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Surface Topography of Fine-grained ZrO_2 Ceramic by Two-dimensional Ultrasonic Vibration Grinding
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作者 丁爱玲 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2011年第6期1162-1165,共4页
The surface quality of fine-grained ZrO2 engineering ceramic were researched using 270# diamond wheel both with and without work-piece two-dimension ultrasonic vibration grinding(WTDUVG). By AFM images, the surface ... The surface quality of fine-grained ZrO2 engineering ceramic were researched using 270# diamond wheel both with and without work-piece two-dimension ultrasonic vibration grinding(WTDUVG). By AFM images, the surface topography and the micro structure of the two-dimensional ultrasonic vibration grinding ceramics were especially analyzed. The experimental results indicate that the surface roughness is related to grinding vibration mode and the material removal mechanism. Surface quality of WTDUVG is superior to that of conventional grinding, and it is easy for two-dimensional ultrasonic vibration grinding that material removal mechanism is ductile mode grinding. 展开更多
关键词 two-dimension ultrasonic vibration grinding surface topography ductile grinding
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Multi-physical Modeling and Adjusting for Ultrasonic Assisted Soft Abrasive Flow Processing
2
作者 Yesha Ni Yunfeng Tan Dapeng Tan 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第4期111-124,共14页
The polishing efficiency of the soft abrasive flow(SAF)method is low,which is not in line with the concept of carbon emission reduction in industrial production.To address the above issue,a two-phase fluid multi-physi... The polishing efficiency of the soft abrasive flow(SAF)method is low,which is not in line with the concept of carbon emission reduction in industrial production.To address the above issue,a two-phase fluid multi-physics modeling method for ultrasonic-assisted SAF processing is proposed.The acoustics-fluid coupling mechanic model based on the realizable k-ε model and