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题名Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展
被引量:4
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作者
徐晔
蔡珣
陈秋龙
沈耀
李刘合
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机构
上海交通大学先进热处理与表面改性工程技术研究中心
北京航空航天大学机械设计与自动化学院材料加工与控制系
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出处
《新技术新工艺》
2006年第8期5-8,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50271004)
上海市纳米专项基金资助项目(0359nm005)
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文摘
随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响。
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关键词
ti-si-n膜
纳米复合膜
微观结构
纳米硬度
工艺参数
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Keywords
ti-si-n film, nanocomposite coating, microstructure, nano hardness, processing parameters
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分类号
TB33
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名Ti-Si-N复合膜的微结构及性能研究
被引量:15
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作者
农尚斌
喻利花
许俊华
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机构
江苏科技大学材料科学与工程学院先进焊接技术重点实验室
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出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2008年第2期45-49,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50574044)
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文摘
为研究Si的加入及含量对薄膜结构和性能的影响,采用磁控反应溅射法制备了一系列不同Si含量的n—Si—N复合膜,采用XRD、微力学探针和SEM研究了薄膜的微结构、力学性能和抗氧化性。结果表明:随着Si含量的增加,薄膜晶粒尺寸减小,硬度升高,抗氧化性能提高。Si含量为4%-12%(原子数分数)时,晶粒尺寸随含量增加而急剧下降;当Si含量超过9%时,薄膜硬度处于峰值区;Si含量在7%以上时,薄膜具有较高的抗氧化能力。探讨了n-Si—N复合膜硬度升高和抗氧化能力提高的机理:
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关键词
磁控溅射
ti-si-n复合膜
微结构
性能
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Keywords
Magnetron sputtering
ti-si-n films
Microstructure
Properties
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分类号
TG174.444
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名磁控溅射Ti-Si-N纳米复合超硬膜的研究
被引量:1
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作者
蔡珣
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机构
上海交通大学材料科学与工程学院
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出处
《功能材料信息》
2009年第1期9-12,共4页
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文摘
传统的TiN膜具有硬度高、耐磨、耐腐蚀及其他优良的性能,在刀具、工磨具等已经有了广泛的应用。随着科技的发展,近年来许多科技工作者都企图采用多种方法来进一步改善TiN薄膜,其中包括添加Al,Si,C,B等合金元素至TiN膜中,以改善起组织结构和性能。自从S.Veprek首先报道采用CVD的方法制备Ti-Si-N纳米复合膜后,由于Ti-Si-N膜具有nc-TiN/a-Si_3N_4组织结构,即纳米尺寸的TiN嵌镶在非晶Si_3N_4基体中,Ti-Si-N类纳米复合超硬膜以其高硬度、耐磨性、优良的热稳定性和化学稳定性引起了人们的普遍关注。采用钛硅复合靶,通过控制反应磁控溅射的各工艺参数制得了一系列Ti-Si-N膜,并借助能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)、纳米压入仪和划痕仪对膜层的成分、结构和力学性能进行了分析。结果发现,可方便地通过改变氮气分压的方法来调整Ti、Si元素含量比、微观组织结构及力学性能。少量氮气的加入能制得纳米硬度高达53GPa的Ti-Si-N超硬膜,而随着氢气分压的增加,膜层中TiN相和Si_3N_4相的比例减小,纳米硬度逐渐下降,同时,TiN晶粒的平均尺寸也逐渐减少。
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关键词
纳米复合膜
ti-si-n超硬膜
氮气分压
XRD
纳米压入
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分类号
TB381
[一般工业技术—材料科学与工程]
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