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用于四结太阳电池的多对TiO_2/SiO_2减反膜系的研究
1
作者
姜德鹏
张杨
+4 位作者
彭娜
郑贵忠
毛明明
张小宾
杨翠柏
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期918-923,共6页
随着GaInP/GaInAs/GaInNAs/Ge四结太阳电池的快速发展,设计并镀制可与四结太阳电池更加匹配的光学减反膜系变得尤为重要。实验中通过TFCale软件理论模拟了3对TiO2/SiO2(6层)减反膜系,其中理论模拟膜系与实际镀制膜系反射率曲线重合性...
随着GaInP/GaInAs/GaInNAs/Ge四结太阳电池的快速发展,设计并镀制可与四结太阳电池更加匹配的光学减反膜系变得尤为重要。实验中通过TFCale软件理论模拟了3对TiO2/SiO2(6层)减反膜系,其中理论模拟膜系与实际镀制膜系反射率曲线重合性良好。实际制备并讨论了离子源功率、薄膜物理厚度等参数对减反膜系反射率的影响。发现得到优异反射率的关键在于对第二层SiO2薄膜物理厚度的控制,尤其是在400-1 000 nm波段内。实验中制备的3对TiO2/SiO2(6层)减反膜系在280-1 400 nm波段内其反射率均小于10%,特别是在影响四结太阳电池限流结的Ga In As/Ga In NAs两结波段(670-900 nm/900-1 100 nm)内,其反射率均在5%以下。
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关键词
四结太阳电池
物理厚度
多对
tio
2
/SiO
2
减
反
膜
系
反
射率
TFCale模拟
下载PDF
职称材料
TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极的探索研究
2
作者
赵伟林
赵恒
+4 位作者
曾进能
赵学峰
常乐
李廷涛
李晓峰
《红外技术》
CSCD
北大核心
2019年第10期895-901,共7页
在TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极,发现多碱光电阴极制作工艺无法正常进行,多碱光电阴极的颜色为暗黑色,并且阴极灵敏度非常低,而正常的多碱光电阴极应为红褐色。其中TiO2薄膜基底利用原子层沉积(ALD)工艺制备在玻璃窗上,并且具有锐钛...
在TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极,发现多碱光电阴极制作工艺无法正常进行,多碱光电阴极的颜色为暗黑色,并且阴极灵敏度非常低,而正常的多碱光电阴极应为红褐色。其中TiO2薄膜基底利用原子层沉积(ALD)工艺制备在玻璃窗上,并且具有锐钛矿晶体结构。X射线衍射仪(XRD)分析发现,制作多碱阴极后的TiO2薄膜样品锐钛矿衍射峰基本消失,另外X射线光电子能谱(XPS)分析发现该TiO2薄膜样品不同深度均存在Na元素,由此表明是Na元素渗透到TiO2薄膜中,破坏了薄膜的晶体结构,并且导致多碱光电阴极灵敏度非常低。为此提出了一种在制作多碱光电阴极之前,在TiO2薄膜上利用ALD工艺制作一层Al2O3钝化膜的方法。经过实验验证,证实该方法可以有效避免Na元素渗透到TiO2薄膜,同时多碱光电阴极制作过程可正常进行,多碱光电阴极的颜色为红褐色,阴极灵敏度超过800μA/lm。这为将来深入研究采用TiO2薄膜作为多碱光电阴极的减反膜打下了基础。
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关键词
多碱阴极
tio2减反膜
原子层沉积
Na元素渗透
钝化
膜
下载PDF
职称材料
题名
用于四结太阳电池的多对TiO_2/SiO_2减反膜系的研究
1
作者
姜德鹏
张杨
彭娜
郑贵忠
毛明明
张小宾
杨翠柏
机构
上海空间电源研究所
北京工业大学激光工程研究院
中山德华芯片技术有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期918-923,共6页
文摘
随着GaInP/GaInAs/GaInNAs/Ge四结太阳电池的快速发展,设计并镀制可与四结太阳电池更加匹配的光学减反膜系变得尤为重要。实验中通过TFCale软件理论模拟了3对TiO2/SiO2(6层)减反膜系,其中理论模拟膜系与实际镀制膜系反射率曲线重合性良好。实际制备并讨论了离子源功率、薄膜物理厚度等参数对减反膜系反射率的影响。发现得到优异反射率的关键在于对第二层SiO2薄膜物理厚度的控制,尤其是在400-1 000 nm波段内。实验中制备的3对TiO2/SiO2(6层)减反膜系在280-1 400 nm波段内其反射率均小于10%,特别是在影响四结太阳电池限流结的Ga In As/Ga In NAs两结波段(670-900 nm/900-1 100 nm)内,其反射率均在5%以下。
关键词
四结太阳电池
物理厚度
多对
tio
2
/SiO
2
减
反
膜
系
反
射率
TFCale模拟
Keywords
four-junc
tio
n solar cell
physical thickness
multiple
tio
2
/SiO
2
antireflective coating
reflectivity
TFCale simula
tio
n
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极的探索研究
2
作者
赵伟林
赵恒
曾进能
赵学峰
常乐
李廷涛
李晓峰
机构
北方夜视技术股份有限公司
微光夜视技术重点实验室
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2019年第10期895-901,共7页
基金
国家自然科学基金(11535014)
文摘
在TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极,发现多碱光电阴极制作工艺无法正常进行,多碱光电阴极的颜色为暗黑色,并且阴极灵敏度非常低,而正常的多碱光电阴极应为红褐色。其中TiO2薄膜基底利用原子层沉积(ALD)工艺制备在玻璃窗上,并且具有锐钛矿晶体结构。X射线衍射仪(XRD)分析发现,制作多碱阴极后的TiO2薄膜样品锐钛矿衍射峰基本消失,另外X射线光电子能谱(XPS)分析发现该TiO2薄膜样品不同深度均存在Na元素,由此表明是Na元素渗透到TiO2薄膜中,破坏了薄膜的晶体结构,并且导致多碱光电阴极灵敏度非常低。为此提出了一种在制作多碱光电阴极之前,在TiO2薄膜上利用ALD工艺制作一层Al2O3钝化膜的方法。经过实验验证,证实该方法可以有效避免Na元素渗透到TiO2薄膜,同时多碱光电阴极制作过程可正常进行,多碱光电阴极的颜色为红褐色,阴极灵敏度超过800μA/lm。这为将来深入研究采用TiO2薄膜作为多碱光电阴极的减反膜打下了基础。
关键词
多碱阴极
tio2减反膜
原子层沉积
Na元素渗透
钝化
膜
Keywords
multi alkali cathode
tio
2
anti-reflec
tio
n film
atomic layer deposi
tio
n
Na permea
tio
n
Al
2
O3 passive film
分类号
O462.3 [理学—电子物理学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于四结太阳电池的多对TiO_2/SiO_2减反膜系的研究
姜德鹏
张杨
彭娜
郑贵忠
毛明明
张小宾
杨翠柏
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016
0
下载PDF
职称材料
2
TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极的探索研究
赵伟林
赵恒
曾进能
赵学峰
常乐
李廷涛
李晓峰
《红外技术》
CSCD
北大核心
2019
0
下载PDF
职称材料
已选择
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