Helmholtz equation is built to analyze the cavitation effect.The results show that the pro-posed modeling and solution method oriented to ultrasonic-assisted SAF processing have better revealed the flow field evolution mechanism.The turbulence kinetic energy at different ultrasonic frequencies and amplitudes is stud-ied.Simulation results show that the ultrasonic vibration can induce a cavitation effect in the constrained flow chan-nel and promote the turbulence intensity and uniformity of the abrasive flow.A set of comparative polishing experiments with or without ultrasonic vibration are conducted to explore the performance of the proposed method.It can be found that the ultrasonic-assisted SAF method can improve the machining efficiency and uniformity,to achieve the purpose of carbon emission reduction.The relevant result can offer a helpful reference for the SAF method. 展开更多
关键词 Soft abrasive flow ultrasonic vibration Cavitation effect polishing efficiency Turbulent kinetic energy
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MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION OF POLISHING PROCESS BASED ON COUPLING VIBRATIONS OF LIQUID 被引量:2
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作者 HUANG Zhigang GUO Zhongning +3 位作者 CHENG Xing YU Daming DU Xue LI Rongbing 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第1期19-24,共6页
Molecular dynamics method is applied to study the machining mechanisms of polishing based on coupling vibrations of liquid. The physical phenomena of abrasive particles bombarding on silicon monocrystal surface are si... Molecular dynamics method is applied to study the machining mechanisms of polishing based on coupling vibrations of liquid. The physical phenomena of abrasive particles bombarding on silicon monocrystal surface are simulated using Tersoff potentials. The effects of vibration parameters, particle size, incident angle and particle material are analyzed and discussed. Material removal mechanisms are studied. Deformation and embedment phenomena are found in the simulations, Bombardment will destroy the crystal structures near the impact point, and adhesion effect is responsible for final removal of material. 展开更多
