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粉末套管法Ti/Al/Ti复合板的界面结合性能
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作者 胡贤磊 袁一 支颖 《热加工工艺》 北大核心 2024年第14期63-68,72,共7页
采用粉末套管法,通过“热轧+中间退火+进一步冷轧”工艺制备Ti/Al/Ti复合板。利用扫描电镜、电子探针、能谱仪、XRD分析以及万能实验机,研究不同制备参数下Ti/Al/Ti复合带材的界面形貌、元素分布、物相种类和界面结合强度。结果表明,单... 采用粉末套管法,通过“热轧+中间退火+进一步冷轧”工艺制备Ti/Al/Ti复合板。利用扫描电镜、电子探针、能谱仪、XRD分析以及万能实验机,研究不同制备参数下Ti/Al/Ti复合带材的界面形貌、元素分布、物相种类和界面结合强度。结果表明,单一脆性金属间化合物TiAl_(3)的产生会阻碍Ti/Al元素的扩散,扩散层厚度发生减薄。500℃退火,扩散层主要是由扩散形成的冶金结合层,局部区域有少量的金属间化合物TiAl_(3)生成,界面结合强度受冶金结合强度与机械结合强度的动态变化影响,随着压下率升高,结合强度先降低后升高再降低;550℃退火,界面反应增强,TiAl_(3)相逐渐增多,扩散层强度增加,冶金结合强度提高,由14.3 N/mm(500℃)增加至35.1 N/mm(550℃),随着压下率的增大,化合物层破碎程度增加,界面结合强度逐渐降低。 展开更多
关键词 ti/al/ti复合板 粉末套管法 中间退火 结合性能
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高Al组分n-AlGaN的Ti/Al/Ti/Au欧姆接触 被引量:1
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作者 周勋 罗木昌 +1 位作者 赵文伯 黄烈云 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期230-234,共5页
采用Ti/Al/Ti/Au多层金属电极对高Al组分n-AlxGa1-xN(x=0.6)欧姆接触的制备进行了研究,通过优化Ti接触层厚度以及合金退火条件,获得了较低的比接触电阻率(5.67×10-5Ω.cm2)。研究证实,Ti接触层厚度对欧姆接触特性有着重要影响,同... 采用Ti/Al/Ti/Au多层金属电极对高Al组分n-AlxGa1-xN(x=0.6)欧姆接触的制备进行了研究,通过优化Ti接触层厚度以及合金退火条件,获得了较低的比接触电阻率(5.67×10-5Ω.cm2)。研究证实,Ti接触层厚度对欧姆接触特性有着重要影响,同时发现,高低温两步退火方式之所以能够改善欧姆接触特性的本质是与Al3Ti及TiN各自的生成条件直接相关,即低温利于生成Al3Ti,高温利于生成TiN,而这对n型欧姆接触的有效形成至关重要。 展开更多
关键词 al组分n-alGaN ti/al/ti/Au 接触层厚度 两步退火 欧姆接触
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Ti/Al/Ti/Au与AlGaN欧姆接触特性 被引量:10
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作者 张锦文 张太平 +2 位作者 王玮 宁宝俊 武国英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期737-740,共4页
研究了溅射 Ti/ Al/ Ti/ Au四层复合金属与 Al Ga N / Ga N的欧姆接触特性 ,并就环境温度对欧姆接触特性的影响进行了分析研究 .试验证实 :溅射的 Ti/ Al/ Ti/ Au与载流子浓度为 2 .2 4× 10 1 8cm- 3的 Al Ga N之间在室温下无需退... 研究了溅射 Ti/ Al/ Ti/ Au四层复合金属与 Al Ga N / Ga N的欧姆接触特性 ,并就环境温度对欧姆接触特性的影响进行了分析研究 .试验证实 :溅射的 Ti/ Al/ Ti/ Au与载流子浓度为 2 .2 4× 10 1 8cm- 3的 Al Ga N之间在室温下无需退火即可形成欧姆接触 .随快速退火温度的升高接触电阻降低 .快速退火时间 30 s已可实现该温度下最佳欧姆接触 .当工作温度不高于 30 展开更多
关键词 alGAN 欧姆接触 半导体材料
