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Investigation of strain effect on the hole mobility in GOI tri-gate pFETs including quantum confinement
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作者 秦洁宇 杜刚 刘晓彦 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第10期593-596,共4页
The strain impact on hole mobility in the GOI tri-gate pFETs is investigated by simulating the strained Ge with quantum confinement from band structure to electro-static distribution as well as the effective mobility.... The strain impact on hole mobility in the GOI tri-gate pFETs is investigated by simulating the strained Ge with quantum confinement from band structure to electro-static distribution as well as the effective mobility. Lattice mismatch strain induced by HfO2 warps and reshapes the valence subbands, and reduces the hole effective masses. The maximum value of hole density is observed near the top comers of the channel. The hole density is decreased by the lattice mismatch strain. The phonon scattering rate is degraded by strain, which results in higher hole mobility. 展开更多
关键词 STRAIN quantum effect tri-gate GOI
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28-nm UTBB FD-SOI vs. 22-nm Tri-Gate FinFET Review: A Designer Guide—Part II
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作者 Ali Mohsen Adnan Harb +1 位作者 Nathalie Deltimple Abraham Serhane 《Circuits and Systems》 2017年第5期111-121,共11页
This is Part II of a two-part paper that explores the 28-nm UTBB FD-SOI CMOS and the 22-nm Tri-Gate FinFET technology as the better alternatives to bulk transistors especially when the transistor’s architecture is go... This is Part II of a two-part paper that explores the 28-nm UTBB FD-SOI CMOS and the 22-nm Tri-Gate FinFET technology as the better alternatives to bulk transistors especially when the transistor’s architecture is going fully depleted and its size is becoming much smaller, 28-nm and above. Reliability tests of those alternatives are first discussed. Then, a comparison is made between the two alternative transistors comparing their physical properties, electrical properties, and their preferences in different applications. 展开更多
关键词 UTBB FD-SOI: Ultra-Thin Body and Box Fully Depleted Silicon on Insulator tri-gate FINFET DIBL: Drain Induced Barrier Lowering
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28-nm UTBB FD-SOI vs. 22-nm Tri-Gate FinFET Review: A Designer Guide—Part I
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作者 Ali Mohsen Adnan Harb +1 位作者 Nathalie Deltimple Abraham Serhane 《Circuits and Systems》 2017年第4期93-110,共18页
Nowadays, transistor technology is going toward the fully depleted architecture;the bulk transistors are becoming more complex in manufacturing as the transistor size is becoming smaller to achieve the high performanc... Nowadays, transistor technology is going toward the fully depleted architecture;the bulk transistors are becoming more complex in manufacturing as the transistor size is becoming smaller to achieve the high performance especially at the node 28 nm. This is the first of two papers that discuss the basic drawbacks of the bulk transistors and explain the two alternative transistors: 28 nm UTBB FD-SOI CMOS and the 22 nm Tri-Gate FinFET. The accompanying paper, Part II, focuses on the comparison between those alternatives and their physical properties, electrical properties, and reliability tests to properly set the preferences when choosing for different mobile media and consumers’ applications. 展开更多
关键词 UTBB FD-SOI: Ultra-Thin Body and Box Fully Depleted Silicon on Insulator tri-gate FINFET DIBL: Drain Induced Barrier Lowering
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Realization of flexible in-memory computing in a van der Waals ferroelectric heterostructure tri-gate transistor 被引量:1
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作者 Xinzhu Gao Quan Chen +7 位作者 Qinggang Qin Liang Li Meizhuang Liu Derek Hao Junjie Li Jingbo Li Zhongchang Wang Zuxin Chen 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2024年第3期1886-1892,共7页
Combining logical function and memory characteristics of transistors is an ideal strategy for enhancing computational efficiency of transistor devices.Here,we rationally design a tri-gate two-dimensional(2D)ferroelect... Combining logical function and memory characteristics of transistors is an ideal strategy for enhancing computational efficiency of transistor devices.Here,we rationally design a tri-gate two-dimensional(2D)ferroelectric van der Waals heterostructures device based on copper indium thiophosphate(CuInP_(2)S_(6))and few layers tungsten disulfide(WS_(2)),and demonstrate its multi-functional applications in multi-valued state of data,non-volatile storage,and logic operation.By co-regulating the input signals across the tri-gate,we show that the device can switch functions flexibly at a low supply voltage of 6 V,giving rise to an ultra-high current switching ratio of 107 and a low subthreshold swing of 53.9 mV/dec.These findings offer perspectives in designing smart 2D devices with excellent functions based on ferroelectric van der Waals heterostructures. 展开更多
关键词 two-dimensional(2D)ferroelectric HETEROSTRUCTURE tri-gate polymorphic regulation in-memory computing
原文传递
用三层胶工艺X射线光刻制作T型栅 被引量:3
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作者 孙加兴 叶甜春 +2 位作者 陈大鹏 谢常青 伊福庭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期358-360,共3页
采用三层胶工艺 X射线光刻制作 T型栅 ,一次曝光 ,分步显影 ,基本解决了不同胶层间互融的问题 .该方法制作效率高 ,所制作的 T型栅形貌好 ,头脚比例可控 ,基本满足器件制作要求 .