关键词 Molecular dynamics simulation Ultra-smooth polishing ultrasonic vibration
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熔石英元件磁性复合流体抛光去除特性研究
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作者 叶卉 李壮 +2 位作者 王健 姜晨 孙来喜 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期214-225,共12页
基于磁性复合流体(Magnetic Compound Fluid,MCF)抛光技术开展了熔石英元件抛光工艺研究,对比了传统MCF和超声辅助MCF(以下简称UMCF)抛光对熔石英材料去除特性的影响,探究了不同抛光时间下MCF和UMCF抛光对熔石英材料去除量/去除率和表... 基于磁性复合流体(Magnetic Compound Fluid,MCF)抛光技术开展了熔石英元件抛光工艺研究,对比了传统MCF和超声辅助MCF(以下简称UMCF)抛光对熔石英材料去除特性的影响,探究了不同抛光时间下MCF和UMCF抛光对熔石英材料去除量/去除率和表面粗糙度的影响,并构建了与抛光应力和抛光时间有关的材料去除率模型。研究结果表明,相较于传统MCF,UMCF在提高材料去除率和降低表面粗糙度方面均有优势。两种抛光方式下材料去除机制均为弹塑性去除,UMCF抛光获得的表面粗糙度相比于MCF抛光优化了68.88%。由于流体动压力和超声振动压力的联合作用,UMCF抛光材料去除率最高可达5.74×10^(-3)mm^(3)/min,相比于MCF抛光提升了4.04倍。MCF和UMCF抛光材料去除率与抛光应力和抛光时间均呈现幂函数相关性,且在UMCF抛光中抛光应力对去除率的影响权重大于MCF抛光。 展开更多
关键词 磁性复合流体抛光 超声振动辅助 材料去除率 粗糙度 抛光应力
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钴铬钼合金超声振动辅助抛光力与表面质量的探究
5
作者 于保军 吴爽 +2 位作者 辛成磊 贾茹 谷岩 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2024年第3期497-503,共7页
针对钴铬钼合金的难加工性,采用超声振动辅助抛光的加工方法改善其加工效果。根据超声振动装置的运动特性,分析了单磨粒运动速度、单磨粒与工件接触轨迹坐标和单磨粒受力,建立了抛光系统的抛光力预测模型,讨论了主轴转速、进给速度和抛... 针对钴铬钼合金的难加工性,采用超声振动辅助抛光的加工方法改善其加工效果。根据超声振动装置的运动特性,分析了单磨粒运动速度、单磨粒与工件接触轨迹坐标和单磨粒受力,建立了抛光系统的抛光力预测模型,讨论了主轴转速、进给速度和抛光深度对钴铬钼合金表面质量的影响并用实验验证了预测模型的合理性。结果表明:抛光力预测模型和实验的变化趋势一致,抛光力随着主轴转速和抛光深度的增大而增大,随着进给速度的增大而减小。本研究将为超声振动辅助抛光工艺提供理论基础。 展开更多
关键词 超声振动辅助抛光 钴铬钼合金 抛光力 表面质量
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超声振动辅助抛光氮化镓分子动力学仿真分析
6
作者 夏广 朱睿 +3 位作者 王子睿 成锋 赵栋 王永光 《科学技术与工程》 北大核心 2024年第3期986-993,共8页
为了揭示超声振动辅助抛光(ultrasonic vibration-assisted polishing,UVAP)氮化镓(GaN)的微观机理,为优化超声参数实现GaN材料高效去除和改善表面质量提供指导意见。采用分子动力学(molecular dynamics,MD)模拟方法研究了超声振动条件... 为了揭示超声振动辅助抛光(ultrasonic vibration-assisted polishing,UVAP)氮化镓(GaN)的微观机理,为优化超声参数实现GaN材料高效去除和改善表面质量提供指导意见。采用分子动力学(molecular dynamics,MD)模拟方法研究了超声振动条件下单个磨粒在氮化镓(GaN)材料表面的划擦行为,并分析了超声振动周期和幅值对GaN材料去除行为的影响。结果表明,随UVAP振动周期的增大,平均切向力不断减小,平均法向力先增大后减小,损伤层厚度先降低后逐渐趋于平缓。振动周期为40 ps时,去除原子数量为常规抛光的5.6倍,同时损伤层深度仅为15.85。而随着UVAP振幅的增加,平均切向力先减小后增大,平均法向力不断减小,划痕宽度和损伤层深度非线性增大。在振幅为8时,损伤层深度与常规抛光基本保持一致,且去除原子数量相比常规抛光提升了4.6倍。UVAP较常规抛光能够降低平均磨削力,增大划痕宽度,提升去除原子数量,具有优异的抛光效果。UVAP振动周期和振幅的增大均会增加划痕底部的位错类型。此外,位错总长度的大小主要受振幅的影响,而与振动周期基本无关。通过调控UVAP振动周期和振幅分别为40 ps和8,能够保证较好的表面质量和较高的材料去除效率。 展开更多