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Ti/Al/Ti干法刻蚀工艺中BCl3气体作用研究 被引量:1
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作者 李淳东 李知勋 +3 位作者 陈兵 刘杰 吴国特 苗占成 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2019年第9期857-861,共5页
随着显示技术的发展,Ti/Al/Ti材料需求的厚度越来越厚,布线越来越窄。目前LTPS显示技术中常规的设计为Ti/Al/Ti材料衬底使用无机膜,后续柔性OLED显示技术新设计中Ti/Al/Ti衬底开始逐渐使用有机膜(聚酰亚胺等),Ti/Al/Ti干法刻蚀工艺面临... 随着显示技术的发展,Ti/Al/Ti材料需求的厚度越来越厚,布线越来越窄。目前LTPS显示技术中常规的设计为Ti/Al/Ti材料衬底使用无机膜,后续柔性OLED显示技术新设计中Ti/Al/Ti衬底开始逐渐使用有机膜(聚酰亚胺等),Ti/Al/Ti干法刻蚀工艺面临的挑战越来越大。本文主要研究在常规Ti/Al/Ti干法刻蚀工艺中,BCl 3气体对Ti/Al/Ti侧面形态的影响以及对光刻胶刻蚀速率的影响,实验结果表明:随着BCl 3气体流量的增加,Ti/Al/Ti侧面保护膜的厚度越来越薄,对PR胶的刻蚀速率越来越小。本文研究结果便于更好地应对后续Ti/Al/Ti干法刻蚀衬底为有机膜的新工艺。 展开更多
关键词 ti/al/ti 干法刻蚀 BCL 3 侧面保护 PR胶刻蚀速度
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固溶时间对Ti@(Al-Si-Ti)_(p)/A356复合材料组织及力学性能的影响
5
作者 张金玉 陈体军 《热加工工艺》 北大核心 2024年第6期21-25,共5页
采用粉末触变成形技术制备了原位自生心-壳结构增强A356铝基复合材料,并研究了固溶时间对Ti@(Al-Si-Ti)_(p)/A356复合材料显微其组织及力学性能的影响。结果表明,随着固溶时间增加,初生α-Al相颗粒粗化长大;共晶Si相不断溶解,晶界上残... 采用粉末触变成形技术制备了原位自生心-壳结构增强A356铝基复合材料,并研究了固溶时间对Ti@(Al-Si-Ti)_(p)/A356复合材料显微其组织及力学性能的影响。结果表明,随着固溶时间增加,初生α-Al相颗粒粗化长大;共晶Si相不断溶解,晶界上残余的共晶Si粗化、球状化;Al基体、Ti心部继续反应,增强体颗粒壳层发生相转变。复合材料在545℃固溶处理1 h时,力学性能达到峰值,其抗拉强度、屈服强度和伸长率分别为263.9 MPa、175.1 MPa、20%,比制备态复合材料分别提高了7.3%、21.4%和12.4%,维氏硬度也从59.3 HV提高到72.8 HV。 展开更多
关键词 粉末触变成形 ti@(al-Si-ti)_(p)/A356复合材料 固溶时间 力学性能
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烧结法制备Al-Ti-B中间合金粉体
6
作者 王开 张念炳 +1 位作者 甄晓峰 曾令鹤 《有色金属(冶炼部分)》 CAS 北大核心 2024年第5期100-104,共5页
采用TiO_(2)粉、CaO、Al粉和B_(2)O_(3)为原料,经混匀、压片、烧结后,制备出了Al-Ti-B中间合金粉末。利用XRD、SEM-EDS、XPS等表征手段,对烧结产物的物相组成、微观形貌和原子价态进行分析。结果表明,在钙铝比1.6、钛硼比5、1485℃烧结2... 采用TiO_(2)粉、CaO、Al粉和B_(2)O_(3)为原料,经混匀、压片、烧结后,制备出了Al-Ti-B中间合金粉末。利用XRD、SEM-EDS、XPS等表征手段,对烧结产物的物相组成、微观形貌和原子价态进行分析。结果表明,在钙铝比1.6、钛硼比5、1485℃烧结20 min的条件下,烧结产物的主要物相为Al_(3)Ti、TiB_(2)、Al、CaAl_(4)O_(7)和CaAl_(2)O_(4);烧结产物中Al_(3)Ti呈块状,TiB_(2)呈小颗粒状,两者均匀分布在铝基体中;TiO_(2)在反应中存在逐级还原的现象。烧结法可以制备出Al-Ti-B中间合金粉体。 展开更多
关键词 al-ti-B中间合金 al_(3)ti tiB_(2)相 烧结法
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浅谈Al-Ti-C与Al-Ti-B细化剂对7050合金铸锭的影响
