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ZrYN层厚度对CrN/ZrYN纳米多层膜微观结构和力学性能的影响
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作者 沈嘉豪 王静静 +3 位作者 杨志明 岳建岭 李伟 马迅 《有色金属材料与工程》 CAS 2023年第5期53-59,74,共8页
采用磁控溅射技术在单晶Si基片上交替沉积CrN层、ZrYN层,制备不同厚度ZrYN层的CrN/ZrYN纳米多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、纳米压痕仪表征纳米多层膜的微观结构和力学性能。结果表明:随着ZrYN层厚度的增大... 采用磁控溅射技术在单晶Si基片上交替沉积CrN层、ZrYN层,制备不同厚度ZrYN层的CrN/ZrYN纳米多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、纳米压痕仪表征纳米多层膜的微观结构和力学性能。结果表明:随着ZrYN层厚度的增大,纳米多层膜中CrN相的结晶程度呈现出先上升后下降的趋势;纳米多层膜的硬度、弹性模量、韧性也呈现出先增大后减小的趋势;当ZrYN层厚度为0.9 nm时,纳米多层膜具有最高的硬度、弹性模量、韧性,分别为20.3 GPa、210.4 GPa、2.25 MPa·m^(1/2)。上述结果表明,随着ZrYN层厚度的增大,纳米多层膜出现由晶态向非晶态转变,在非晶态下,能够获得良好的综合力学性能。 展开更多
关键词 crn/ZrYN纳米多层 磁控溅射 硬度 韧性
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TiAlCrN和TiAlCrN/CrN复合膜的微观组织与力学性能 被引量:8
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作者 陈灵 曾德长 +3 位作者 邱万奇 董小虹 黎炳雄 黄拿灿 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1608-1612,共5页
利用离子氮化形成过渡层,通过改变溅射沉积工艺参数,制备了TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多层复合膜。采用电子探针(EPMA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪及微米划痕仪等技术表征两种复合膜的成分结构和力学性能。结果表明... 利用离子氮化形成过渡层,通过改变溅射沉积工艺参数,制备了TiAlCrN和TiAlCrN/CrN多层复合膜。采用电子探针(EPMA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪及微米划痕仪等技术表征两种复合膜的成分结构和力学性能。结果表明:两种膜都是面心立方结构,TiAlCrN膜和TiAlCrN/CrN多层膜分别在(111)和(200)面具有一定的择优取向;TiAlCrN膜的结构和成分都比较均匀,而TiAlCrN/CrN多层膜的结构和成分则呈周期性变化。由于离子渗氮层的支撑作用及氮化物外延生长,TiAlCrN/CrN多层膜的显微硬度(3450HV)高于TiAlCrN膜的(2500HV);两种膜都具有较高的膜基结合力,但TiAlCrN/CrN多层膜的综合力学性能比TiAlCrN膜的更好。 展开更多
关键词 tialcrn tialcrn/crn多层膜 电弧镀 硬度 结合性能
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AlN/CrN纳米多层膜的制备及性能的研究 被引量:2
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作者 王晖 亢原彬 李德军 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2008年第2期27-30,共4页
采用多弧离子镀技术制备AlN/CrN纳米多层膜,研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以及纳米多层膜的机械性能.结果表明:在小调制周期下AlN会以立方结构存在,并与CrN层形成同结构共格外延生长,使纳米多层膜产生较大的晶格畸变;AlN/Cr... 采用多弧离子镀技术制备AlN/CrN纳米多层膜,研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以及纳米多层膜的机械性能.结果表明:在小调制周期下AlN会以立方结构存在,并与CrN层形成同结构共格外延生长,使纳米多层膜产生较大的晶格畸变;AlN/CrN纳米多层膜硬度和弹性模量随着调制周期的减小呈现上升的趋势,当调制周期小于8 nm时其增速明显增大,并在调制周期为3.8 nm时达到最高硬度35.0 GPa和最高弹性模量405 GPa;AlN/CrN纳米多层膜的硬度和弹性模量在小调制周期时的升高与c-AlN的产生并和CrN形成的共格结构有关. 展开更多
关键词 多弧离子镀 A1N/crn纳米多层 硬度 立方氮化铝
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Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响 被引量:5