关键词 分子动力学 氮化镓抛光 超声振动 材料去除 位错 亚表层损伤
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矽离子抛光清洁术在儿童牙面菌斑色素沉着治疗中的应用效果
7
作者 刘青青 马晓芳 +2 位作者 韩琴 周娟 陈琳 《中国初级卫生保健》 2024年第9期105-107,共3页
目的:对比矽离子联合含氟抛光膏与超声洁治去除牙面菌斑色素后对预防儿童牙面外源性色素沉着的影响。方法:选取2021年5月—2023年6月因牙面菌斑和色素沉着在修文百信医院就诊的101例患儿,将其随机分为研究组(n=50)和对照组(n=51)。研究... 目的:对比矽离子联合含氟抛光膏与超声洁治去除牙面菌斑色素后对预防儿童牙面外源性色素沉着的影响。方法:选取2021年5月—2023年6月因牙面菌斑和色素沉着在修文百信医院就诊的101例患儿,将其随机分为研究组(n=50)和对照组(n=51)。研究组采用矽离子联合含氟抛光膏进行儿童牙面牙菌斑清除,对照组采用传统超声波洁牙术。评价两种治疗方式对牙菌斑色素沉着的影响。结果:与治疗前相比,两组患儿治疗后即刻和治疗3个月后菌斑指数和色素指数均减小;治疗3个月后,研究组菌斑指数和色素指数均小于对照组,差异均有统计学意义(t值分别为2.359、3.940,P<0.05)。研究组患儿治疗依从性为90.0%,显著高于对照组的19.6%,差异有统计学意义(χ^(2)=63.243,P<0.05)。结论:与传统超声波洁牙术相比,矽离子联合含氟抛光膏清洁术治疗儿童菌斑后,牙面光滑,不易附着菌斑,患儿配合度更高且无明显不良反应。 展开更多
关键词 矽离子联合含氟抛光膏清洁术 超声波洁牙 牙面菌斑色素沉着
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钴铬钼合金二维超声振动辅助抛光去除特性研究
8
作者 孙宝玉 辛成磊 +1 位作者 谷岩 袁旭 《机械设计与制造》 北大核心 2023年第8期84-88,共5页
钴铬钼合金作为一种优良的生物医用材料,具有优异的摩擦性能、较高的耐蚀性和良好的生物相容性,在生医材料领域得到广泛应用,可制成各种人工关节。通过分析二维超声振动抛光的去除机理建立了钴铬钼合金的材料去除模型,利用二维超声振动... 钴铬钼合金作为一种优良的生物医用材料,具有优异的摩擦性能、较高的耐蚀性和良好的生物相容性,在生医材料领域得到广泛应用,可制成各种人工关节。通过分析二维超声振动抛光的去除机理建立了钴铬钼合金的材料去除模型,利用二维超声振动辅助抛光装置开展钴铬钼合金表面完整性和工艺参数的实验,并通过实验验证了去除模型。通过抛光钴铬钼合金加工参数和表面完整性实验可知,二维超声振动抛光钴铬钼合金能获得较好的表面形貌,表现为规则的振动织状结构,表面粗糙度仅为11nm。材料去除量随主轴转速和抛光深度的增加而增大,随进给速度的增加而减少。 展开更多
关键词 二维超声抛光 髋关节材料 材料去除 表面质量
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超声振动辅助抛光BK7过程中聚氨酯抛光垫磨损行为 被引量:2
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作者 梁赢东 牛俊开 +1 位作者 张超 于天彪 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期82-88,共7页
抛光光学玻璃等硬脆材料时常选用聚氨酯抛光垫,其微观形貌和磨损直接影响抛光精度和效率.本文对不同抛光时长下聚氨酯抛光垫微观形貌和磨损行为及其对材料去除率和表面粗糙度的影响进行了实验研究.结果表明:当主轴转速为8000 r/min,进... 抛光光学玻璃等硬脆材料时常选用聚氨酯抛光垫,其微观形貌和磨损直接影响抛光精度和效率.本文对不同抛光时长下聚氨酯抛光垫微观形貌和磨损行为及其对材料去除率和表面粗糙度的影响进行了实验研究.结果表明:当主轴转速为8000 r/min,进给速度为0.0150 mm/s,轴向超声振幅为5μm时,材料去除率和表面粗糙度分别为0.977μm/min和153.67 nm.聚氨酯抛光垫在30 min内磨损量较小,随着抛光时长的增加,抛光垫表面孔隙逐渐被磨粒和玻璃碎屑填充,破坏抛光垫表面的疏松多孔结构,导致抛光垫表面硬化,失去弹性.同时,侵入抛光垫表面的磨粒会阻止抛光接触区域内的磨粒更新,导致抛光质量降低. 展开更多