7
作者 孙自鹏 张欢欢 罗德维 《铝加工》 CAS 2023年第2期25-30,共6页
7050铝合金大量应用于航空航天结构件,在生产过程中熔铸工序的铸锭组织对最终产品质量有决定性影响。为了解不同晶粒细化剂对7050合金铸锭组织的影响规律,采用金相显微镜、扫描电镜等检测手段,分析了Al-Ti-C与Al-Ti-B两种细化剂对7050... 7050铝合金大量应用于航空航天结构件,在生产过程中熔铸工序的铸锭组织对最终产品质量有决定性影响。为了解不同晶粒细化剂对7050合金铸锭组织的影响规律,采用金相显微镜、扫描电镜等检测手段,分析了Al-Ti-C与Al-Ti-B两种细化剂对7050合金铸锭低倍晶粒度、显微疏松以及显微组织的影响。结果表明:Al-Ti-B在线细化能力优于Al-Ti-C;Al-Ti-C在线细化铸锭的显微疏松尺寸稍低于Al-Ti-B在线细化的铸锭;Al-Ti-B在线细化铸锭的富铁相呈针状形貌,而Al-Ti-C在线细化铸锭的富铁相形貌主要呈块状形貌。 展开更多
关键词 al-ti-C丝 al-ti-B丝 在线细化剂 晶粒度 显微疏松 富铁相
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两步镀膜Ti/Al/Ti/Au的n型GaN欧姆接触研究 被引量:2
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作者 管志斌 王立 +1 位作者 江风益 叶建青 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2003年第3期347-350,共4页
报道了一种可靠稳定且低接触电阻的n型GaN欧姆接触。首先在掺硅的n型GaN(3×1018cm-3)蒸镀Ti(30nm)/Al(500nm),然后在氮气环境530℃合金化3min,最后蒸镀Ti(100nm)/Au(1000nm)用于保护Al层不被氧化。该接触电极有良好的欧姆接触特性... 报道了一种可靠稳定且低接触电阻的n型GaN欧姆接触。首先在掺硅的n型GaN(3×1018cm-3)蒸镀Ti(30nm)/Al(500nm),然后在氮气环境530℃合金化3min,最后蒸镀Ti(100nm)/Au(1000nm)用于保护Al层不被氧化。该接触电极有良好的欧姆接触特性,比接触电阻率为8.8×10-5Ωcm2,表面平坦、稳定、易焊线,可应用于制作高性能的GaN器件. 展开更多
关键词 两步镀膜 ti/al/ti/Au 欧姆接触 半导体器件 GAN
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Al-Ti-C与Al-Ti-B晶粒细化剂的Zr中毒机理 被引量:25
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作者 肖政兵 邓运来 +2 位作者 唐建国 陈祺 张新明 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期371-378,共8页
通过采用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)等对Al-Ti-Zr-C与Al-Ti-Zr-B试验合金中Al3Zr、Al3Ti、TiC或TiB2等第二相粒子结合情况的观察,研究晶粒细化剂的Zr中毒机理。结果表明:两种实验铝合金的凝固组织中Al3Zr均容易与Al3T... 通过采用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)等对Al-Ti-Zr-C与Al-Ti-Zr-B试验合金中Al3Zr、Al3Ti、TiC或TiB2等第二相粒子结合情况的观察,研究晶粒细化剂的Zr中毒机理。结果表明:两种实验铝合金的凝固组织中Al3Zr均容易与Al3Ti结合形成聚积体,从而抑制了Al3Ti异质形核、细化晶粒的作用,出现所谓晶粒细化剂的Zr中毒现象;而TiC、TiB2粒子基本不与Al3Zr结合,但受Al3Zr的影响出现了团聚现象。根据边-边匹配晶体学模型(E2EM)计算表明:Al3Zr与Al3Ti、α-Ti具有多种可能的共格位向关系,而与TiC/TiB2粒子均只有一种可能的共格位向关系。母相-新相的共格位向关系的多少可作为晶粒细化剂设计的晶体学理论参考。 展开更多
关键词 晶粒细化剂 al-ti-C al-ti-B ZR 中毒机理
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Ti_3Al基金属间化合物的研究进展 被引量:18
