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TiZrV吸气剂激活过程的XPS分析
被引量:
14
1
作者
褚永俊
熊玉华
+2 位作者
杜军
尉秀英
秦光荣
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期160-163,共4页
本文用x射线光电子能谱仪(XPS)对TiZrV合金吸气剂的激活过程进行了监测,研究了吸气剂表面Ti、Zr、V、O、C元素的化学价态随温度的变化。实验结果表明:暴露过大气的TiZrV吸气剂表面的佻、Zr和V主要以氧化态的形态存在。当吸气剂置于...
本文用x射线光电子能谱仪(XPS)对TiZrV合金吸气剂的激活过程进行了监测,研究了吸气剂表面Ti、Zr、V、O、C元素的化学价态随温度的变化。实验结果表明:暴露过大气的TiZrV吸气剂表面的佻、Zr和V主要以氧化态的形态存在。当吸气剂置于高真空激活时,钒的氧化物在较低的温度(250℃-300℃)开始被还原,钛的氧化物在稍高于钒的温度(300℃)也开始被还原,400℃时表面已经有大量的金属钛的存在,而压的氧化物在(100℃~400℃)激活过程中,则没有明显的变化。
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关键词
钛锆钒
非蒸散型吸气剂
激活过程
X射线光电子能谱
下载PDF
职称材料
题名
TiZrV吸气剂激活过程的XPS分析
被引量:
14
1
作者
褚永俊
熊玉华
杜军
尉秀英
秦光荣
机构
北京有色金属研究总院先进电子材料研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期160-163,共4页
文摘
本文用x射线光电子能谱仪(XPS)对TiZrV合金吸气剂的激活过程进行了监测,研究了吸气剂表面Ti、Zr、V、O、C元素的化学价态随温度的变化。实验结果表明:暴露过大气的TiZrV吸气剂表面的佻、Zr和V主要以氧化态的形态存在。当吸气剂置于高真空激活时,钒的氧化物在较低的温度(250℃-300℃)开始被还原,钛的氧化物在稍高于钒的温度(300℃)也开始被还原,400℃时表面已经有大量的金属钛的存在,而压的氧化物在(100℃~400℃)激活过程中,则没有明显的变化。
关键词
钛锆钒
非蒸散型吸气剂
激活过程
X射线光电子能谱
Keywords
tizrv
,
neg
,
activation process
,
xps
分类号
TB74 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TiZrV吸气剂激活过程的XPS分析
褚永俊
熊玉华
杜军
尉秀英
秦光荣
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
14
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