavelengths such as 656.3,486.1,464.7 nm are quite significant which are used for health monitoring of thermonuclear machines.The optical thinfilmfilters which work on construc-tive and destructive interference are the ideal choices.Thesefilters are multi-layered with a pair of high and low refractive index dielectric materials.Significantly high transmission index at the desired wavelength and relatively low transmission at the other wavelengths are desired.With this as the objective,it is necessary to design thefilter.Various optimization techniques are used for identifying the suitable design of thefilters.To choose the parameter combination that provides the most excellent performance,optimization of the design para-meters is entailed.The goal of this work is to improve the optical bandfilter using the Bald eagle search optimization(BES)method.The ideal design is determined by assessing several characteristics such as thickness,refractive index,Full-Width at Half-Maximum(FWHM),and the impact of choosing optical properties,which increases transmission potential.Initially,an alternate multi-layer stack with 28,30,and 32 layers is created by altering the thickness while keeping the dielectric substances high and low refractive indices constant.By adjusting the thickness of each layer,the BES algorithm achieves the best practical solution.The proposed method is implemented using MATLAB and the outcomes show the efficacy of the proposed technique.The transmittance,reflectance,and FWHM using the pro-posed BES are found to be 99.9356%,0.065%,and 1.2 nm respectively. 展开更多
关键词 Optical filter dielectricmaterial bandpassfilter baldeagle optimization algorithm thickness and refractive index
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光滑表面光反射的影响因素分析
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作者 袁忠才 张青蓉 朱启明 《光电技术应用》 2023年第2期79-84,共6页
涂层和基底构成了一个多层介质体系,建立分层介质体系的电磁反射模型,引入等效相对介电常数来考察其折射指数并简单分析了色散特性可能带来的影响,重点考察了典型光滑表面的光反射特征,分析了涂层材料折射指数和厚度变化对表面总反射率... 涂层和基底构成了一个多层介质体系,建立分层介质体系的电磁反射模型,引入等效相对介电常数来考察其折射指数并简单分析了色散特性可能带来的影响,重点考察了典型光滑表面的光反射特征,分析了涂层材料折射指数和厚度变化对表面总反射率的影响。相关方法和结论对后续开展一般性涂层光散射分析具有基础性作用。 展开更多
关键词 光反射 表面 折射指数 厚度
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Simultaneous quality improvement of the roughness and refractive index of SiC thin films
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作者 Gh.Sareminia H.Simchi +1 位作者 A.Ostovari L.Lavasanpour 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2012年第6期6-9,共4页
We deposite silicon carbide thin layers on cleaned Si(100) substrates using the plasma enhanced chemical vapor deposition method,and show that the RFTIR spectrum is periodic in the near and medium infrared ranges. I... We deposite silicon carbide thin layers on cleaned Si(100) substrates using the plasma enhanced chemical vapor deposition method,and show that the RFTIR spectrum is periodic in the near and medium infrared ranges. It is shown that both the deposition rate and the uniformity of the thin films are decreased by increasing the substrate temperature,and that the refractive index is increased by increasing the substrate temperature.This shows that there is a trade-off between the quality improvement of the uniformity and refractive index. 展开更多