10
作者 司玉锋 陈子勇 +2 位作者 孟丽华 王肇文 陈玉勇 《特种铸造及有色合金》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期33-35,共3页
对Ti3 Al基金属间化合物的研究情况及其合金组织、力学性能、影响因素作了概述 ,并重点介绍了其熔炼技术和铸造特性。最后 ,展望Ti3
关键词 ti3al基金属间化合物 ti3al ti2alNB 组织性能
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Ti-Al系金属间化合物基叠层结构材料的制备技术与组织性能特征 被引量:14
11
作者 孙彦波 马凤梅 +1 位作者 肖文龙 马朝利 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期98-111,共14页
Ti-Al金属间化合物相与韧性Ti交替的叠层结构材料既可以保留Ti-Al金属间化合物的高温强度,又可拥有高的室温韧性,受到研究者的广泛关注。综述Ti增韧Ti-Al系金属间化合物基叠层复合材料两种制备方法,即箔箔冶金法和气相沉积法的物理冶金... Ti-Al金属间化合物相与韧性Ti交替的叠层结构材料既可以保留Ti-Al金属间化合物的高温强度,又可拥有高的室温韧性,受到研究者的广泛关注。综述Ti增韧Ti-Al系金属间化合物基叠层复合材料两种制备方法,即箔箔冶金法和气相沉积法的物理冶金学过程和致密化工艺,介绍各种技术条件下叠层材料组织结构和性能特点,并对各种技术的优缺点进行阐述。最后,对该种复合材料的未来应用领域和发展趋势进行展望,通过工艺调整来制备出具有更加合适的叠层结构和优异性能的材料,依旧是近几年的研究重点。 展开更多
关键词 钛合金 钛铝金属间化合物 叠层结构 复合材料
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Al-Ti和Al-Ti-C中间合金对消失模铸造AZ91镁合金显微组织的影响 被引量:6
12
作者 刘子利 潘青林 +1 位作者 陈照峰 陶杰 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2005年第11期1282-1284,共3页
A l-Ti和A l-Ti-C中间合金对消失模铸造AZ91镁合金组织的试验研究表明,与常用变质剂C2C l6相比,加入A l-Ti和A l-Ti-C中间合金对消失模铸造AZ91镁合金具有更好的组织细化效果和更高的力学性能,而加入A l-Ti-C中间合金的作用效果最佳。A ... A l-Ti和A l-Ti-C中间合金对消失模铸造AZ91镁合金组织的试验研究表明,与常用变质剂C2C l6相比,加入A l-Ti和A l-Ti-C中间合金对消失模铸造AZ91镁合金具有更好的组织细化效果和更高的力学性能,而加入A l-Ti-C中间合金的作用效果最佳。A l-Ti-C及A l-Ti中间合金的加入提高了共晶反应的离异化程度,晶界上的β相由连续网状变为不连续块状和孤立的粒状结构且分布均匀。A l-Ti-C中间合金对消失模铸造AZ91镁合金晶粒细化是其晶粒生长抑制作用和引入形核质点综合作用的结果。 展开更多
关键词 AZ91镁合金 消失模铸造 al-ti中间合金 al-ti—C中间合金 组织 力学性能 al-ti-C中间合金 显微组织 生长抑制作用 晶粒细化
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Ti/Ti-Al大尺寸微叠层材料的制备与性能研究(英文) 被引量:10
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作者 马李 孙跃 赫晓东 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期325-329,共5页
采用大功率电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备了层厚比为 1:1 的 Ti/Ti-Al 微叠层复合材料薄板,用 XRD 和 SEM对材料的微观结构进行了表征,对其室温及高温拉伸性能进行了测试。结果表明:材料由 Ti,α2-Ti3Al 和γ-TiAl 相组成,层状结... 采用大功率电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备了层厚比为 1:1 的 Ti/Ti-Al 微叠层复合材料薄板,用 XRD 和 SEM对材料的微观结构进行了表征,对其室温及高温拉伸性能进行了测试。结果表明:材料由 Ti,α2-Ti3Al 和γ-TiAl 相组成,层状结构对提高材料的室温塑性有利;尽管未经致密化处理的材料存在着较多微孔,但在金属间化合物层的反常强化及层间界面对裂纹的钝化作用下,材料仍具有较高的抗高温拉伸强度和良好的高温延迟断裂特性。 展开更多
