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非平衡磁控溅射沉积TiN/Ti-O复合薄膜机械性能研究 被引量:2
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作者 何婵 齐峰 +1 位作者 冷永祥 黄楠 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期47-51,共5页
本文利用非平衡磁控溅射设备,采用四种不同的TiN到Ti-O的过渡方式,在Si(100)和Ti6Al4V基体上制备了TiN/Ti-O薄膜。采用X射线衍射(XRD)分析薄膜的结构;使用AMBIOSXP-2台阶仪检测薄膜应力;利用HXD1000Bknoop型显微硬度仪、瑞士CSEM销盘摩... 本文利用非平衡磁控溅射设备,采用四种不同的TiN到Ti-O的过渡方式,在Si(100)和Ti6Al4V基体上制备了TiN/Ti-O薄膜。采用X射线衍射(XRD)分析薄膜的结构;使用AMBIOSXP-2台阶仪检测薄膜应力;利用HXD1000Bknoop型显微硬度仪、瑞士CSEM销盘摩擦磨损实验机、WS—97系统划痕实验机对薄膜的力学性能进行检测。结果表明,在钛合金表面制备TiN薄膜后,逐渐降低N2流量至0sccm,沉积一层Ti膜,再用逐渐通入O2制备Ti-O薄膜的工艺制备的TiN/Ti-N/Ti/Ti-O薄膜具有较好的力学性能。 展开更多
关键词 tin/ti-o复合薄膜 非平衡磁控溅射 耐磨性 膜基结合力
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不同黏度合成油下CrN/TiN多层薄膜的摩擦学特性研究
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作者 张全德 陈庆春 +3 位作者 苏桐 赵勤 郭峰 王晓波 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期171-180,共10页
目的探究在不同黏度合成酯润滑油的作用下,CrN/TiN多层薄膜的摩擦学性能及协同润滑机制。方法选用聚α烯烃(PAO)与三羟甲基丙烷辛癸酸酯(TME)复配,得到不同黏度梯度的合成油。利用全自动黏度测定仪、倾点测试仪、开口闪点测定器和傅里... 目的探究在不同黏度合成酯润滑油的作用下,CrN/TiN多层薄膜的摩擦学性能及协同润滑机制。方法选用聚α烯烃(PAO)与三羟甲基丙烷辛癸酸酯(TME)复配,得到不同黏度梯度的合成油。利用全自动黏度测定仪、倾点测试仪、开口闪点测定器和傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)分别对合成油的运动黏度(40、100℃)、倾点、闪点和表面官能团进行表征。利用反应磁控溅射技术在316不锈钢和单晶硅片基底表面制备CrN/TiN多层薄膜。采用X射线衍射仪和FIB-TEM表征手段对薄膜的微观结构进行分析,并用纳米压痕仪和划痕仪测试了薄膜的力学性能。利用球-盘式摩擦试验机表征薄膜在干摩擦和油润滑条件下的摩擦学性能,利用XPS对摩擦实验后的磨痕元素价态进行表征。结果CrN/TiN薄膜具有典型的面心立方结构(FCC)、异质多层结构,且其硬度可达32.2 GPa。在干摩擦条件下,与裸316基体相比,经表面镀制CrN/TiN薄膜后平均摩擦因数由0.95降至0.71,磨损深度由25.0μm降至16.8μm。在合成油作用下,316不锈钢-GCr15钢球(钢-钢摩擦副)、CrN/TiN多层薄膜-GCr15钢球(CrN/TiN多层薄膜-钢摩擦副)2种摩擦配副的摩擦因数和磨损率随着合成油黏度的增加均呈现降低趋势,且在同一黏度条件下薄膜试样的磨损率更低。结论CrN/TiN多层薄膜在PAO与TME复配获得的一系列不同黏度合成油的作用下,随着合成油黏度的增加,薄膜的磨损率和磨损深度逐渐下降,其减摩抗磨性能得到显著提升。通过磨痕表面的XPS分析可知,合成油中极性的酯基吸附在滑动界面,增强了油膜的承载性能,从而减缓了对偶间的摩擦阻力。 展开更多
关键词 CrN/tin多层薄膜 聚α烯烃 多元醇酯 摩擦学性能 固-液复合润滑
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大气环境下Au/TiN复合薄膜的滑动摩擦磨损性能 被引量:4
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作者 孙晓军 翁立军 刘维民 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期41-43,54,共4页