关键词 超声振动辅助抛光 微观形貌:抛光垫磨损 光学玻璃(BK7) 聚氨酯抛光垫
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超声振动辅助抛光材料去除机理研究
10
作者 王志辉 谷志朋 杨涛 《机械制造》 2023年第8期69-72,共4页
超声振动辅助抛光是一种特种精密加工方法,其材料去除过程包含机械、物理、化学等多种因素,研究材料去除机理具有重要意义。对超声流场及超声流场作用下单颗磨粒对工件表面冲击作用进行仿真,分析超声流场作用下抛光过程的材料去除机理... 超声振动辅助抛光是一种特种精密加工方法,其材料去除过程包含机械、物理、化学等多种因素,研究材料去除机理具有重要意义。对超声流场及超声流场作用下单颗磨粒对工件表面冲击作用进行仿真,分析超声流场作用下抛光过程的材料去除机理。仿真分析表明,在超声作用下,流场产生极强的横向剪切流,横向剪切流携裹着磨粒对工件表面产生冲击作用,从而实现材料去除。材料去除量与磨粒冲击角有关,磨粒冲击角越大,材料去除量越大。随着抛光的进行,工件表面逐渐趋于平整,磨粒冲击角也随之减小,逐渐趋于0°,此时不再有材料去除,工件抛光完成。 展开更多
关键词 超声振动 抛光 材料 去除 研究
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超声波磁流变复合抛光中几种工艺参数对材料去除率的影响 被引量:17
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作者 王慧军 张飞虎 +2 位作者 赵航 栾殿荣 陈亚春 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1583-1588,共6页
提出了一种光学抛光的新方法——超声波磁流变复合抛光。介绍了该抛光方法的基本原理和实验装置,进行了超声波磁流变复合抛光实验,采用轮廓仪实测了光学玻璃超声波磁流变抛光材料去除轮廓曲线。通过该项工艺实验,研究了五种工艺参数(磁... 提出了一种光学抛光的新方法——超声波磁流变复合抛光。介绍了该抛光方法的基本原理和实验装置,进行了超声波磁流变复合抛光实验,采用轮廓仪实测了光学玻璃超声波磁流变抛光材料去除轮廓曲线。通过该项工艺实验,研究了五种工艺参数(磁场强度、超声振幅、抛光工具头与工件的间隙、抛光工具头转速、工件转速)对光学玻璃材料去除率的影响。在一定实验条件下,获得的材料去除率为0.139μm/min,并获得了超声波磁流变复合抛光工艺参数与材料去除率的关系曲线,得出了光学玻璃超声波磁流变复合抛光的材料去除规律。 展开更多
关键词 材料去除率 超声波磁流变复合抛光 超声波抛光 磁流变抛光 超精密加工
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氮化硅陶瓷滚子磁流变与超声波复合抛光技术 被引量:7
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作者 张占立 张运瑞 +2 位作者 叶秀玲 王恒迪 邓四二 《河南科技大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2014年第4期13-17,5,共5页
根据氮化硅陶瓷材料的特点,研究了磁流变与超声振动对陶瓷滚子的抛光工艺。研制了适用于该工艺的磁流变液;在不同的试验参数下进行了工艺试验;分析了材料的去除机理。试验结果表明:金刚石微粉的抛光效果最好;金刚石微粉磁流变超声复合... 根据氮化硅陶瓷材料的特点,研究了磁流变与超声振动对陶瓷滚子的抛光工艺。研制了适用于该工艺的磁流变液;在不同的试验参数下进行了工艺试验;分析了材料的去除机理。试验结果表明:金刚石微粉的抛光效果最好;金刚石微粉磁流变超声复合抛光陶瓷滚子1 h的表面粗糙度Ra约为0.025μm;超声振动对陶瓷滚子抛光的材料去除率和表面质量有提高作用;材料去除过程主要是机械剪切力作用。 展开更多
关键词 氮化硅陶瓷 磁流变 超声 抛光
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KDP晶体超声辅助磨削的亚表面损伤研究 被引量:14
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作者 王强国 高航 +3 位作者 裴志坚 鲁春朋 王碧玲 滕晓辑 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期67-71,共5页