关键词 X射线光刻 PHEMT T型栅 三层胶工艺
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三维晶体管和后CMOS器件的进展 被引量:2
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作者 赵正平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第1期1-11,共11页
2012年当量产的集成电路的特征尺寸进入22 nm时,三维晶体管新结构成为纳电子发展的主流,标志纳电子学的发展由应力Si时代进入三维晶体管时代。介绍了多栅晶体管的发展过程,包括双栅、鳍栅、Pi型栅、Ω型栅、三栅和环形栅等FET关键技术... 2012年当量产的集成电路的特征尺寸进入22 nm时,三维晶体管新结构成为纳电子发展的主流,标志纳电子学的发展由应力Si时代进入三维晶体管时代。介绍了多栅晶体管的发展过程,包括双栅、鳍栅、Pi型栅、Ω型栅、三栅和环形栅等FET关键技术的突破和由于栅极控制沟道电子能力增加而导致的器件性能的改善。同时,还介绍了后CMOS器件的新进展,包含InGaAs n沟道鳍栅FET、环栅纳米线FET、Ge n/p沟道鳍栅FET、碳纳米管FET、石墨烯FET、隧穿FET、单电子晶体管和自旋电子学等,以及后CMOS器件的评定和终结CMOS器件模型。 展开更多
关键词 鳍栅FET 三栅FET InGaAs鳍栅FET 环栅纳米线FET Ge鳍栅FET 碳纳米管FET 石墨烯FET 隧穿FET 自旋器件
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简易集成电路测试系统的设计 被引量:2
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作者 吕虹 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1995年第S1期81-84,共4页
文章介绍了由8031单片机构成的集成电路测试系统的硬件结构及软件配置,并说明了两片8255芯片备端口的设置及C口状态的设置.
关键词 8031单片机 接口 三态门控制软件
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基于Multisim8数字电路实验的几个使用技巧 被引量:4
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作者 张学文 司佑全 《湖北师范学院学报(自然科学版)》 2012年第4期75-78,共4页
用Multisim 8对某些数字电路实验进行仿真时,发现仿真过程与结果存在与实际实验不相一致之处。提出了相应的解决方法,其思想对使用Multisim 8进行仿真实验亦有很好的借鉴作用。
关键词 multisim8 数字地 集电极开路门 三态门 竞争冒险
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一种三电平高压变频器IGBT驱动电路的实现 被引量:2
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作者 梁中华 欧立生 +1 位作者 关新 成燕 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 2002年第4期309-312,共4页
三电平高压变频器对绝缘门极双极性晶体管(IGBT)驱动电路有特殊的要求,比如:高低压侧的隔离问题、绝缘等级、动态驱动能力以及快速保护功能都有严格的要求.采用美国UNITRODE公司生产的UC3726/3727驱动IGBT芯片对,两芯片可组合使用,从而... 三电平高压变频器对绝缘门极双极性晶体管(IGBT)驱动电路有特殊的要求,比如:高低压侧的隔离问题、绝缘等级、动态驱动能力以及快速保护功能都有严格的要求.采用美国UNITRODE公司生产的UC3726/3727驱动IGBT芯片对,两芯片可组合使用,从而可以达到理想的驱动效果.测试结果表明了该方法的可行性. 展开更多
关键词 IGBT 驱动电路 三电平高压变频器 绝缘门极双极性晶体管 UC3726芯片 UC3727芯片
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高速Viterbi译码器中幸存路径存储单元的设计与实现 被引量:2
10
作者 张昌芳 雷菁 《电子工程师》 2005年第3期11-13,共3页
 提出了一种实现高速Viterbi译码器中幸存路径存储单元的新方法。该方法以三态门 /寄存器回索算法为基础,综合了传统Viterbi译码器中幸存路径存储单元实现方法———寄存器交换法和回索法的优点,并弥补了它们的不足。同时,采用了并行结...  提出了一种实现高速Viterbi译码器中幸存路径存储单元的新方法。该方法以三态门 /寄存器回索算法为基础,综合了传统Viterbi译码器中幸存路径存储单元实现方法———寄存器交换法和回索法的优点,并弥补了它们的不足。同时,采用了并行结构,并在Xilink公司的Virtex ⅡXC2V500上予以实现。仿真结果表明,采用该方法的幸存路径存储单元可以同时对 4路并行的路径转移信息进行回索,极大地提高了Viterbi译码器的译码速率。 展开更多
关键词 VITERBI译码 幸存路径存储单元 三态门/寄存器回索 并行结构 FPGA