以30CrMnSi钢为基体,用磁控溅射法制备出Au/TiN复合薄膜材料,研究了薄膜在大气环境中的滑动摩擦磨损性能。结果表明:该复合薄膜材料与9Cr18钢球构成的滑动摩擦副,在接触压力不大于1.0GPa条件下,摩擦系数小于0.15,摩擦次数超过3×105... 以30CrMnSi钢为基体,用磁控溅射法制备出Au/TiN复合薄膜材料,研究了薄膜在大气环境中的滑动摩擦磨损性能。结果表明:该复合薄膜材料与9Cr18钢球构成的滑动摩擦副,在接触压力不大于1.0GPa条件下,摩擦系数小于0.15,摩擦次数超过3×105;在较宽的温度、湿度和磁场范围内,薄膜的摩擦磨损性能保持稳定。当接触压力增大至3.0GPa时,薄膜的摩擦系数增大,耐磨寿命减小。该薄膜可用于大气环境下长寿命低载荷精密摩擦副的润滑。 展开更多
关键词 摩擦磨损性能 固体润滑 Au/tin复合薄膜
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等离子浸没离子注入合成TiN/Ti-O梯度薄膜的成分与力学性能 被引量:3
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作者 文峰 黄楠 +1 位作者 孙鸿 万国江 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期155-159,共5页
用等离子浸没离子注入和沉积(PⅢ-D)的方法,采用三种工艺分别在Si、Ti6Al4V和热解碳(LTIC)表面合成了TiN/Ti-O梯度薄膜。用可编程逻辑控制器(PLC)为核心的一套控制系统控制金属源阴极的推进和气体成分的改变。使用纳米压痕仪、针盘式... 用等离子浸没离子注入和沉积(PⅢ-D)的方法,采用三种工艺分别在Si、Ti6Al4V和热解碳(LTIC)表面合成了TiN/Ti-O梯度薄膜。用可编程逻辑控制器(PLC)为核心的一套控制系统控制金属源阴极的推进和气体成分的改变。使用纳米压痕仪、针盘式摩擦磨损试验机和结合力测试仪分析了梯度薄膜的力学性能,梯度薄膜硬度最高可达19.5 GPa,薄膜结合力可达到68 N左右。采用X射线衍射(XRD)分析表明,表层的薄膜为具有金红石结构的氧化钛,二次离子质谱(SIMS)对薄膜进行了定性分析,证实薄膜具有梯度特性。采用X射线光电子能谱(XPS)对梯度薄膜进行近表面成分分析,结果表明合成的TiN/Ti-O薄膜是非化学计量的,其成分组成为TiO2、Ti2O3和TiO。使用扫描电镜(SEM)观察了薄膜磨痕、结合力划痕,结果表明,控制合成的TiN/Ti-O梯度薄膜具有良好的力学性能。 展开更多
关键词 等离子浸没离子注入(PⅢ) X射线光电子能谱(XPS) tin/ti-o梯度薄膜
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利用掺杂及梯度复合技术对生物材料进行TiO_2(Ta^(5+))/TiN薄膜表面改性的研究 被引量:2
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作者 陈俊英 冷永祥 +4 位作者 杨萍 孙鸿 王进 万国江 黄楠 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2004年第1期64-66,共3页
采用磁控溅射技术同热氧化相结合的方法合成TiO2(Ta5+)/TiN复合薄膜,并对薄膜的硬度、摩擦磨损等力学特性以及血小板粘附等血液相容性进行了研究.研究结果表明,掺杂使血液相容性提高,梯度复合使力学特性改善,因而薄膜具有良好的力学耐... 采用磁控溅射技术同热氧化相结合的方法合成TiO2(Ta5+)/TiN复合薄膜,并对薄膜的硬度、摩擦磨损等力学特性以及血小板粘附等血液相容性进行了研究.研究结果表明,掺杂使血液相容性提高,梯度复合使力学特性改善,因而薄膜具有良好的力学耐久性和血液相容性.此外,薄膜与血液的界面张力也被测试.结果表明,低的薄膜/血液界面张力改善了TiO2(Ta5+)/TiN复合薄膜的血液相容性. 展开更多
关键词 梯度复合 磁控溅射 生物材料 TiO2(Ta^5+)/tin复合薄膜 表面改性 血液相容性 力学特性 掺杂技术
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Ti或TiN的添加对MoS_2基复合薄膜耐磨性能的影响 被引量:2
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作者 荆阳 雒建斌 庞思勤 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期504-507,共4页
