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新型Ti-Si-C-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性
被引量:
4
1
作者
郭岩
畅庚榕
+2 位作者
吴贵智
马胜利
徐可为
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期172-176,共5页
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢基体上沉积出新型Ti-Si-C-N超硬薄膜,Ti-Si-C-N薄膜为纳米晶/非晶复合结构(nc-Ti(C,N)/a-Si_3N_4/a-C—C),当薄膜中Si和C含量较高时,Ti(C,N)转变为TiC,晶粒尺寸减小到2—4 nm,...
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢基体上沉积出新型Ti-Si-C-N超硬薄膜,Ti-Si-C-N薄膜为纳米晶/非晶复合结构(nc-Ti(C,N)/a-Si_3N_4/a-C—C),当薄膜中Si和C含量较高时,Ti(C,N)转变为TiC,晶粒尺寸减小到2—4 nm,薄膜晶粒尺寸和硬度的高温热稳定性均随沉积态薄膜中的原始晶粒尺寸减小而提高,当原始晶粒尺寸在8—10 nm之间时,晶粒尺寸和硬度热稳定性可达900℃;当原始晶粒尺寸在2—4 nm之间时,晶粒尺寸和硬度热稳定性可达1000℃,薄膜硬度和晶粒尺寸表现出同步的高温热稳定性,分析认为由调幅分解形成的纳米复合结构中的非晶相强烈地抑制晶界滑移与晶粒长大,从而使Ti-Si-C-N薄膜的热稳定性显著提高。
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关键词
Ti—Si—C—N
纳米复合超硬薄膜
晶粒尺寸
显微硬度
热稳定性
下载PDF
职称材料
题名
新型Ti-Si-C-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性
被引量:
4
1
作者
郭岩
畅庚榕
吴贵智
马胜利
徐可为
机构
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
出处
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期172-176,共5页
基金
国家自然科学基金项目50271053和50371067国家自然科学基金委重大国际合作项目50420130033国家重点基础研究发展规划项目2004CB619302教育部新世纪优秀人才支持计划项目NCET-04-0934西安交通大学博士学位论文基金资助~~
文摘
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢基体上沉积出新型Ti-Si-C-N超硬薄膜,Ti-Si-C-N薄膜为纳米晶/非晶复合结构(nc-Ti(C,N)/a-Si_3N_4/a-C—C),当薄膜中Si和C含量较高时,Ti(C,N)转变为TiC,晶粒尺寸减小到2—4 nm,薄膜晶粒尺寸和硬度的高温热稳定性均随沉积态薄膜中的原始晶粒尺寸减小而提高,当原始晶粒尺寸在8—10 nm之间时,晶粒尺寸和硬度热稳定性可达900℃;当原始晶粒尺寸在2—4 nm之间时,晶粒尺寸和硬度热稳定性可达1000℃,薄膜硬度和晶粒尺寸表现出同步的高温热稳定性,分析认为由调幅分解形成的纳米复合结构中的非晶相强烈地抑制晶界滑移与晶粒长大,从而使Ti-Si-C-N薄膜的热稳定性显著提高。
关键词
Ti—Si—C—N
纳米复合超硬薄膜
晶粒尺寸
显微硬度
热稳定性
Keywords
ti-si-c-n
,
superhard nanocomposite coating
,
crystalline size
,
microhardness
,
thermal stability
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型Ti-Si-C-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性
郭岩
畅庚榕
吴贵智
马胜利
徐可为
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
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职称材料
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