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一种新型的抑制地线反弹噪声的Tri-Mode MTCMOS电路结构
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作者 杨文荣 吴浩 +1 位作者 薛力升 朱赛飞 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期657-660,665,共5页
提出了一种新型的MTCMOS电路结构。该结构在Tri-Mode MTCMOS电路基础上,结合叠加门控技术,进行电路结构改进,解决了Tri-Mode MTCMOS电路结构在高电压情况下抑制地线反弹噪声效果不明显的问题。电路采用SMIC 0.18μm CMOS工艺设计,使用HS... 提出了一种新型的MTCMOS电路结构。该结构在Tri-Mode MTCMOS电路基础上,结合叠加门控技术,进行电路结构改进,解决了Tri-Mode MTCMOS电路结构在高电压情况下抑制地线反弹噪声效果不明显的问题。电路采用SMIC 0.18μm CMOS工艺设计,使用HSPICE进行仿真。仿真结果表明,该结构与传统的MTCMOS电路相比,平均地线反弹减少约70%,比TriMode MTCMOS结构提高15%以上,特别在高电压情况下,平均提升40%。 展开更多
关键词 MTCMOS 地线反弹 叠加门控技术 三相多阈值电路
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利用RELACS辅助技术制作“T”型栅 被引量:1
12
作者 付兴昌 胡玲 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第8期748-750,共3页
利用RELACS化学收缩辅助技术制作了i线三层胶结构的"T"型栅。首先利用水溶性的化学收缩试剂RELACS,涂在曝光完成的光刻图形上,然后借由混合烘焙让光刻胶中的光酸分子因受热而产生扩散运动并进入到RELACS试剂内,催化RELACS试剂... 利用RELACS化学收缩辅助技术制作了i线三层胶结构的"T"型栅。首先利用水溶性的化学收缩试剂RELACS,涂在曝光完成的光刻图形上,然后借由混合烘焙让光刻胶中的光酸分子因受热而产生扩散运动并进入到RELACS试剂内,催化RELACS试剂,让RELACS试剂中的高分子与交链分子产生交链反应,使得光刻胶表面形成新的一层不溶于水的交链层而达到光刻图形收缩的目的。此方法增加了细栅光刻的宽容度,降低了细栅光刻制作的难度,极易将0.5μm的栅条收缩到0.3μm,甚至更小,不但有效地减小了栅长,而且提高了细栅光刻的成品率。RELACS技术可以应用于不同光刻胶类型的"T"型栅制作中。 展开更多
关键词 分辨率增强光刻辅助化学收缩 “T”型栅 i线光刻胶 三层胶结构
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三焦本质探源 被引量:3
13
作者 谭春雨 《辽宁中医药大学学报》 CAS 2009年第4期9-11,共3页
三焦是中医学理论体系中非常重要的组成部分,但后世针对三焦的理论起源、结构部位、生理功能等诸多方面一直争议不断。三焦理论是基于五行脏腑理论而形成的,其本质为形而上理象化层次的功能之腑,有名无象,无具体解剖结构,其功能在于通... 三焦是中医学理论体系中非常重要的组成部分,但后世针对三焦的理论起源、结构部位、生理功能等诸多方面一直争议不断。三焦理论是基于五行脏腑理论而形成的,其本质为形而上理象化层次的功能之腑,有名无象,无具体解剖结构,其功能在于通行一身元气。 展开更多
关键词 三焦 五行 元气 命门 脏腑
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一种新的高成品率InP基T型纳米栅制作方法 被引量:7
14
作者 石华芬 张海英 +3 位作者 刘训春 陈宝钦 刘明 王云翔 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期411-415,共5页
提出了一种新的 PMMA/ PMGI/ PMMA三层胶复合结构 ,通过一次对准和电子束曝光、多次显影在 In PPHEMT材料上制作出高成品率的 T型纳米栅 .在曝光显影条件变化 2 0 %的情况下 ,In P HEMT成品率达到 80 %以上 ;跨导变化范围在 5 90~ 6 10... 提出了一种新的 PMMA/ PMGI/ PMMA三层胶复合结构 ,通过一次对准和电子束曝光、多次显影在 In PPHEMT材料上制作出高成品率的 T型纳米栅 .在曝光显影条件变化 2 0 %的情况下 ,In P HEMT成品率达到 80 %以上 ;跨导变化范围在 5 90~ 6 10 m S/ mm,夹断电压为 - 1.0~ - 1.2 V,器件的栅长分布均匀 .这种新的结构工艺步骤少 ,工艺宽容度大 ,重复性好 。 展开更多
关键词 InP 制作方法 三层胶复合结构 PHEMT 电子束曝光 T型纳米栅 磷化铟 电子迁移率晶体管
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90nm T型栅工艺在高频GaAs PHEMT MMIC中的应用 被引量:2
15
作者 孙希国 刘如青 +2 位作者 刘永强 崔玉兴 付兴昌 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第8期611-615,共5页