为改进纯MoS2薄膜在大气环境下极易氧化失效且耐磨损性能较差的缺点,采用非平衡纳米复合等离子体镀膜技术合成了MoS2基薄膜,该薄膜由Ti或TiN与MoS2共沉积而成.采用扫描电子显微镜、干钻削和车削实验确定薄膜的结构、成份和机械性能.结... 为改进纯MoS2薄膜在大气环境下极易氧化失效且耐磨损性能较差的缺点,采用非平衡纳米复合等离子体镀膜技术合成了MoS2基薄膜,该薄膜由Ti或TiN与MoS2共沉积而成.采用扫描电子显微镜、干钻削和车削实验确定薄膜的结构、成份和机械性能.结果显示,在潮湿和超低温环境下,薄膜具有优异的耐磨寿命和抗氧化性.实验表明,改进后的MoS2基复合薄膜在机加和成型等领域中具有广泛的应用前景. 展开更多
关键词 MoS2基复合薄膜 非平衡磁场 Ti或tin 耐磨性能
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Cu含量对脉冲偏压电弧离子镀TiN-Cu纳米复合薄膜硬度的影响 被引量:2
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作者 魏科科 林菁菁 +2 位作者 张林 韩克昌 林国强 《真空》 CAS 2013年第3期52-56,共5页
用脉冲偏压电弧离子镀技术在高速钢(HSS)基体上制备了一系列不同Cu含量的TiN-Cu纳米复合薄膜,用EPMA、SEM、GIXRD和纳米压痕等方法分别测试了薄膜的成分、形貌、相组成、硬度和弹性模量,重点考察薄膜成分对其硬度和弹性模量的影响。结... 用脉冲偏压电弧离子镀技术在高速钢(HSS)基体上制备了一系列不同Cu含量的TiN-Cu纳米复合薄膜,用EPMA、SEM、GIXRD和纳米压痕等方法分别测试了薄膜的成分、形貌、相组成、硬度和弹性模量,重点考察薄膜成分对其硬度和弹性模量的影响。结果表明,Cu含量对薄膜的硬度和弹性模量影响显著,随着Cu含量的增加,薄膜硬度和弹性模量先增大后减小,在Cu含量为1.28 at%时,硬度和弹性模量达到最大值,分别为45.0 GPa和562.0 GPa。最后对TiN-Cu纳米复合薄膜的非晶-纳米晶强化机制进行了讨论。 展开更多
关键词 脉冲偏压电弧离子镀 tin—Cu纳米复合薄膜 硬度 弹性模量 强化机制
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TiN/TiCrN/TiCrAlN复合薄膜膜基结合力测定与分析 被引量:4
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作者 张帅拓 丁龙先 +1 位作者 张钧 张盼盼 《真空》 CAS 2015年第3期18-20,共3页
使用划痕仪对多弧离子镀制备的TiN/TiCrN/TiCrAlN复合薄膜进行了划痕实验,结合金相显微镜观察分析划痕表面形貌,综合判定了该复合薄膜的膜基结合力。结果表明,该薄膜的失效形式为周边剥落;单一的声信号曲线不能准确判定薄膜失效的临界载... 使用划痕仪对多弧离子镀制备的TiN/TiCrN/TiCrAlN复合薄膜进行了划痕实验,结合金相显微镜观察分析划痕表面形貌,综合判定了该复合薄膜的膜基结合力。结果表明,该薄膜的失效形式为周边剥落;单一的声信号曲线不能准确判定薄膜失效的临界载荷,需要声信号曲线与划痕形貌的综合判定。 展开更多
关键词 划痕实验 tin/TiCrN/TiCrAlN 复合薄膜 膜基结合力 表面形貌
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偏压对TiN薄膜和Ag-TiN复合膜力学性能的影响 被引量:1
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作者 许双志 董磊 李德军 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2016年第1期22-27,共6页
利用射频磁控溅射技术,使用TiN化合物靶,以不锈钢为基底在不同负偏压下沉积TiN薄膜,并通过共溅射获得掺Ag的Ag-TiN复合膜.分别利用XRD、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)和光学接触角测量仪等对样品的晶体结构、硬度、微观形貌和水接触... 利用射频磁控溅射技术,使用TiN化合物靶,以不锈钢为基底在不同负偏压下沉积TiN薄膜,并通过共溅射获得掺Ag的Ag-TiN复合膜.分别利用XRD、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)和光学接触角测量仪等对样品的晶体结构、硬度、微观形貌和水接触角进行测试.结果表明:在较低负偏压下获得的薄膜为Ti_2N,表现为四方相;在较高负偏压下沉积的薄膜为立方相TiN,呈现(111)择优取向,薄膜表面呈三角棱椎形貌,薄膜硬度明显提高;Ag-TiN复合膜中的Ag元素以单质多晶的形式存在.当偏压为-130V时,TiN薄膜(111)衍射峰十分强烈,此时硬度和弹性模量最高,分别达到36.0GPa和426.937GPa.偏压为-100V时,TiN薄膜接触角最低,表现为疏水性,与TiN薄膜相比,Ag-TiN复合膜的水接触角降低明显,掺杂Ag后的Ag-TiN复合膜转变为亲水性. 展开更多