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作者 王建鹏 李伟 +4 位作者 刘平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期739-744,共6页
采用不同Si含量的TiSi复合靶和Cr靶,用射频磁控溅射工艺在Si基底片上沉积不同Si含量的CrN/TiSiN纳米多层膜。采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响... 采用不同Si含量的TiSi复合靶和Cr靶,用射频磁控溅射工艺在Si基底片上沉积不同Si含量的CrN/TiSiN纳米多层膜。采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响。结果表明:随着Si含量的增加,CrN相的结晶程度先增加后降低,涂层的力学性能先提高后降低,当n(Si):n(Ti)=7:18时获得最高硬度为31.5GPa。HRTEM观测表明,在n(Si):n(Ti)=7:18时,TiSiN层在CrN层的模板作用下呈面心立方结构,并且与CrN层形成共格外延生长结构;当n(Si):n(Ti)=11:14时,TiSiN层总体呈非晶结构,与CrN层的共格外生长结构被破坏。硬度的升高主要与TiSiN与CrN形成共格外延生长结构有关。 展开更多
关键词 crn TiSiN纳米多层 SI含量 显微结构 力学性能 外延生长
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TiAlN/CrN多层膜的组织结构及耐蚀性机理 被引量:10
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作者 王丽君 文广 +2 位作者 李明昆 王梦超 陈辉 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期268-274,共7页
目的研究TiAlN/CrN多层膜及TiAlN、CrN单一膜层的微观组织和电化学性能区别,分析不同结构薄膜材料的耐腐蚀性影响因素。基于电化学参数、组织结构和腐蚀形貌特征,为开发新型腐蚀性薄膜提供理论依据。方法采用多弧离子镀方法,在316不锈... 目的研究TiAlN/CrN多层膜及TiAlN、CrN单一膜层的微观组织和电化学性能区别,分析不同结构薄膜材料的耐腐蚀性影响因素。基于电化学参数、组织结构和腐蚀形貌特征,为开发新型腐蚀性薄膜提供理论依据。方法采用多弧离子镀方法,在316不锈钢基底上先沉积150 nm Cr薄膜作为过渡层,然后交替沉积CrN薄膜和TiAlN薄膜,制备单层厚度为10 nm的TiAlN/CrN多层膜。作为对比,制备单一TiAlN、CrN薄膜。通过SEM、XRD表征薄膜断面形貌、组织结构,并分析耐蚀机理,结合极化曲线和阻抗谱对三种涂层进行电化学性能分析,最后对涂层进行浸泡腐蚀试验。结果TiAlN/CrN纳米多层膜为面心立方结构,呈现共格外延生长,且呈(200)择优取向。纳米多层膜的动电位极化曲线测量结果与不锈钢基体和单层薄膜相比,其腐蚀电位正移为−0.36 V,腐蚀电流密度降低为0.501μA/cm^2,极化电阻为120 kΩ·cm^2。阻抗谱试验结果表明,相比较于单层膜和基体,TiAlN/CrN多层膜的CPE值最低,为29.83×10^−6Ω^−1·cm^−2·sn,n值为0.922,电阻为1.50×10^6Ω·cm^2。腐蚀形貌分析可得出,多层薄膜腐蚀后表面形貌与沉积态涂层形貌最为接近,认为其具有较高的耐腐蚀性。结论纳米层状结构改变了单一薄膜的原始生长模式,抑制了粗大柱状晶的生长,减小了薄膜的固有缺陷、晶粒尺寸,对薄膜的耐蚀性有正面积极的作用。 展开更多
关键词 TiAlN/crn多层 TIALN涂 crn 多弧离子镀 耐腐蚀性 电化学性能
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多弧离子镀TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜的制备及性能研究 被引量:5
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作者 蒙志林 赵广彬 +2 位作者 葛高峰 谭刚 廖凤娟 《真空》 CAS 2013年第3期66-69,共4页
采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜。利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究。结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结... 采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜。利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究。结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结构组成为TiN和Cr2N,随着Cr靶电流的增大,TiN的择优取向由(200)向(111)转变,膜层出现单质Cr;膜层厚度为5.02μm,具有明显多层特征;显微硬度2536 HV;结合力65 N。 展开更多
