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An ultra-low specific on-resistance trench LDMOS with a U-shaped gate and accumulation layer
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作者 李鹏程 罗小蓉 +4 位作者 罗尹春 周坤 石先龙 张彦辉 吕孟山 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第4期399-404,共6页
An ultra-low specific on-resistance (Ron,sp) oxide trench-type silicon-on-insulator (SOI) lateral double-diffusion metal-oxide semiconductor (LDMOS) with an enhanced breakdown voltage (BV) is proposed and inve... An ultra-low specific on-resistance (Ron,sp) oxide trench-type silicon-on-insulator (SOI) lateral double-diffusion metal-oxide semiconductor (LDMOS) with an enhanced breakdown voltage (BV) is proposed and investigated by simulation. There are two key features in the proposed device: one is a U-shaped gate around the oxide trench, which extends from source to drain (UG LDMOS); the other is an N pillar and P pillar located in the trench sidewall. In the on-state, electrons accumulate along the U-shaped gate, providing a continuous low resistance current path from source to drain. The Ron,sp is thus greatly reduced and almost independent of the drift region doping concentration. In the off-state, the N and P pillars not only enhance the electric field (E-field) strength of the trench oxide, but also improve the E-field distribution in the drift region, leading to a significant improvement in the BV. The BV of 662 V and Ron,sp of 12.4 mΩ.cm2 are achieved for the proposed UG LDMOS. The BV is increased by 88.6% and the Ron,sp is reduced by 96.4%, compared with those of the conventional trench LDMOS (CT LDMOS), realizing the state-of-the-art trade-off between BV and Ron,sp. 展开更多
关键词 trench u-shaped gate specific on-resistance breakdown voltage
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预装式U型电缆沟设计方案研究 被引量:6
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作者 周秋鹏 周蠡 +1 位作者 黄振喜 龚俊 《湖北电力》 2016年第4期42-46,共5页
从预装式U型电缆沟的技术可行性和经济合理性两方面分析了预装式U型电缆沟的特点。依托某500 k V变电工程,将预装式U型电缆沟作为应用试点。通过与现浇混泥土电缆沟进行对比分析,证明采用预装式U型电缆沟可以有效降低现场施工工作量和... 从预装式U型电缆沟的技术可行性和经济合理性两方面分析了预装式U型电缆沟的特点。依托某500 k V变电工程,将预装式U型电缆沟作为应用试点。通过与现浇混泥土电缆沟进行对比分析,证明采用预装式U型电缆沟可以有效降低现场施工工作量和施工周期,解决传统施工方法存在的问题,为变电站进一步实现"设计标准化、加工工厂化、安装机械化、施工专业化"建设奠定了基础。 展开更多
关键词 预装式u型电缆沟 抗浮稳定性 全寿命周期
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U型槽刻蚀工艺对GaN垂直沟槽型金属-氧化物-半导体场效应晶体管电学特性的影响 被引量:2
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作者 陈扶 唐文昕 +3 位作者 于国浩 张丽 徐坤 张宝顺 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期263-269,共7页
U型槽的干法刻蚀工艺是GaN垂直沟槽型金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)器件关键的工艺步骤,干法刻蚀后GaN的侧壁状况直接影响GaN MOS结构中的界面态特性和器件的沟道电子输运.本文通过改变感应耦合等离子体干法刻蚀工艺中的射频... U型槽的干法刻蚀工艺是GaN垂直沟槽型金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)器件关键的工艺步骤,干法刻蚀后GaN的侧壁状况直接影响GaN MOS结构中的界面态特性和器件的沟道电子输运.本文通过改变感应耦合等离子体干法刻蚀工艺中的射频功率和刻蚀掩模,研究了GaN垂直沟槽型MOSFET电学特性的工艺依赖性.研究结果表明,适当降低射频功率,在保证侧壁陡直的前提下可以改善沟道电子迁移率,从35.7 cm^2/(V·s)提高到48.1 cm^2/(V·s),并提高器件的工作电流.沟道处的界面态密度可以通过亚阈值摆幅提取,射频功率在50 W时界面态密度降低到1.90×10^12 cm^-2·eV^-1,比135 W条件下降低了一半.采用SiO2硬刻蚀掩模代替光刻胶掩模可以提高沟槽底部的刻蚀均匀性.较薄的SiO2掩模具有更小的侧壁面积,高能离子的反射作用更弱,过刻蚀现象明显改善,制备出的GaN垂直沟槽型MOSFET沟道场效应迁移率更高,界面态密度更低. 展开更多
关键词 GaN垂直沟槽型金属-氧化物-半导体场效应晶体管 u型槽 射频功率 刻蚀掩模
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深U型槽的反应离子刻蚀技术 被引量:2
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作者 彭忠献 王方 +1 位作者 李荫波 黄敝 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1990年第2期1-3,共3页
在VLSI 工艺中,U 型槽隔离方法很重要.本文报道了采用CF_4、SF_6、Ar、Cl_2、O_2、BCl_3、CHF_3等气体及其混合物进行的RIE(反应离子刻蚀)实验,发现Cl_2+Ar 最适用于深U 型槽的刻蚀,并成功地刻出了2μm 宽、6μm 深的U 型槽.