关键词 偏压 tin薄膜 Ag-tin复合 力学性能 亲水性能
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Mg-Li合金表面沉积Ti/TiN复合薄膜提高合金抗腐性的研究 被引量:2
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作者 曹得莉 陈玉强 《黑龙江科技信息》 2010年第28期36-37,共2页
本文采用直流反应磁控溅射法低温下在Mg-Li合金表面沉积Ti/TiN复合薄膜,薄膜厚度约为1.6μm,靶材是纯度为99.99%的钛靶。用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、M263A电化学系统等技术分析了薄膜的相结构、表面形貌、及在0.35wt%NaC... 本文采用直流反应磁控溅射法低温下在Mg-Li合金表面沉积Ti/TiN复合薄膜,薄膜厚度约为1.6μm,靶材是纯度为99.99%的钛靶。用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、M263A电化学系统等技术分析了薄膜的相结构、表面形貌、及在0.35wt%NaCl中的抗腐蚀性能。结果表明:复合薄膜的腐蚀电位较合金基体正移82.6mV,腐蚀电流降了一个数量级,析氢速率也明显减小,说明Ti/TiN复合薄膜提高了镁锂合金的抗腐蚀性。 展开更多
关键词 镁锂合金 Ti/tin复合薄膜 抗腐蚀性
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Au/TiN复合薄膜制备及其表面增强拉曼光谱研究 被引量:4
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作者 吴振刚 刘燕梅 +5 位作者 吴明明 陈颖 魏颖娜 羡皓晗 王学沛 魏恒勇 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期420-426,共7页
表面增强拉曼散射光谱(SERS)已用于环境监测、生物医药、食品卫生等领域,而高活性SERS基底是表面增强拉曼散射光谱技术应用的关键。TiN作为新型等离子材料具有较强的SERS性能,同时化学稳定性及生物相容性较好,但其SERS性能不如贵金属金... 表面增强拉曼散射光谱(SERS)已用于环境监测、生物医药、食品卫生等领域,而高活性SERS基底是表面增强拉曼散射光谱技术应用的关键。TiN作为新型等离子材料具有较强的SERS性能,同时化学稳定性及生物相容性较好,但其SERS性能不如贵金属金强。该研究采用氨气还原氮化法和电化学沉积法,在TiN薄膜表面沉积贵金属Au纳米颗粒制备出Au/TiN复合薄膜。在Au/TiN复合薄膜中单质Au和TiN两种物相共存;随着电化学沉积时间延长,TiN薄膜表面单质金纳米颗粒数量逐渐增多,金纳米颗粒尺寸增大,颗粒间距减小。由于金与TiN两者的本征表面等离子共振耦合作用,Au/TiN复合薄膜的共振吸收峰发生了偏移。利用罗丹明6G为拉曼探针分子,对Au/TiN复合薄膜进行SERS性能分析,发现Au/TiN复合薄膜上的R6G探针分子的拉曼峰信号强度随沉积时间延长呈现先增大后减小的规律;当电化学沉积时间为5 min时,R6G拉曼信号峰较高,复合薄膜样品的SERS活性最大。将Au/TiN复合薄膜和Au薄膜分别浸泡在10-3,10-5,10-7,10-8及10-9 mol·L-1 R6G溶液5 min,进行检测限分析,发现Au/TiN复合薄膜检测极限达10-8 mol·L-1,增强因子达到8.82×105,与Au薄膜和TiN薄膜相比,Au/TiN复合薄膜上对R6G探针分子SERS活性最高。这得益于Au/TiN复合膜中表面等离子体产生的耦合效应,使得局域电磁场强度增强,从而引起R6G探针分子拉曼信号增强。通过2D-FDTD模拟电场分布发现Au/TiN,Au及TiN薄膜具有电场增强作用,其中Au/TiN复合薄膜的增强作用尤为显著,这也证实了氮化钛与金纳米颗粒之间存在耦合效应。另外发现TiN与Au之间可能存在电荷转移,促进了4-氨基苯硫酚氧化反应,进而证实了TiN与Au薄膜的协同作用。此外,Au/TiN复合薄膜均匀性较好,相对平均偏差仅为7.58%。由此可见,采用电化学沉积制备的Au/TiN复合薄膜具有作为SERS基底材料的应用潜力。 展开更多
