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题名磁控溅射Ti-Al-N复合膜的摩擦磨损性能分析
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作者
陆昆
杨海
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机构
滁州城市职业学院医学院
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出处
《宁德师范学院学报（自然科学版）》
2023年第2期138-142,共5页
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基金
安徽省教育厅自然科学重点项目(KJ2020A1004)
安徽省省级质量工程一般项目(2019jyxm0642)。
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文摘
采用真空磁控溅射技术的方法制备了不同Al质量分数的Ti-Al-N薄膜,分别研究了室温及高温下不同Al质量分数的Ti-Al-N薄膜的摩擦磨损性能.研究结果表明,Al质量分数和温度都对薄膜的摩擦磨损性能产生较大的影响.室温时,当Al质量分数为49.97%时,薄膜的平均摩擦系数最小,为0.772 3;高温条件下,薄膜的摩擦系数显著低于室温条件下,当Al质量分数为39.51%时,平均摩擦系数最小,为0.379 2.
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关键词
ti-al-n薄膜
真空磁控溅射技术
摩擦磨损
AL原子
摩擦系数
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Keywords
ti-al-n films
vacuum magnetron sputtering technology
friction and wear
Al atom
frictional coefficient
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分类号
TG174.44
[金属学及工艺—金属表面处理]
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