TiAlN与TiCN系涂层磨损机理的比较

对多弧离子踱ＴｉＣＮ和ＴｉＡｌＮ薄膜的磨损机理进行了比较，发现ＴｉＡｌＮ以剥落为其主要磨损形式，而ＴｉＣＮ则有一中间层产生于摩擦面，该中间层由Ｔｉ、Ｃ、Ｏ、Ｆｅ等元素构成。