关键词 Au/tin复合薄膜 罗丹明6G 表面增强拉曼光谱 电化学沉积
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电弧离子镀TiN及其复合膜的腐蚀机理探讨 被引量:14
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作者 史新伟 李杏瑞 +1 位作者 邱万起 刘正义 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期330-334,共5页
利用电弧离子镀在高速钢基体上制备了TiN及其复合膜(Ti,Cr)N,通过盐水全浸泡试验测量了薄膜的腐蚀速率,利用SEM观察了薄膜腐蚀后的表面形貌及断口形貌,并用其自带的能谱分析仪测量复合膜中Cr的含量,讨论了带有宏观熔滴颗粒的TiN及其复合... 利用电弧离子镀在高速钢基体上制备了TiN及其复合膜(Ti,Cr)N,通过盐水全浸泡试验测量了薄膜的腐蚀速率,利用SEM观察了薄膜腐蚀后的表面形貌及断口形貌,并用其自带的能谱分析仪测量复合膜中Cr的含量,讨论了带有宏观熔滴颗粒的TiN及其复合膜(Ti,Cr)N的腐蚀机理。结果表明:高速钢表面电弧离子镀TiN和(Ti,Cr)N复合膜均可提高其耐腐蚀性能,薄膜的腐蚀主要有小孔腐蚀、缝隙腐蚀及电偶腐蚀。 展开更多
关键词 电弧离子镀 tin 复合薄膜 腐蚀机理
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Cr对多弧离子镀TiN及其复合膜(Ti,Cr)N性能的影响 被引量:16
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作者 史新伟 李春明 +1 位作者 邱万起 刘正义 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1227-1232,共6页
通过改变Cr靶电流强度,在国产AIP 01型多弧离子镀膜机上制备不同Cr含量的(Ti,Cr)N复合薄膜。研究Cr的添加对薄膜硬度、薄膜相结构及晶格常数等性能的影响,探讨薄膜的硬化机理。结果表明:Cr的加入可显著提高复合薄膜的硬度,显微硬度可高... 通过改变Cr靶电流强度,在国产AIP 01型多弧离子镀膜机上制备不同Cr含量的(Ti,Cr)N复合薄膜。研究Cr的添加对薄膜硬度、薄膜相结构及晶格常数等性能的影响,探讨薄膜的硬化机理。结果表明:Cr的加入可显著提高复合薄膜的硬度,显微硬度可高达HV2665;复合薄膜是以TiN为基的(Ti,Cr)N薄膜,薄膜中没有独立的CrN和Cr2N相,同时由于Cr的加入,薄膜的择优取向从(111)晶面逐渐过渡到(200)晶面,随Cr靶电流的增大,所得(Ti,Cr)N复合膜中出现单质Cr。 展开更多
关键词 tin (Ti Cr)N 离子镀 复合薄膜 硬度 相结构
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磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及其强化机理研究 被引量:11
14
作者 史新伟 李杏瑞 +1 位作者 邱万起 刘正义 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期486-491,共6页
采用电弧离子镀(AIP)和磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法分别在不锈钢和硅片上制备了两种不同的TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌及组织结构;利用X射线衍射(XRD)及透射电镜(TEM)进行相鉴定;用纳米力学测试系统(NHT)测量了薄... 采用电弧离子镀(AIP)和磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法分别在不锈钢和硅片上制备了两种不同的TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌及组织结构;利用X射线衍射(XRD)及透射电镜(TEM)进行相鉴定;用纳米力学测试系统(NHT)测量了薄膜的硬度。结果表明:MFAIP TiN薄膜具有强烈的(111)面择优取向,薄膜表面光滑、表面熔滴颗粒(MP)少、薄膜的柱状晶组织细小、致密,薄膜具有较高的硬度。并在此基础上讨论了薄膜的强化机理,认为磁过滤器是制备高质量TiN薄膜及其复合薄膜行之有效的一种方法,是今后制备高性能TiN及其复合膜的发展方向。 展开更多