采用PMMA/P(MMA-MAA)/PMMA三层胶结构,通过优化电子束直写电压、束流和显影等工艺参数,得到了理想的光刻胶形貌。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法实现了双凹槽栅结构。通过优化蒸发功率、蒸发时间及各层金属厚度,解决了栅掉帽的... 采用PMMA/P(MMA-MAA)/PMMA三层胶结构,通过优化电子束直写电压、束流和显影等工艺参数,得到了理想的光刻胶形貌。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法实现了双凹槽栅结构。通过优化蒸发功率、蒸发时间及各层金属厚度,解决了栅掉帽的问题。开发了90 nm自对准双凹槽T型栅电子束三层胶光刻工艺技术。应用90 nmT型栅工艺制作了W波段GaAs PHEMT功率放大器及V波段Ga As PHEMT低噪声放大器。测试结果表明,在频率为90~96 GHz、源漏电压5 V、栅源电压-0.3 V、输入功率13 dBm时,功率放大器电路输出功率为20.8 dBm,功率增益为7.8 dB;在频率为57~64 GHz、源漏电压2.5 V、漏极电流55 m A时,低噪声放大器增益大于24 dB,带内噪声系数小于3.5 dB,验证了该工艺技术的可行性和可应用性。 展开更多
关键词 90 nm T型栅 电子束直写 双凹槽结构 三层胶结构 GAAS PHEMT
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新结构MOSFET 被引量:1
16
作者 林钢 徐秋霞 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期527-530,533,共5页
 和传统平面结构MOSFET相比,新结构MOSFET具有更好的性能(如改善的沟道效应(SCE),理想的漏诱生势垒降低效应(DIBL)和亚阈值特性)和更大的驱动电流等。文章主要介绍了五种典型的新结构MOSFET,包括平面双栅MOSFET、FinFET、三栅MOSFET、...  和传统平面结构MOSFET相比,新结构MOSFET具有更好的性能(如改善的沟道效应(SCE),理想的漏诱生势垒降低效应(DIBL)和亚阈值特性)和更大的驱动电流等。文章主要介绍了五种典型的新结构MOSFET,包括平面双栅MOSFET、FinFET、三栅MOSFET、环形栅MOSFET和竖直结构MOSFET。随着MOSFET向亚50nm等比例缩小,这些新结构器件将大有前途。 展开更多
关键词 平面双栅MOSFET FINFET 三栅MOSFET 环形栅MOSFET 竖直结构MOSFET 集成电路
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新型独立三栅FinFET单粒子瞬态效应TCAD分析 被引量:1
17
作者 韩燕燕 孙亚宾 +1 位作者 李小进 石艳玲 《微电子学》 CAS 北大核心 2020年第5期683-687,共5页
针对独立三栅FinFET器件及其反相器的单粒子瞬态效应展开了深入研究。首先分析了N型独立三栅器件中最敏感区域的位置以及不同工作电压对器件敏感性的影响。然后,基于独立三栅器件独特的电流控制方式搭建五种不同工作模式的反相器单元,... 针对独立三栅FinFET器件及其反相器的单粒子瞬态效应展开了深入研究。首先分析了N型独立三栅器件中最敏感区域的位置以及不同工作电压对器件敏感性的影响。然后,基于独立三栅器件独特的电流控制方式搭建五种不同工作模式的反相器单元,对重离子撞击NMOS下拉管最敏感区域的单粒子瞬态效应(SET)敏感性进行了比较。三维数值TCAD仿真结果表明,脉冲峰值电流与重离子在沟道中的路径体积成正比,且最敏感区域为漏与沟道之间的空间电荷区,工作电压会影响沟道势垒,从而影响器件的SET。另外,不同工作模式的反相器对改善抗辐照能力具有参考意义。 展开更多
关键词 独立三栅FinFET 三维数值TCAD仿真 重离子辐射 单粒子瞬态效应 反相器
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三栅MOSFET阈值电压模型
18
作者 刘建 石新智 +1 位作者 林海 王高峰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期400-402,406,共4页
根据三栅(TG)MOSFET二维数值模拟的结果,分析了TG MOSFET中的电势分布,得出了在硅体与掩埋层接触面的中心线上的电势随栅压变化的关系;通过数学推导,给出了基于物理模型的阈值电压的解析表达式;并由此讨论了多晶硅栅掺杂浓度、硅体中掺... 根据三栅(TG)MOSFET二维数值模拟的结果,分析了TG MOSFET中的电势分布,得出了在硅体与掩埋层接触面的中心线上的电势随栅压变化的关系;通过数学推导,给出了基于物理模型的阈值电压的解析表达式;并由此讨论了多晶硅栅掺杂浓度、硅体中掺杂浓度、硅体的宽度和高度以及栅氧化层厚度对阈值电压的影响;得出在TG MOSFET器件的阈值电压设计时,应主要考虑多晶硅栅掺杂浓度、硅体中掺杂浓度和硅体的宽度等参数的结论。 展开更多
关键词 三栅MOSFET 阈值电压 数值模拟
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一种基于三态反相器的高精度时间放大器
19
作者 李瑞 蒋剑飞 王琴 《微电子学与计算机》 北大核心 2020年第8期43-48,共6页
