钛氧化物的蒸发特性

试验以T i2O3、T i3O5和T iO2作为初始膜料,在ZZS700-6/G型真空镀膜机上采用O2-离子束辅助蒸发制备氧化钛薄膜。用XRD检测方法确定各种膜料和薄膜的相成分,并全面的分析了各种膜料的蒸发特性和薄膜;用分光光度计测量薄膜的透射率,并分析薄膜的光学性能。试验表明,在采用T i2O3、T i3O5和T iO2作为蒸发制备氧化钛薄膜时,在钛的氧化物中存在T i3O5固态同一蒸发相;各种膜料在蒸发时,发生分解,熔池中的物质的成分逐渐转变并最终完全成同一蒸发相成分。