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TiZrV吸气剂激活过程的XPS分析 被引量:14
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作者 褚永俊 熊玉华 +2 位作者 杜军 尉秀英 秦光荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期160-163,共4页
本文用x射线光电子能谱仪(XPS)对TiZrV合金吸气剂的激活过程进行了监测,研究了吸气剂表面Ti、Zr、V、O、C元素的化学价态随温度的变化。实验结果表明:暴露过大气的TiZrV吸气剂表面的佻、Zr和V主要以氧化态的形态存在。当吸气剂置于... 本文用x射线光电子能谱仪(XPS)对TiZrV合金吸气剂的激活过程进行了监测,研究了吸气剂表面Ti、Zr、V、O、C元素的化学价态随温度的变化。实验结果表明:暴露过大气的TiZrV吸气剂表面的佻、Zr和V主要以氧化态的形态存在。当吸气剂置于高真空激活时,钒的氧化物在较低的温度(250℃-300℃)开始被还原,钛的氧化物在稍高于钒的温度(300℃)也开始被还原,400℃时表面已经有大量的金属钛的存在,而压的氧化物在(100℃~400℃)激活过程中,则没有明显的变化。 展开更多
关键词 钛锆钒 非蒸散型吸气剂 激活过程 X射线光电子能谱
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