关键词 微叠层材料 电子束物理气相沉积 力学性能
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Ti-60钛合金电弧离子镀Ti-Al-(Cr)防护涂层的循环氧化行为 被引量:4
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作者 闫伟 王清江 +2 位作者 刘建荣 孙凤久 王启民 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期231-236,共6页
研究了Ti-60钛合金及Ti-48Al和Ti-48Al-12Cr(原子数分数,%)两种涂层在800℃的循环氧化行为。实验发现Ti-60钛合金基体在800℃氧化严重,氧化层发生了明显剥落。而两种涂层在800℃均能有效地保护Ti-60钛合金基体。在循环氧化过程中Ti-48Al... 研究了Ti-60钛合金及Ti-48Al和Ti-48Al-12Cr(原子数分数,%)两种涂层在800℃的循环氧化行为。实验发现Ti-60钛合金基体在800℃氧化严重,氧化层发生了明显剥落。而两种涂层在800℃均能有效地保护Ti-60钛合金基体。在循环氧化过程中Ti-48Al-12Cr涂层增重明显小于Ti-48Al涂层,表现出更好的抗循环氧化能力。 展开更多
关键词 材料失效与保护 ti-60 tial-Cr 涂层 循环氧化
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Sc和Ti复合微合金化对Al-Mg合金组织与性能的影响 被引量:22
15
作者 李绍禄 潘青林 陈显明 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 2003年第1期11-15,共5页
研究了微量Sc和Ti复合合金化对Al-Mg合金显微组织与拉伸性能的影响。结果表明 :Sc和Ti复合微合金化可显著提高Al-Mg合金的强度。在Al- 5Mg合金中 ,采用Sc和Ti复合微合金化可形成Al3 (Sc ,Ti)复合粒子 ,初生Al3 (Sc ,Ti)颗粒具有极强的... 研究了微量Sc和Ti复合合金化对Al-Mg合金显微组织与拉伸性能的影响。结果表明 :Sc和Ti复合微合金化可显著提高Al-Mg合金的强度。在Al- 5Mg合金中 ,采用Sc和Ti复合微合金化可形成Al3 (Sc ,Ti)复合粒子 ,初生Al3 (Sc ,Ti)颗粒具有极强的细化晶粒的作用 ,次生Al3 (Sc,Ti)质点强烈地钉扎位错和亚晶界 ,从而有效地抑制合金的再结晶。Sc和Ti复合微合金化还可大大促进微量Sc在Al-Mg合金中的各种强化作用。由于Ti的价格比Sc便宜很多 ,采用Sc和Ti复合微合金化可减少铝合金中Sc的加入量 。 展开更多
关键词 实验 微合金化 al-Mg-Sc-ti合金 al3SC 显微组织 拉伸性能 铝镁合金
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添加Cr元素对快速凝固Al-Ti-Fe基合金显微组织和显微硬度的影响 被引量:2
16
作者 曹庆平 陈翌庆 +1 位作者 苏勇 周尧和 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期279-284,共6页
采用单辊旋铸技术制备Al-2.5Ti-2.5Fe 和Al-2.5Ti-2.5Fe-2.5Cr合金薄带,利用X射线衍射、EDS、透射电镜和高分辨电镜来分析该两种合金的急冷态和退火态显微组织,研究了Cr对快速凝固Al-2.5Ti-2.5Fe合金显微组织和显微硬度的影响。
关键词 快速凝固 al-ti-Fe合金 al-ti-Fe-Cr合金 急冷态 退火态 显微组织 显微硬度
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热浸镀Zn-Ti及Zn-Ti-Al合金层的耐蚀性能 被引量:4
17
作者 黄国雄 王胜民 +2 位作者 何明奕 赵晓军 苑振涛 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期11-13,共3页