关键词 多弧离子镀 TIN Ticrn crn 多元多层复合
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CrN/ZrN纳米多层膜的合成及其结构和性能的研究 被引量:1
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作者 张晶晶 王明霞 +2 位作者 杨瑾 刘谦祥 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期101-104,共4页
利用非平衡直流磁控双靶溅射在不同的基底转速(4~11r/min)和不同反应气体流量下制备一系列的具有纳米周期的CrN/ZrN多层膜.利用X射线衍射,俄歇电子能谱,X射线光电子能谱表征了薄膜的成分和结构,利用纳米力学测试系统以及摩擦磨损仪测... 利用非平衡直流磁控双靶溅射在不同的基底转速(4~11r/min)和不同反应气体流量下制备一系列的具有纳米周期的CrN/ZrN多层膜.利用X射线衍射,俄歇电子能谱,X射线光电子能谱表征了薄膜的成分和结构,利用纳米力学测试系统以及摩擦磨损仪测量了薄膜的机械性能和摩擦磨损性能,分析了基底的转速、反应气体的种类及流量对薄膜结构与机械性能和摩擦磨损性能的影响.结果表明:在氮中混入适量氨气条件下合成的具有小纳米周期的多层膜,其硬度可达32 GPa,磨损率可低到0.3865×10-5mm3/Nm,明显优于单质薄膜.低角度XRD分析证明了薄膜的多层结构. 展开更多
关键词 磁控溅射 crn/ZrN 多层
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高引燃脉冲新HiPIMS模式对TiN/CrN多层膜结构和性能的影响 被引量:1
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作者 高凯晨 巩春志 +1 位作者 徐啸尘 田修波 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期145-154,共10页
多层TiN/CrN薄膜能显著改善复杂环境下部件的性能和寿命,为获得性能良好的TiN/CrN多膜层,提出一种高引燃脉冲新HiPIMS模式(高功率脉冲磁控溅射技术)的新放电技术,在一到四引燃脉冲个数条件下制备TiN/CrN多层薄膜。结果表明,随着引燃脉... 多层TiN/CrN薄膜能显著改善复杂环境下部件的性能和寿命,为获得性能良好的TiN/CrN多膜层,提出一种高引燃脉冲新HiPIMS模式(高功率脉冲磁控溅射技术)的新放电技术,在一到四引燃脉冲个数条件下制备TiN/CrN多层薄膜。结果表明,随着引燃脉冲个数的增加,TiN/CrN薄膜膜基结合力增加,三引燃脉冲条件下结合力达到HF1(压痕法结合力指标,HF1为性能良好)压痕边缘膜层出现碎裂但膜层并未崩裂,在四引燃脉冲条件下膜基结合力也为HF1,且相较三引燃脉冲膜层碎裂也消失,膜基结合力最佳。同时,随着引燃脉冲个数的增加,膜层的粗糙度下降,磨痕变窄,硬度增强,硬度的波动范围减小,薄膜摩擦因数逐渐降低,四引燃脉冲条件下摩擦因数为0.25,膜层厚度呈先增加后减小的趋势,在三引燃脉冲个数条件下达到最大值332.1 nm试验结果表明引燃脉冲能够强化膜层与基体之间的结合力,硬度以及摩擦磨损的性能,细化晶粒。 展开更多
关键词 TiN/crn 高功率脉冲磁控溅射技术 高引燃脉冲 引燃脉冲个数 结合力
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调制比对Cr/CrN/Cr/CrAlN多层膜结构及性能的影响 被引量:6
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作者 田甜 林松盛 +4 位作者 王迪 柏松 曲帅杰 郭朝乾 代明江 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期320-328,共9页
目的探究Cr/CrN/Cr/CrAlN多层膜的最佳调制比。方法利用电弧离子镀技术,在TC4钛合金上制备了不同调制比的Cr/CrN/Cr/CrAlN多层膜。利用扫描电子显微镜观察膜层表面和截面形貌;用Image-Pro分析软件对表面的大颗粒进行定量分析;利用X射线... 目的探究Cr/CrN/Cr/CrAlN多层膜的最佳调制比。方法利用电弧离子镀技术,在TC4钛合金上制备了不同调制比的Cr/CrN/Cr/CrAlN多层膜。利用扫描电子显微镜观察膜层表面和截面形貌;用Image-Pro分析软件对表面的大颗粒进行定量分析;利用X射线衍射法表征膜层的晶体结构;采用维氏硬度计测量膜层的显微硬度;采用划痕试验仪测量膜层与基体之间的结合力(临界载荷);通过基片弯曲法测量并计算得到膜层的残余应力;利用根据ASTM G76-05标准特制的AS600-喷砂试验机进行了抗冲蚀性能测试;采用三维表面轮廓仪测量冲蚀坑深度。结果膜层表面质量和生长取向与L_(Cr/CrN):L_(Cr/CrAlN)调制比密切相关,随着Cr/CrN比例的增加,膜层表面质量越来越好,择优取向由(111)晶面转为(200)晶面。多层膜的硬度随Cr/CrN比例的增加,呈下降趋势,结合力、残余应力和韧性则随之呈先升后降的趋势,并在L_(Cr/CrN)∶LCr/Cr Al N为1∶2时,达到最佳。多层膜的抗砂粒冲蚀性能变化与力学性能变化一致,在L_(Cr/CrN)∶L_(Cr/CrAlN)为1∶2时达到最佳,其抗冲蚀能力是TC4基材的3倍以上,多层膜呈典型的脆性断裂失效形式。结论在调制比L_(Cr/CrN)∶L_(Cr/CrAlN)=1∶2时,膜层获得最佳的抗冲蚀性能。 展开更多