关键词 tin薄膜 磁过滤器 熔滴颗粒 复合
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TiN/TiCN多层调制结构薄膜的结构和力学性能研究 被引量:2
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作者 任鑫 江仁康 +2 位作者 赵瑞山 王丞 黄美东 《有色金属工程》 CAS 北大核心 2019年第12期29-34,共6页
以304不锈钢为基体,利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜,主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果表明:不同调制周期下得到的TiN/TiCN多层膜表面比较致密、平整,随着调制周期的减小,表面质量有一定改善。... 以304不锈钢为基体,利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜,主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果表明:不同调制周期下得到的TiN/TiCN多层膜表面比较致密、平整,随着调制周期的减小,表面质量有一定改善。多层膜结构主要由fcc-TiN型固溶体构成,不存在a-C结构。随着调制周期的减小,物相分析表明TiN/TiCN多层膜发生了择优生长,出现了(111)晶面生长织构,其纳米硬度和弹性模量逐渐增大,在调制周期λ=0.15μm时达到最大值,分别为35.56GPa和436.2GPa。 展开更多
关键词 tin/TiCN多层膜薄膜 复合离子镀 调制周期 结构 力学性能
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TiN/H-DLC薄膜的制备及其性能研究 被引量:2
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作者 勾荣年 尚伦霖 +1 位作者 曹学乾 王顺花 《真空与低温》 2021年第5期430-438,共9页
为了探究用复合技术制备的DLC复合薄膜的力学性能和耐腐蚀性能,采用多弧离子镀(MAIP)和非平衡磁控溅射技术(UBMS)分别在316L不锈钢基底上沉积了H-DLC、TiN和TiN/H-DLC薄膜。采用三维轮廓仪、扫描电镜以及拉曼光谱分析薄膜的形貌和微观结... 为了探究用复合技术制备的DLC复合薄膜的力学性能和耐腐蚀性能,采用多弧离子镀(MAIP)和非平衡磁控溅射技术(UBMS)分别在316L不锈钢基底上沉积了H-DLC、TiN和TiN/H-DLC薄膜。采用三维轮廓仪、扫描电镜以及拉曼光谱分析薄膜的形貌和微观结构,采用纳米压痕仪、划痕仪、CSM摩擦试验机和电化学工作站表征了薄膜的纳米硬度、膜基结合力、摩擦学性能和耐腐蚀性能。结果表明,用多弧离子镀引入TiN层能够有效提高TiN/H-DLC复合薄膜的结合力并降低摩擦因数,但是薄膜的磨损率未明显降低,其原因可能是表面粗糙度的影响;H-DLC薄膜表面较为致密,在3.5%NaCl溶液中具有较好的耐腐蚀性能。复合制备技术可改善TiN/H-DLC薄膜的力学性能和特定环境下的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 复合制备技术 tin/H-DLC复合薄膜 摩擦学性能 耐腐蚀性
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Ti-Si-N纳米晶复合膜微结构的TEM观察 被引量:1
17
作者 董云杉 孔明 李戈扬 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期274-274,共1页
关键词 TI-SI-N 复合 微结构 纳米晶 TEM观察 SI3N4 tin 超高硬度 薄膜硬度
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Zr-Si-N纳米晶复合膜的生长结构 被引量:1
18
作者 孔明 董云杉 李戈扬 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期262-262,共1页