传统的基于三态反相器设计的时间放大器(TDA)具有电路复杂度低、对电压余度和温度的影响不敏感的特点,但该结构的时间分辨率低,增益误差大,应用范围相对较窄.本文提出一种改进的时间放大器结构,通过重新设计延迟链控制信号产生电路以实... 传统的基于三态反相器设计的时间放大器(TDA)具有电路复杂度低、对电压余度和温度的影响不敏感的特点,但该结构的时间分辨率低,增益误差大,应用范围相对较窄.本文提出一种改进的时间放大器结构,通过重新设计延迟链控制信号产生电路以实现高精度增益的要求.基于40 nm CMOS工艺进行Spectre仿真结果表明,本文提出的TDA结构不仅具有稳定可控的增益(增益误差保持在±4%以下)和高时间分辨率(380 fs),而且输入范围得到进一步提升. 展开更多
关键词 时间放大器 三态反相器 传输门逻辑 线性度 高时间分辨率
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M0S2 dual-gate transistors with electrostatically doped contacts 被引量:2
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作者 Fuyou Liao Yaocheng Sheng +15 位作者 Zhongxun Guo Hongwei Tang Yin Wang Lingyi Zong Xinyu Chen Antoine Riaud Jiahe Zhu Yufeng Xie Lin Chen Hao Zhu Qingqing Sun Peng Zhou Xiangwei Jiang Jing Wan Wenzhong Bao David Wei Zhang 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第10期2515-2519,共5页
Two-dimensional(2D)transition metal dichalcogenides(TMDs)such as molybdenum disulfide(M0S2)have been intensively investigated because of their exclusive physical properties for advaneed electronics and optoelectronics... Two-dimensional(2D)transition metal dichalcogenides(TMDs)such as molybdenum disulfide(M0S2)have been intensively investigated because of their exclusive physical properties for advaneed electronics and optoelectronics.In the present work,we study the M0S2 transistor based on a novel tri-gate device architecture,with dual-gate(Dual-G)in the channel and the buried side-gate(Side-G)for the source/drain regi ons.All gates can be in depe ndently con trolled without in terfere nee.For a MoS2 sheet with a thick ness of 3.6 nm,the Schottky barrier(SB)and non-overlapped channel region can be effectively tuned by electrostatically doping the source/drain regions with Side-G.Thus,the extri nsic resista nee can be effectively lowered,and a boost of the ON-state cur re nt can be achieved.Mean while,the cha nn el c ontrol remai ns efficient under the Dual-G mode,with an ON-OFF current ratio of 3 x 107 and subthreshold swing of 83 mV/decade.The corresponding band diagram is also discussed to illustrate the device operati on mechanism.This no vel device structure ope ns up a new way toward fabricati on of high-performance devices based on 2D-TMDs. 展开更多
关键词 M0S2 DUAL-GATE tri-gate field effect TRANSISTOR EXTRINSIC resistance ELECTROSTATIC doping
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