关键词 Cr/crn/Cr/CrAlN多层 钛合金 电弧离子镀技术 调制比 抗冲蚀
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调制周期对Cr/CrN多层膜结构及性能的影响 被引量:1
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作者 黄儒明 代明江 +1 位作者 林松盛 刘洪喜 《热加工工艺》 北大核心 2019年第10期136-139,共4页
采用电弧离子镀技术在6Cr13Mo低碳马氏体不锈钢基材表面沉积不同调制周期的Cr/CrN多层膜。利用扫描电镜、显微硬度仪、划痕仪、压痕仪、摩擦磨损试验机、3D轮廓仪研究Cr/CrN多层膜的结构和性能。结果表明:调制周期的变化对Cr/CrN多层膜... 采用电弧离子镀技术在6Cr13Mo低碳马氏体不锈钢基材表面沉积不同调制周期的Cr/CrN多层膜。利用扫描电镜、显微硬度仪、划痕仪、压痕仪、摩擦磨损试验机、3D轮廓仪研究Cr/CrN多层膜的结构和性能。结果表明:调制周期的变化对Cr/CrN多层膜硬度影响较小;随着调制周期的减小,Cr/CrN多层膜致密性逐渐提高;不同调制周期下,Cr/CrN多层膜与基体结合力均在100 N以上,其中调制周期为321 nm的Cr/CrN多层膜的韧性及与基体结合性能最优;调制周期为569 nm的Cr/CrN多层膜的磨损率最低。 展开更多
关键词 电弧离子镀 调制周期 Cr/crn多层
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CrN膜层结构对其性能的影响 被引量:5
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作者 林松盛 黄儒明 +3 位作者 苏一凡 石倩 韦春贝 代明江 《材料研究与应用》 CAS 2019年第3期195-201,共7页
为制备厚且结合良好的硬质陶瓷膜层,采用真空阴极电弧离子镀技术,在6Cr13Mo钢表面分别沉积不同膜层结构的CrN膜.利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析探讨了膜层结构与性能之间的关系.结果表明:单层结构... 为制备厚且结合良好的硬质陶瓷膜层,采用真空阴极电弧离子镀技术,在6Cr13Mo钢表面分别沉积不同膜层结构的CrN膜.利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析探讨了膜层结构与性能之间的关系.结果表明:单层结构CrN膜沿(111)择优生长;随膜层厚度的增加,颗粒等缺陷增多及晶粒长粗,致密度下降,结合力及磨损率下降;多层结构Cr-CrN膜沿(200)择优生长,随膜层厚度的增加,晶粒细小,致密性高,结合力及磨损率保持稳定;当厚度在20μm左右时,单层结构Cr-CrN膜硬度(Hv)为1899、结合力为13 N、磨损率为17.30×10^-6 mm^3/m·N,而多层结构Cr-CrN膜硬度(Hv)为2000、结合力为100 N、磨损率为4.25×10^-6 mm^3/m·N;多层结构Cr-CrN膜的性能明显优于单层结构CrN膜. 展开更多
关键词 crn 结构 电弧离子镀 结合力 磨损率
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电弧离子镀Cr/CrN多层膜的耐腐蚀性研究 被引量:3
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作者 李昊 王东伟 +2 位作者 张川 刘婵 黄美东 《真空》 CAS 2019年第3期21-26,共6页
采用电弧离子镀技术制备了Cr/CrN多层膜,通过控制每个Cr层和CrN层的沉积时间获得不同调制比,从微观组织和腐蚀行为两方面研究了调制比对Cr/CrN多层膜的影响。结果表明,引入Cr层对CrN薄膜沉积过程中生长的柱状结构有抑制作用,孔隙率更低... 采用电弧离子镀技术制备了Cr/CrN多层膜,通过控制每个Cr层和CrN层的沉积时间获得不同调制比,从微观组织和腐蚀行为两方面研究了调制比对Cr/CrN多层膜的影响。结果表明,引入Cr层对CrN薄膜沉积过程中生长的柱状结构有抑制作用,孔隙率更低,结构更加致密。动电位极化曲线和电化学阻抗谱表明,与纯CrN薄膜相比,Cr/CrN多层膜的腐蚀电位增加了约100 mV,腐蚀电流密度降低一个数量级以上,多层膜的耐腐蚀性能得到明显提升。 展开更多
关键词 多弧离子镀 Cr/crn多层 耐腐蚀 调制比
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磁控溅射CrN/Si3N4纳米多层膜衬底温度与力学性能的关系
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作者 白晓明 《纳米科技》 2017年第1期23-28,共6页