通过采用角度抛光和逐层抛光法以及择优化学腐蚀,对基于超声辅助磨削的KDP晶体试件进行亚表面损伤形式观察以及损伤深度检测,以便为后续加工提供指导。损伤检测实验表明:在超声辅助磨削工艺条件下,亚表面损伤以与磨粒运动方向平行的中... 通过采用角度抛光和逐层抛光法以及择优化学腐蚀,对基于超声辅助磨削的KDP晶体试件进行亚表面损伤形式观察以及损伤深度检测,以便为后续加工提供指导。损伤检测实验表明:在超声辅助磨削工艺条件下,亚表面损伤以与磨粒运动方向平行的中位裂纹为主,且裂纹间距具有一定的规律性;亚表面损伤深度为19~48μm,磨头形状(有无倒角)较之磨头磨粒粒度对亚表面损伤深度具有更大的影响,使用有倒角的磨头可得最小亚表面损伤。 展开更多
关键词 KDP晶体 磨削 超声辅助加工 亚表面损伤 角度抛光
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离心压缩机窄流道闭式叶轮抛光工艺研究 被引量:10
14
作者 季田 卞桂虹 +1 位作者 刘向东 郭东明 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2007年第6期38-41,50,共5页
离心压缩机工作时,由于叶轮旋转和流体发生摩擦,造成机械和流动损失功率,降低了压缩机的效率。损失功率大小与叶轮的表面粗糙度有关。窄流道闭式叶轮是高压小流量离心压缩机采用的一种结构形式的叶轮,由于流道截面面积小,形状复杂,表面... 离心压缩机工作时,由于叶轮旋转和流体发生摩擦,造成机械和流动损失功率,降低了压缩机的效率。损失功率大小与叶轮的表面粗糙度有关。窄流道闭式叶轮是高压小流量离心压缩机采用的一种结构形式的叶轮,由于流道截面面积小,形状复杂,表面粗糙度对压缩机效率的影响尤为显著。为此,本文针对窄流道闭式叶轮的结构特点,采用了多种抛光方法对叶轮外表面和流道内部进行了抛光试验,比较和分析了各种方法的实际效果。结果表明,叶轮整体首先采用湿喷砂+喷丸清理,然后对外表面采用超声振动抛光,流道内部采用磨粒流抛光的方法,抛光效率高且质量好。其表面粗糙度最终可达Ra0.2μm左右,满足了叶轮的表面粗糙度要求,从而解决了高压小流量离心压缩机制造中的叶轮抛光难题,提高了压缩机的效率。 展开更多
关键词 窄流道闭式叶轮 抛光 超声振动切削 磨粒流
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机器人超声研抛自由曲面的精加工系统 被引量:7
15
作者 詹建明 赵继 祝佩兴 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第8期852-854,共3页
论述自由曲面精密加工领域内机器人的应用背景 ;介绍机器人超声弹性研抛系统的构成及工作原理 ;建立面向自由曲面的机器人加工系统的控制模型 ;实验证实该系统方案的可行性和技术的先进性。
关键词 自由曲面 机器人 超声加工 弹性研抛 超声研抛
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无磨料超声抛光工艺参数优选试验研究 被引量:9
16
作者 郑建新 刘传绍 蒋建军 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2009年第2期93-95,共3页
以45钢轴件为加工对象进行无磨料超声抛光工艺试验,优选工艺参数,探索各工艺参数对表面粗糙度的影响。试验结果表明,工艺参数对加工表面粗糙度影响顺序为进给量、超声波发生器的输出功率、抛光预压力和工具头半径;表面粗糙度值随进给量... 以45钢轴件为加工对象进行无磨料超声抛光工艺试验,优选工艺参数,探索各工艺参数对表面粗糙度的影响。试验结果表明,工艺参数对加工表面粗糙度影响顺序为进给量、超声波发生器的输出功率、抛光预压力和工具头半径;表面粗糙度值随进给量的增大而增大,而工具头半径、预压力和超声波发生器的输出功率对表面粗糙度的影响曲线为驼峰曲线,过大或过小的工艺参数均影响抛光效果。 展开更多
关键词 无磨料超声抛光 工艺参数 试验 磨削加工
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超声研磨硬脆材料的去除模型研究 被引量:20
17
作者 周忆 梁德沛 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期664-666,共3页
从理论上分析了脆性材料在超声研磨过程中影响表面质量的各种主要因素,对影响加工表面粗糙度的主要因素进行了试验。研究结果表明,超声工具头与被加工工件的间隙对表面质量影响很大。试验表明,当超声工具头与被加工工件的间隙在一定的... 从理论上分析了脆性材料在超声研磨过程中影响表面质量的各种主要因素,对影响加工表面粗糙度的主要因素进行了试验。研究结果表明,超声工具头与被加工工件的间隙对表面质量影响很大。试验表明,当超声工具头与被加工工件的间隙在一定的范围内,能在超声研磨条件下加工出高质量的超光滑表面。 展开更多