关键词 SiC PECVD RFTIR thickness measurement refractive index
原文传递
基于侧边抛磨光纤倏逝场的折射率传感特性 被引量:10
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作者 白春河 罗云瀚 +3 位作者 陈哲 陈小龙 徐梦云 唐洁媛 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1182-1186,共5页
为了优化基于侧边抛磨光纤器件的性能,采用在线抛磨和测量的方法,实验研究了抛磨区长度和抛磨区剩余包层厚度对侧边抛磨光纤折射率传感特性的影响.研究发现,侧边抛磨光纤对材料折射率的传感特性依据灵敏度可以分为三个区域:1)折射率在1.... 为了优化基于侧边抛磨光纤器件的性能,采用在线抛磨和测量的方法,实验研究了抛磨区长度和抛磨区剩余包层厚度对侧边抛磨光纤折射率传感特性的影响.研究发现,侧边抛磨光纤对材料折射率的传感特性依据灵敏度可以分为三个区域:1)折射率在1.300~1.450范围内,传感特性的灵敏度很低,但线性度很好;2)折射率在1.450~1.500范围内,具有灵敏的传感特性,但在这个范围内线性度较差;3)折射率液大于1.500以后,可以同时获得较好的灵敏度、线性度和稳定性.比较抛磨区长度分别为10mm和20mm的侧边抛磨光纤,20mm的抛磨区长度不会提高传感的灵敏度,却会增加器件的不稳定性.抛磨光纤剩余包层厚度对传感灵敏度和功率损耗有重要影响,可依据器件实际需要选择合适的剩余包层厚度. 展开更多
关键词 侧边抛磨光纤 折射率 灵敏度 剩余包层厚度
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光线弯曲对激光测量热钢板厚度的影响 被引量:12
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作者 黄战华 蔡怀宇 +1 位作者 李贺桥 张以谟 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期40-43,共4页
以无热源大平面空气壁模型,用传热学理论计算了大平面热钢板附近空气的一维温度分布,从而得到了大平面热钢板附近空气的一维折射率分布。利用光线折射理论,求出了光线的传输路径和像点的偏离量。分析和计算表明:当钢板温度、测量角和测... 以无热源大平面空气壁模型,用传热学理论计算了大平面热钢板附近空气的一维温度分布,从而得到了大平面热钢板附近空气的一维折射率分布。利用光线折射理论,求出了光线的传输路径和像点的偏离量。分析和计算表明:当钢板温度、测量角和测量距离等参数增大时,像点偏离值就随着增大。对于钢板激光测厚系统,采用单表面单光路时,光线弯曲引起的测量误差较大,并且基本不随测量厚度减小而减小。采用完全对称的双面双光路时,左右光路的像点偏离正好抵消,光线弯曲引起的测量总误差很小,而且随测量厚度减小而减小。 展开更多
关键词 光线弯曲 厚度测量 激光测量 热钢板
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用二氧化钛、二氧化硅和氟化镁膜料镀制0.4μm^1.1μm超宽带增透膜 被引量:10
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作者 谭宇 梁宏军 +1 位作者 刘永强 赵兴梅 《应用光学》 CAS CSCD 2007年第5期623-626,共4页
对0.4μm^1.1μm超宽带增透膜的镀制工艺进行了研究。根据长期从事该工作的经验和对膜料性能的研究,结合国产设备的实际情况,在膜料的选取上主要考虑其透明光谱区域、折射率、材料的蒸发方式、机械特性、化学稳定性及抗高能辐射等因素;... 对0.4μm^1.1μm超宽带增透膜的镀制工艺进行了研究。根据长期从事该工作的经验和对膜料性能的研究,结合国产设备的实际情况,在膜料的选取上主要考虑其透明光谱区域、折射率、材料的蒸发方式、机械特性、化学稳定性及抗高能辐射等因素;最终选择用二氧化钛、二氧化硅和氟化镁3种常用膜料镀制0.4μm^1.1μm超宽带增透膜。涉及该膜系的膜层共有8层,结构为:玻璃■H■M■H■M■H■M■H■L■空气■。制作工艺方便简单、稳定,制做的膜层具有较好的光谱和机械性能,满足光电仪器实际使用要求。 展开更多
关键词 膜厚 膜层折射率 宽光谱 镀膜材料
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CdTe薄膜的红外光学特性研究 被引量:3
15
作者 范滨 张素英 +1 位作者 朱玲心 张凤山 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期192-196,共5页
用干涉法研究了热蒸发(PVD)方法制备的CdTe薄膜材料的红外光学特性.通过对不同基板温度和不同薄膜厚度CdTe薄膜样品的研究,确定了在薄膜沉积过程中基板温度和膜厚对CdTe薄膜红外光学特性的影响.发现CdTe薄膜具... 用干涉法研究了热蒸发(PVD)方法制备的CdTe薄膜材料的红外光学特性.通过对不同基板温度和不同薄膜厚度CdTe薄膜样品的研究,确定了在薄膜沉积过程中基板温度和膜厚对CdTe薄膜红外光学特性的影响.发现CdTe薄膜具有一定的非均匀性,其折射率随着薄膜厚度的增加而减小.在120~200℃范围内,基板温度对CdTe薄膜红外光学特性的影响不大. 展开更多
关键词 折射率 基板温度 红外光学特性 碲化镉 薄膜
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椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率 被引量:10
16
作者 马逊 刘祖明 +1 位作者 陈庭金 廖华 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2005年第4期24-27,共4页