利用磁控溅射方法制备了CrN,Si3N4多晶纳米多层膜,研究了衬底温度对微观结构、界面及力学性能的影响,通过XRR、XRDTA及纳米压痕仪表征了膜的结构和力学性能。结果表明硬度增强机理源于CrN与Si3N4层的模量差异致硬。弹性模量与晶粒指... 利用磁控溅射方法制备了CrN,Si3N4多晶纳米多层膜,研究了衬底温度对微观结构、界面及力学性能的影响,通过XRR、XRDTA及纳米压痕仪表征了膜的结构和力学性能。结果表明硬度增强机理源于CrN与Si3N4层的模量差异致硬。弹性模量与晶粒指向和变形成分有关,清晰尖锐的界面有助于改善crN,si3N4纳米多层膜的力孛性能。多层膜硬度和模量的变化与界面晶粒尺度和晶粒畸变导致的模量变化有关,与室温样品对比,屈服应力和断裂韧性可以通过增加衬底温度得以改善。 展开更多
关键词 磁控溅射 crn/Si3N4 多层 衬底温度 硬度 模量
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TiN/CrN多层膜与氧化铝副的滑动磨损行为
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《热处理》 CAS 2002年第4期32-32,38,共2页
关键词 TiN/crn 多层 氧化铝副 滑动磨损行为
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金属铀表面Cr/CrN多层膜的制备与性能研究
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《中国工程物理研究院科技年报》 2012年第1期118-120,共3页
金属铀的化学性质十分活泼,在高湿和盐雾环境中极易遭受腐蚀,解决铀的易腐蚀问题已成为其应用的关键]一程技术之一。早在20世纪60年代,Bland等采用蒸发镀、磁控溅射离子镀技术在铀表丽获得了铝镀层。
关键词 金属铀 crn 多层 磁控溅射离子镀 性能 制备 表面 腐蚀问题
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Microstructure and indentation toughness of Cr/CrN multilayer coatings by arc ion plating 被引量:5
16
作者 宋贵宏 娄茁 +2 位作者 李锋 陈立佳 贺春林 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第3期811-816,共6页
Cr/CrN multilayer coatings with bilayer periods in the range from 1351 to 260 nm were prepared on 304 stainless steel substrates by arc ion plating to study the microstructure and properties of multilayer coatings and... Cr/CrN multilayer coatings with bilayer periods in the range from 1351 to 260 nm were prepared on 304 stainless steel substrates by arc ion plating to study the microstructure and properties of multilayer coatings and stimulate their application.SEM results confirm the clear periodicity of the Cr/CrN multilayer coatings and the clear interface between individual layers.XRD patterns reveal that these multilayer coatings contain Cr,CrN and Cr_2N phases.Because Cr layer is softer than its nitride layer,the hardness decreases with the shortening of the bilayer period(or increasing volume fraction of Cr layer).The Cr/CrN multilayer coating with 862 nm period possesses the highest indentation toughness due to a proper individual Cr and nitride layer thickness.However,for the Cr/CrN multilayer with the bilayer period of 1351 nm,it possesses the lowest toughness due to more nitride phase.The indentation toughness of Cr/CrN multilayer coatings is related with their bilayer period.A coating with a proper individual Cr and nitride layer thickness possesses the highest indentation toughness. 展开更多
关键词 Cr/crn multilayer coating bilayer period HARDNESS indentation toughness