关键词 超声研磨 超精密加工 脆性材料 加工模型
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超声椭圆振动-化学机械复合抛光工具及实验研究 被引量:10
18
作者 杨卫平 吴勇波 徐家文 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2008年第7期841-847,共7页
针对硅片的传统化学机械抛光,特别是随着硅片直径不断增大,硅片抛光表面质量和抛光效率成为一个亟待解决的问题。介绍一种超声椭圆振动-化学机械复合抛光新技术,并对抛光机理,抛光工具设计,性能及检测进行了详细论述和说明。在上述研究... 针对硅片的传统化学机械抛光,特别是随着硅片直径不断增大,硅片抛光表面质量和抛光效率成为一个亟待解决的问题。介绍一种超声椭圆振动-化学机械复合抛光新技术,并对抛光机理,抛光工具设计,性能及检测进行了详细论述和说明。在上述研究工作基础上,建立了超声椭圆振动辅助抛光实验系统,并进行了实验研究。实验结果显示,在抛光加工中引入超声椭圆运动后,工件抛光表面粗糙度值由传统抛光法的Ra0.077μm降低到Ra0.032μm,材料去除率最多可提高24%,且工件表面形貌有明显改善。 展开更多
关键词 超声椭圆振动 化学机械抛光 抛光工具 实验研究
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超声波协同作用下非离子表面活性剂对铝合金抛光后清洗的影响 被引量:5
19
作者 王永光 吴中华 +4 位作者 赵永武 陈瑶 刘萍 陆小龙 朱玉广 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期582-586,共5页
利用静态浸泡清洗和超声波辅助清洗方法,使用非离子表面活性剂辛基苯基聚氧乙烯醚(TX-100)溶液对经过化学机械抛光(浸泡SiO2抛光液)后的7003铝合金试样进行浸泡清洗,利用原子力显微镜观测试样表面的清洗效果,并计算清洗后铝合金的表面... 利用静态浸泡清洗和超声波辅助清洗方法,使用非离子表面活性剂辛基苯基聚氧乙烯醚(TX-100)溶液对经过化学机械抛光(浸泡SiO2抛光液)后的7003铝合金试样进行浸泡清洗,利用原子力显微镜观测试样表面的清洗效果,并计算清洗后铝合金的表面粗糙度;通过对比去离子水与TX-100溶液在铝合金表面的接触角,分析了非离子表面活性剂TX-100对铝合金化学机械抛光后清洗中SiO2颗粒的分散性、Zeta电位、表面润湿性及去除率的影响,以及TX-100与超声波协同作用的清洗机制.结果表明:随着TX-100质量分数增加,SiO2的颗粒粒径和Zeta电位均先减小而后增大;当TX-100质量分数为2.0%时,SiO2颗粒的分散性最佳;表面活性剂TX-100能够提高铝合金表面的亲水性;在铝合金的清洗过程中,由于超声波与TX-100的协同作用而使得SiO2颗粒去除率由57%提高到90%,且未出现腐蚀现象;清洗后铝合金的表面粗糙度为2.16nm. 展开更多
关键词 铝合金 化学机械抛光 清洗 超声波
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光纤阵列的超声椭圆振动辅助化学机械抛光 被引量:8
20
作者 陈涛 刘德福 +1 位作者 佘亦曦 严日明 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期132-138,共7页
为了获得平整的光纤阵列端面,设计了一套超声椭圆振动辅助化学抛光系统,并进行常规化学机械抛光和超声椭圆振动辅助化学机械抛光的对照试验。结果表明,应用超声椭圆振动辅助化学机械抛光技术加工光纤阵列,选择合理的抛光工艺参数,可获... 为了获得平整的光纤阵列端面,设计了一套超声椭圆振动辅助化学抛光系统,并进行常规化学机械抛光和超声椭圆振动辅助化学机械抛光的对照试验。结果表明,应用超声椭圆振动辅助化学机械抛光技术加工光纤阵列,选择合理的抛光工艺参数,可获得质量较好的光纤阵列端面,相比于常规化学机械抛光技术,光纤的表面粗糙度降低了25%。采用单因素试验法,分别研究了抛光粒子材料及抛光液酸碱性对于超声椭圆振动辅助化学机械抛光的作用效果,并利用Vecco表面轮廓仪对抛光后光纤阵列端面进行观察和分析。采用正交试验法获得了一组超声椭圆振动辅助化学机械抛光光纤阵列的优化工艺参数,最佳工艺参数组为:超声振动频率25 k Hz,抛光液流量35 m L/min,抛光压力50 k Pa,抛光盘转速20 r/min,抛光粒子质量分数0.5%。 展开更多
关键词 光纤阵列 超声椭圆振动 化学机械抛光 表面粗糙度
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