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靶磁场强度对电弧离子镀沉积TiAlSiN硬质涂层内应力的影响
1
作者
陈亚奋
郭子铭
+1 位作者
惠瑜
辛宾宾
《真空与低温》
2024年第1期57-63,共7页
用电弧离子镀制备的TiAlSiN硬质涂层,具有硬度高、致密性好、结合力优良的优点,在刀具工业中有广泛的应用市场。TiAlSiN硬质涂层的内应力不仅会影响涂层的硬度和结合力,也会影响刀具的切削寿命。研究了用电弧制备TiAlSiN涂层过程中,TiS...
用电弧离子镀制备的TiAlSiN硬质涂层,具有硬度高、致密性好、结合力优良的优点,在刀具工业中有广泛的应用市场。TiAlSiN硬质涂层的内应力不仅会影响涂层的硬度和结合力,也会影响刀具的切削寿命。研究了用电弧制备TiAlSiN涂层过程中,TiSi靶的磁场强度变化对涂层内应力的影响。结果表明,当TiSi靶的磁场从MAG3调为MAG6时,磁场强度减弱,靶材离化率降低,TiAlSiN涂层的内应力从−5.84 GPa降低到−3.16 GPa,而涂层的结合力和硬度几乎没有降低,切削寿命提高了30%。研究为提高TiAlSiN涂层的性能,进而提升刀具的使用寿命提供了有价值的试验数据。
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关键词
电弧离子镀
TiAlSiN
tisi
靶
磁场强度
内应力
下载PDF
职称材料
题名
靶磁场强度对电弧离子镀沉积TiAlSiN硬质涂层内应力的影响
1
作者
陈亚奋
郭子铭
惠瑜
辛宾宾
机构
广东华升纳米科技股份有限公司
出处
《真空与低温》
2024年第1期57-63,共7页
文摘
用电弧离子镀制备的TiAlSiN硬质涂层,具有硬度高、致密性好、结合力优良的优点,在刀具工业中有广泛的应用市场。TiAlSiN硬质涂层的内应力不仅会影响涂层的硬度和结合力,也会影响刀具的切削寿命。研究了用电弧制备TiAlSiN涂层过程中,TiSi靶的磁场强度变化对涂层内应力的影响。结果表明,当TiSi靶的磁场从MAG3调为MAG6时,磁场强度减弱,靶材离化率降低,TiAlSiN涂层的内应力从−5.84 GPa降低到−3.16 GPa,而涂层的结合力和硬度几乎没有降低,切削寿命提高了30%。研究为提高TiAlSiN涂层的性能,进而提升刀具的使用寿命提供了有价值的试验数据。
关键词
电弧离子镀
TiAlSiN
tisi
靶
磁场强度
内应力
Keywords
arc ion plating
TiAlSiN
tisi target
magnetic field intensity
residual stress
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
靶磁场强度对电弧离子镀沉积TiAlSiN硬质涂层内应力的影响
陈亚奋
郭子铭
惠瑜
辛宾宾
《真空与低温》
2024
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