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直流磁控溅射Cr(Al)N薄膜的结构与性能比较研究 被引量:3
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作者 张诤 尹小定 +1 位作者 王社斌 余春燕 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI CAS 2008年第3期359-362,共4页
采用相同的基底偏压和靶基距离,以N_2流量和靶材溅射功率为变量,以热作模具用钢H13和Si片为基底,用直流磁控溅射的方法沉积了CrN和CrAlN膜层。对这2种膜层用SEM测其表面形貌,用X射线衍射测其膜层结构,用M-400-H1测其表面显微硬度,用WS-9... 采用相同的基底偏压和靶基距离,以N_2流量和靶材溅射功率为变量,以热作模具用钢H13和Si片为基底,用直流磁控溅射的方法沉积了CrN和CrAlN膜层。对这2种膜层用SEM测其表面形貌,用X射线衍射测其膜层结构,用M-400-H1测其表面显微硬度,用WS-97划痕仪测其膜层/基体之间的结合强度,用UMT-2摩擦磨损试验机测其表面摩擦磨损性能。在分析溅射变量对2种膜层的影响趋势的同时,也分析了Al元素加入后所获得的CrAlN与CrN在结构、力学性能(硬度和膜/基粘结强度)和摩擦性能上的变化趋势。 展开更多
关键词 crn CrAlN 磁控溅射 粘结强度 磨损
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Tribological Properties and Corrosion Resistance Enhancement of H13 Hot Work Steel by Means of CrN/TiN Multilayers 被引量:1
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作者 Bejarano Gaitan Gilberto Gomez Botero Maryory +2 位作者 Osorio Alberto Jaime Caicedo Anguio Julio Aperador Chaparro William 《材料科学与工程(中英文版)》 2010年第6期51-59,共9页
关键词 热作模具钢 摩擦学性能 耐腐蚀性 氮化钛 H13 性能增强 多层 crn
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调制周期对Cr/CrN纳米多层膜的结构与性能的影响 被引量:12
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作者 蔡志海 牛庆银 +1 位作者 底月兰 张平 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期29-32,共4页
采用多弧离子镀技术在65Mn钢表面制备了不同调制周期的Cr/CrN纳米多层膜。采用俄歇能谱仪(AES)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米硬度仪、轮廓仪和划痕仪,分析了不同调制周期Cr/CrN纳米多层膜的成分分布、微观结构、力学... 采用多弧离子镀技术在65Mn钢表面制备了不同调制周期的Cr/CrN纳米多层膜。采用俄歇能谱仪(AES)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米硬度仪、轮廓仪和划痕仪,分析了不同调制周期Cr/CrN纳米多层膜的成分分布、微观结构、力学性能、残余应力和结合强度。结果表明,Cr/CrN纳米多层膜的表面平整致密,截面层状调制结构清晰,其调制结构为Cr层-过渡层-CrN层的"三明治"结构,调制比约为1∶1。多层膜由CrN、Cr2N和Cr相组成,在CrN(200)方向上出现择优取向。当调制周期为80 nm时,多层膜的硬度值相对较高。随调制周期的增大,Cr/CrN多层膜的残余应力值减小,结合强度值先增大后减小。当调制周期为120 nm时,涂层的划痕临界载荷值相对较高,为69 N。 展开更多
关键词 多弧离子镀 调制周期 Cr/crn纳米多层 微观结构 力学性能
原文传递
CrN/SiN_x纳米多层膜的热稳定性研究
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作者 安涛 郑伟涛 王丽丽 《吉林师范大学学报(自然科学版)》 2010年第2期18-20,共3页
利用反应磁控溅射方法制备了一系列不同调制比的多晶CrN/SiNx纳米多层膜.对多层膜在900℃条件下进行真空退火4个小时.结果发现,当调制周期中SiNx的层厚较小时,退火后发生了明显的界面融混;而当调制周期中SiNx层厚较大时,退火后不但没有... 利用反应磁控溅射方法制备了一系列不同调制比的多晶CrN/SiNx纳米多层膜.对多层膜在900℃条件下进行真空退火4个小时.结果发现,当调制周期中SiNx的层厚较小时,退火后发生了明显的界面融混;而当调制周期中SiNx层厚较大时,退火后不但没有发生界面融混,反而使界面变得更加清晰,这一变化和界面处CrSiN相的析出有关,相的析出有利于界面的平滑和多层膜热稳定性的提高. 展开更多
关键词 crn/SiNx 纳米多层 界面宽度 CrSiyN1-y
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