TiAlSi合金真空电磁感应熔炼工艺研究

采用真空电磁感应熔炼技术,使用单质原料熔炼TiAlSi三元合金,研究熔炼工艺参数(放料顺序、搅拌时间)对熔炼产物的影响,探究成分均匀TiAlSi合金的熔炼制备工艺,并对产物成分、金相组织、物相组成及硬度进行分析,为TiAlSi阴极靶材的加工制备提供依据,为TiAlSiN高性能防护涂层的制备奠定基础。