关键词 复合 纳米晶 生长结构 TI-SI-N 综合力学性能 tin薄膜 微结构模型 固溶强化 SI3N4
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离子束辅助沉积制备TiN/Si_3N_4纳米超硬膜的工艺研究
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作者 张平 蔡志海 +1 位作者 杜月和 谭俊 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期120-124,共5页
采用离子束辅助沉积法(Ion beam assisted deposition,IBAD)在单晶硅片上进行沉积制备了TiN/Si3N4 纳米复合超硬薄膜;研究了辅助束流、轰击能量和Ti:Si靶面积比等工艺参数对TiN/Si3N4超硬纳米复合薄膜性能的影响。此外采用纳米硬度计... 采用离子束辅助沉积法(Ion beam assisted deposition,IBAD)在单晶硅片上进行沉积制备了TiN/Si3N4 纳米复合超硬薄膜;研究了辅助束流、轰击能量和Ti:Si靶面积比等工艺参数对TiN/Si3N4超硬纳米复合薄膜性能的影响。此外采用纳米硬度计、光电子能谱(X-ray photoelectron spectrum,XPS)和X射线衍射分析(X-ray diffraction,XRD)方法研究了纳米复合薄膜的性能、成分与组织结构;采用原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)分析了薄膜的表面形貌,并初步探讨了TiN/Si3N4纳米复合超硬薄膜的生长机理。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 超硬纳米复合 tin/Si3N4薄膜
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Study of TiC+TiN Multiple Films On Type of 316L Stainless Steel 被引量:10
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作者 XUEQi JINYong +2 位作者 HUDong-ping HUANGBen-sheng DENGBai-quan 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第05B期916-920,共5页
In this paper, the synthesis process of TiC+TiN multiple films on super-low-carbon stainless steels is reported. The TiC layer is coated as the first layer in the multiple film, the change of growth rate of the film o... In this paper, the synthesis process of TiC+TiN multiple films on super-low-carbon stainless steels is reported. The TiC layer is coated as the first layer in the multiple film, the change of growth rate of the film on the 316L Stainless steel is not same as the one on carbides substrates, while the mole ratio of CRi to TiCLi (mCH/TiCl4) is changed from 1.2 to 2.0. The Ti [C, N], as a kind of inter-layer between TiC and TiN layers, is helpful to improve the adhesion between the TiC and TiN layer. The cooling rate greatly influences the quality of the adhesion between the TiC+TiN film and substrates. 展开更多
关键词 316L不锈钢 CVD TIC tin 复合薄膜
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