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溶胶-凝胶法制备ZnO:Sn薄膜的微观结构及光电特性
被引量:
6
1
作者
马德福
胡跃辉
+3 位作者
胡鸿豪
张效华
陈义川
陈新华
《中国陶瓷》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期25-27,34,共4页
利用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备Sn掺杂ZnO薄膜(ZnO:Sn),研究了不同Sn掺杂量对薄膜结晶性、表面形貌和光电特性的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针测试仪对ZnO:Sn薄膜进行表征...
利用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备Sn掺杂ZnO薄膜(ZnO:Sn),研究了不同Sn掺杂量对薄膜结晶性、表面形貌和光电特性的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针测试仪对ZnO:Sn薄膜进行表征,结果表明:Sn掺杂2at.%时,薄膜具有良好的c轴择优取向,表面簇拥生长并呈现六角形结构,薄膜的平均透光率大约为90%,电阻率最小仅为19.6Ω.cm。
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关键词
透明氧化物半导体
zno
薄膜
锡掺杂
溶胶-凝胶法
下载PDF
职称材料
热处理温度对溶胶凝胶法制备ZnO:Sn薄膜性能的影响
被引量:
8
2
作者
陈俊
胡跃辉
+3 位作者
胡鸿豪
张效华
陈义川
陈新华
《陶瓷学报》
CAS
北大核心
2013年第1期5-10,共6页
采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌(ZnO:Sn)透明导电薄膜,研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结构、光电特性的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针法等分析方法对Z...
采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌(ZnO:Sn)透明导电薄膜,研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结构、光电特性的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针法等分析方法对ZnO:Sn薄膜进行分析表征,结果表明:在300℃温度下干燥10min后,在700℃空气中退火1h制备出的ZnO:Sn薄膜表面平整,具有c轴择优取向,平均透过率达到92%以上,电阻率仅为13.6Ω.cm。
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关键词
透明氧化物半导体
zno
薄膜
sn
掺杂
溶胶-凝胶法
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职称材料
题名
溶胶-凝胶法制备ZnO:Sn薄膜的微观结构及光电特性
被引量:
6
1
作者
马德福
胡跃辉
胡鸿豪
张效华
陈义川
陈新华
机构
景德镇陶瓷学院机械电子工程学院
出处
《中国陶瓷》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期25-27,34,共4页
文摘
利用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备Sn掺杂ZnO薄膜(ZnO:Sn),研究了不同Sn掺杂量对薄膜结晶性、表面形貌和光电特性的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针测试仪对ZnO:Sn薄膜进行表征,结果表明:Sn掺杂2at.%时,薄膜具有良好的c轴择优取向,表面簇拥生长并呈现六角形结构,薄膜的平均透光率大约为90%,电阻率最小仅为19.6Ω.cm。
关键词
透明氧化物半导体
zno
薄膜
锡掺杂
溶胶-凝胶法
Keywords
transparent oxide semiconductors
,
zno thin films
,
sn doping
,
sol-gel method
分类号
TQ174.75 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
热处理温度对溶胶凝胶法制备ZnO:Sn薄膜性能的影响
被引量:
8
2
作者
陈俊
胡跃辉
胡鸿豪
张效华
陈义川
陈新华
机构
景德镇陶瓷学院机械电子工程学院
出处
《陶瓷学报》
CAS
北大核心
2013年第1期5-10,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(编号:61066003)
江西省科技支撑计划项目(编号:2010BGA01100)
江西省对外合作项目(编号:20111BDH80031)
文摘
采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌(ZnO:Sn)透明导电薄膜,研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结构、光电特性的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针法等分析方法对ZnO:Sn薄膜进行分析表征,结果表明:在300℃温度下干燥10min后,在700℃空气中退火1h制备出的ZnO:Sn薄膜表面平整,具有c轴择优取向,平均透过率达到92%以上,电阻率仅为13.6Ω.cm。
关键词
透明氧化物半导体
zno
薄膜
sn
掺杂
溶胶-凝胶法
Keywords
transparent oxide semiconductors
zno thin films
sn doping
sol-gel method
分类号
TQ174.75 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
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出处
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1
溶胶-凝胶法制备ZnO:Sn薄膜的微观结构及光电特性
马德福
胡跃辉
胡鸿豪
张效华
陈义川
陈新华
《中国陶瓷》
CAS
CSCD
北大核心
2013
6
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职称材料
2
热处理温度对溶胶凝胶法制备ZnO:Sn薄膜性能的影响
陈俊
胡跃辉
胡鸿豪
张效华
陈义川
陈新华
《陶瓷学报》
CAS
北大核心
2013
8
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职称材料
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