关键词 离子刻蚀 VLSI u型槽
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UMOSFET功率器件漏电失效分析及工艺改善
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作者 李秀然 刘宇 +2 位作者 王鹏 李秀莹 沈思杰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第8期627-632,共6页
针对U型沟槽MOSFET(UMOSFET)功率器件栅极和源极间发生漏电失效的问题,对失效器件进行了电学测试和缺陷检测,对失效现象和失效机理进行了分析,并进行了相关工艺模拟和工艺实验。采用透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)和... 针对U型沟槽MOSFET(UMOSFET)功率器件栅极和源极间发生漏电失效的问题,对失效器件进行了电学测试和缺陷检测,对失效现象和失效机理进行了分析,并进行了相关工艺模拟和工艺实验。采用透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)和聚焦离子束(FIB)对失效芯片的缺陷进行分析和表征。结果表明,器件的U型沟槽底部栅氧化层存在的缺陷是产生漏电的主要原因,湿氧工艺中反应气体反式二氯乙烯(TransLC)的残留碳化造成了芯片栅氧层中的缺陷。通过工艺模拟和实验,优化了湿氧工艺条件,工艺改进后产品的成品率稳定在98%~99%,无漏电失效现象。 展开更多
关键词 u型沟槽MOSFET(uMOSFET) 漏电失效 湿氧工艺 场氧化层 反式二氯乙烯(Trans_LC)
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西准噶尔谢米斯台地区双峰式火山岩的发现及其地质意义 被引量:1
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作者 翁凯 马中平 张雪 《现代地质》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期692-703,共12页
西准噶尔谢米斯台地区是研究准噶尔洋盆构造演化的关键地区,新发现的双峰式火山岩为开展研究提供了直接的载体,对其物质组成特征、岩石地球化学特征和锆石U-Pb年代学等进行研究,判别成因机制和大地构造环境,对恢复造山带大地构造格局有... 西准噶尔谢米斯台地区是研究准噶尔洋盆构造演化的关键地区,新发现的双峰式火山岩为开展研究提供了直接的载体,对其物质组成特征、岩石地球化学特征和锆石U-Pb年代学等进行研究,判别成因机制和大地构造环境,对恢复造山带大地构造格局有着重要的意义。本次研究获得如下认识:该套双峰式火山岩为碱性玄武岩-钙碱性流纹岩组合,流纹岩LA-ICP-MS锆石U-Pb年龄(431.8±2.3)Ma;玄武岩来源于俯冲流体交代的地幔部分熔融,流纹岩来源于地壳物质的部分熔融;双峰式火山岩形成于早志留世弧后盆地初始演化阶段;结合前人的研究成果,认为西准噶尔谢米斯台地区在早古生代存在完整的沟-弧-盆体系。 展开更多
关键词 双峰式火山岩 地球化学 锆石u-PB测年 沟-弧-盆体系 西准噶尔
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基于Comsol的饱和多孔介质动力方程的数值模拟及应用 被引量:8
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作者 杨贝贝 李伟华 +1 位作者 赵成刚 李梦姿 《地震工程学报》 CSCD 北大核心 2017年第2期321-328,共8页