文章通过对椭偏仪测量原理的分析给出了四区平均消光状态下的计算公式,利用该公式计算在一个周期内的薄膜厚度和折射率结果较好;同时给出了膜厚大于一个周期时的计算方法。
关键词 椭圆偏振测量 薄膜厚度 折射率
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槽式太阳能系统聚光镜面参数对聚光特性的影响研究 被引量:6
17
作者 张莹 李明 +4 位作者 季旭 罗熙 陈飞 刘雅莉 王美地 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2013年第4期14-19,共6页
对槽式太阳能系统聚光镜面参数对聚光特性的影响进行了理论、模拟及实验研究。结果显示,平行光下聚光镜面厚度、焦距、折射率导致汇聚光线在焦线位置发生横向离焦偏移△X与纵向离焦偏移△Y,采用OriginPro拟合出具有高相关指数的实用经... 对槽式太阳能系统聚光镜面参数对聚光特性的影响进行了理论、模拟及实验研究。结果显示,平行光下聚光镜面厚度、焦距、折射率导致汇聚光线在焦线位置发生横向离焦偏移△X与纵向离焦偏移△Y,采用OriginPro拟合出具有高相关指数的实用经验公式,并通过TracePro仿真及以焦距1060mm、反射镜折射率1.5、开口宽度1 600mm的典型槽式系统为平台进行实验验证。此研究可为太阳能槽式聚光系统进一步的设计优化提供参考。 展开更多
关键词 太阳能 槽式聚光 厚度 焦距 折射率 聚光特性
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双圈同轴式光纤位移传感器的输出特性 被引量:11
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作者 张平 张小栋 刘春翔 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期27-30,共4页
为了利用双圈同轴式光纤位移传感器准确测得旋转机械中滑动轴承的润滑膜厚度,分析了反射面形状以及润滑油折射率对双圈同轴式光纤位移传感器输出特性的影响.利用几何光学分析方法,建立了反射面为球面时的光纤传感器输出函数的数学模型,... 为了利用双圈同轴式光纤位移传感器准确测得旋转机械中滑动轴承的润滑膜厚度,分析了反射面形状以及润滑油折射率对双圈同轴式光纤位移传感器输出特性的影响.利用几何光学分析方法,建立了反射面为球面时的光纤传感器输出函数的数学模型,分析了润滑油折射率对光纤入射角的影响.结果表明:当传播介质的折射率大于1时,光纤最大入射角减小;当反射面曲率半径减小时,传感器的灵敏度会降低;与光线在空气中传播相比,传播介质为润滑油时,随着传播介质折射率的增大,传感器的灵敏度降低.因此,在利用双圈同轴位移传感器进行滑动轴承的润滑膜厚度监测时,必须对传感器进行重新标定. 展开更多
关键词 旋转机械 润滑膜厚度 反射面形状 润滑油折射率
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新型复合双层光学增透膜的制备与性能 被引量:9
19
作者 姜浩 龙骧 王跃川 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期128-131,共4页
采用液面下降法在载玻片上制备了T iO2-S iO2/S t-MM A共聚物复合双层光学增透膜。考察了成膜材料组成对内外膜层折射率的影响规律,研究了紫外光辐照处理对内层无机膜厚度和折射率的影响,用紫外-可见分光光度计测试了增透膜的透过率。... 采用液面下降法在载玻片上制备了T iO2-S iO2/S t-MM A共聚物复合双层光学增透膜。考察了成膜材料组成对内外膜层折射率的影响规律,研究了紫外光辐照处理对内层无机膜厚度和折射率的影响,用紫外-可见分光光度计测试了增透膜的透过率。实验结果表明各膜层折射率随其组成比的变化而线性变化,内层膜和外层膜的折射率可分别在1.45~2.0和1.49~1.60之间连续可调。制备的双层光学增透膜在420 nm^600 nm光谱范围的透过率有很大提高,最高透过率达到99.5%,最高透过波长的位置可通过膜层厚度调整。 展开更多
关键词 增透膜 紫外光辐照 折射率
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AlCoCrCu_(0.5)NiFe高熵合金氧化物薄膜光学特性的研究 被引量:8
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作者 黄元盛 蔡铭洪 叶均蔚 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期129-133,共5页
目的制备AlCoCrCu_(0.5)NiFe高熵合金氧化物薄膜,并对其光学性能进行表征。方法使用磁控溅射设备在单晶硅片和玻璃上制备AlCoCrCu_(0.5)NiFe高熵合金氧化物薄膜,并对膜进行退火处理。使用椭圆偏振光谱仪对薄膜的光学特性进行分析。... 目的制备AlCoCrCu_(0.5)NiFe高熵合金氧化物薄膜,并对其光学性能进行表征。方法使用磁控溅射设备在单晶硅片和玻璃上制备AlCoCrCu_(0.5)NiFe高熵合金氧化物薄膜,并对膜进行退火处理。使用椭圆偏振光谱仪对薄膜的光学特性进行分析。结果随着氧含量的增加,折射系数减小。当光波长为633 nm时,折射系数为1.69~2.40。当氧分压为10%,折射率色散曲线在475 nm和600 nm处出现拐点,在600 nm之后折射率随着波长的增大而逐渐减小。当氧分压为30%时,折射率曲线在500 nm和600 nm处出现拐点,在600 nm后折射率趋于稳定。当氧分压为50%时,折射率曲线在525 nm处出现拐点,之后折射率随波长的增大而逐渐增大。在450~550 nm波段内,AlCoCrCu_(0.5)NiFe氧化物薄膜的吸收系数随氧分压的增加而增加。在550~850 nm波段内,薄膜的吸收系数随工作气压的变化趋势不明显。随着氧分压的增加膜的颜色逐渐变深。经过退火处理后,膜的颜色进一步加深。在相同工艺参数的情况下,氧的分压增加,膜厚减小。结论适当减小氧分压,能获得具有高折射率的AlCoCrCu_(0.5)NiFe氧化物薄膜。不同的分压下,AlCoCrCu_(0.5)FeNi氧化物薄膜的吸收系数随波长的增加均存在一个拐点,并且随氧分压的增加,拐点的波长减小。氧含量增加导致氧化物薄膜厚度减小,颜色加深。 展开更多
关键词 高熵合金 氧化物 薄膜 折射率 吸收系数 膜厚
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