针对三元合金耐腐蚀机理研究不足的问题,制备了Zn-Ti和Zn-Ti-Al热浸镀合金层,运用电化学极化、中性盐雾试验等方法对比研究了2种镀层的耐腐蚀性能。结果表明:Zn-Ti合金镀层平均腐蚀速率仅约为纯锌镀层的1/3;合金镀层自腐蚀电位正移,其中... 针对三元合金耐腐蚀机理研究不足的问题,制备了Zn-Ti和Zn-Ti-Al热浸镀合金层,运用电化学极化、中性盐雾试验等方法对比研究了2种镀层的耐腐蚀性能。结果表明:Zn-Ti合金镀层平均腐蚀速率仅约为纯锌镀层的1/3;合金镀层自腐蚀电位正移,其中Zn-0.06%Ti镀层的自腐蚀电位较纯Zn镀层正移了37.1mV,腐蚀电流密度也减小了近40%,Zn-Ti-Al镀层耐蚀性能降低不大。加入微量Ti可明显改善镀层的耐蚀性能,而Al的进一步增加虽可以改善合金流动性能,但对镀层耐蚀性能的提高不明显。 展开更多
关键词 Zn-ti-al镀层 Zn—ti镀层 热浸镀 耐蚀性能 流动性能
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Al-Ti-C晶粒细化剂的研究现状与发展趋势 被引量:5
18
作者 欧玲 王生朝 《轻金属》 CSCD 北大核心 2008年第6期56-58,共3页
综述了Al-Ti-C晶粒细化剂的发展历史、制备方法及最新研究动向。Al-Ti-C比Al-Ti-B表现出更大的优势,具有更广阔的应用前景。提出了Al-Ti-C晶粒细化剂今后发展的方向。
关键词 al-til-C al-ti-B 晶粒细化 发展趋势
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一种新型抗蠕变TiAl合金的显微组织分析 被引量:3
19
作者 殷为民 郭建亭 V.Lupinc 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期37-40,共4页
研究了最近发展的工业用抗蠕变TiAl合金的显微组织,对合金中不同的析出相进行了细致的分析.Ti-47Al-2W-05Si合金主要表现为包括γ等轴晶和层片状晶团的双态组织.由于合金元素W对β相稳定化和有序化的重要作用... 研究了最近发展的工业用抗蠕变TiAl合金的显微组织,对合金中不同的析出相进行了细致的分析.Ti-47Al-2W-05Si合金主要表现为包括γ等轴晶和层片状晶团的双态组织.由于合金元素W对β相稳定化和有序化的重要作用,合金析出了不同形态的B2结构Ti(Al,W)相.而Si的加入使合金产生了大量的ζ-Ti5Si3颗粒相,该相主要分布在α2/γ界面上。 展开更多
关键词 tial合金 显微组织 蠕变 相结构
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Si掺杂对Al-Ti-N涂层的结构、力学性能和抗氧化性能的影响 被引量:1
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作者 袁红梅 杨兵 +2 位作者 李佳 吴明晶 陈利 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2013年第1期139-143,共5页
采用阴极弧蒸发技术在Al2O3、低合金钢和硬质合金刀片上沉积Ti与Al原子比相近的Al-Ti-N和Al-Ti-Si-N涂层,借助X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕、划痕实验和氧化实验,研究Si掺杂对Al-Ti-N涂层的结构、力学性能和抗氧化性能的影... 采用阴极弧蒸发技术在Al2O3、低合金钢和硬质合金刀片上沉积Ti与Al原子比相近的Al-Ti-N和Al-Ti-Si-N涂层,借助X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕、划痕实验和氧化实验,研究Si掺杂对Al-Ti-N涂层的结构、力学性能和抗氧化性能的影响。结果表明:Al-Ti-N涂层为以立方为主的立方和六方的两相结构,Si掺杂可降低TiN中Al的固溶度,使涂层转化为以六方为主的六方和立方的两相结构;Si的加入导致涂层硬度由34.5 GPa降到28.7 GPa;Si掺杂引起涂层的应力增加,从而导致涂层与基体的结合强度降低;Al-Ti-N涂层的抗氧化性能随Si的加入而显著改善,抗氧化温度提高到1 000℃以上。 展开更多
关键词 al-ti-N al-ti-Si-N 硬度 抗氧化性 涂层
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