TiAlBN多元膜的性能与组织结构研究

采用电弧离子镀技术、TA5钛合金靶沉积TiAlBN薄膜 ,研究了这种多元膜的显微硬度、高温氧化性能和组织结构 ,结果表明 :这种多元膜具有优于TiN膜的显微硬度 ;不同于TiN膜的显微组织 ,其最显著的特征是存在一些细小的钛滴 ;双靶工作状态下 ,这些钛滴与膜之间的融合效果较好 ,膜层表面孔隙较少 ;薄膜具有TiN的面心立方结构 ,与TiN膜相比 ,具有更加明显的择优取向趋势。

电弧源掺入Al、B离子改性TiN涂层性能的研究

采用AlB12+2%AlB10电弧靶与Ti靶中频磁控溅射共沉积的工艺,在高速钢基体上形成Ti-Al-B-N多元复合涂层。电子扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分析结果表明:涂层由TiN的柱状结构转变为TiA1BN的多层混合结构,组织更为致密均匀;通过调节电弧电流,增加Al、B元素剂量,涂层晶面取向生长增多,并逐渐出现新相。涂层的显微硬度和耐磨性测试表明,随膜层中Al、B成分的增加,膜层维氏硬度增大,耐磨性能提高。