两相饱和多孔介质的动力响应问题在地震工程领域具有重要的研究意义,由于涉及到固相和液相的动力耦合,使得该问题的求解尤为复杂。本文利用Comsol在求解多场耦合问题上的优点,针对Biot饱和多孔介质u-U耦合形式下的波动方程特征,经过一... 两相饱和多孔介质的动力响应问题在地震工程领域具有重要的研究意义,由于涉及到固相和液相的动力耦合,使得该问题的求解尤为复杂。本文利用Comsol在求解多场耦合问题上的优点,针对Biot饱和多孔介质u-U耦合形式下的波动方程特征,经过一系列微分算子运算和矩阵变换得到导数形式下的波动方程,基于Comsol Multiphysics提供的广义偏微分方程模式对变形后的波动方程进行求解,并把改进后的无限元边界应用到无限域动力问题的模拟中。通过与饱和多孔介质动力响应的解析解进行对比,验证模型求解技术的可行性和正确性,并在此基础上讨论饱和土地基中空沟隔振效果与饱和土体参数孔隙率、泊松比的关系。通过研究分析,可以为饱和土地基中空沟隔振设计提供一些有价值的参考。 展开更多
关键词 Biot饱和多孔介质 u-u耦合方程 Comsol MuLTIPHYSICS 动荷载 空沟
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预制高性能混凝土(HPC)电缆沟的研制 被引量:3
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作者 钟维军 金权 +3 位作者 王建民 巴明芳 乐亚光 徐圣烨 《混凝土与水泥制品》 2021年第1期39-43,共5页
通过研究硅灰、Ⅰ级粉煤灰及S95矿渣粉掺量及掺入方式对高性能混凝土(HPC)的影响,确定了Ⅰ级粉煤灰和S95矿渣粉以1∶1复掺制备HPC预制装配式电缆沟。针对不同服役条件,设计了预制HPC电缆沟U型截面形式,并对其承载力进行了试验验证。结... 通过研究硅灰、Ⅰ级粉煤灰及S95矿渣粉掺量及掺入方式对高性能混凝土(HPC)的影响,确定了Ⅰ级粉煤灰和S95矿渣粉以1∶1复掺制备HPC预制装配式电缆沟。针对不同服役条件,设计了预制HPC电缆沟U型截面形式,并对其承载力进行了试验验证。结果表明:预制HPC电缆沟的关键部位强度及变形均满足承载力及变形要求,可为电缆沟的预制装配化应用提供参考。 展开更多
关键词 高性能混凝土电缆沟 u型构件 模拟计算 活性矿物掺合料
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雅鲁藏布江缝合带西段仲巴地区俯冲—增生过程
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作者 郭旭东 丁林 +2 位作者 蔡福龙 王厚起 岳雅慧 《地质科学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期1031-1047,共17页
雅鲁藏布江缝合带是新特提斯洋俯冲消亡的残余,记录了新特提斯洋打开—闭合的全过程.本文以雅鲁藏布江缝合带西段仲巴地区南侧的纳久混杂岩为研究对象,进行了详细的放射虫年代学,砂岩碎屑锆石U-Pb同位素年代学以及碎屑组分统计研究.我... 雅鲁藏布江缝合带是新特提斯洋俯冲消亡的残余,记录了新特提斯洋打开—闭合的全过程.本文以雅鲁藏布江缝合带西段仲巴地区南侧的纳久混杂岩为研究对象,进行了详细的放射虫年代学,砂岩碎屑锆石U-Pb同位素年代学以及碎屑组分统计研究.我们的数据表明,纳久混杂岩中硅质岩含有大量保存较好的放射虫化石,包含Pseudodictyomitra carpatica带典型分子,根据放射虫时代组合确定其时代为早Barremian阶;混杂岩中砂岩岩块主要为岩屑砂岩,不同样品碎屑锆石得出的最大沉积年龄介于95~73 Ma之间.碎屑锆石U-Pb年龄源区分析表明,碎屑物质来自北侧的冈底斯岩浆弧和拉萨地体.纳久混杂岩南侧的砂岩沉积时代为早白垩世,碎屑锆石U-Pb年龄源区表明具有典型的特提斯喜马拉雅特征.我们的数据表明,纳久混杂岩基质时代为早白垩世,砂岩岩块时代为晚白垩世,与北侧的早白垩世蛇绿岩共同组成了白垩纪的增生楔,随着印度与欧亚大陆的碰撞仰冲到特提斯喜马拉雅之上. 展开更多
关键词 物源分析 碎屑锆石u-Pb年代学 放射虫 海沟沉积 新特提斯洋俯冲
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深槽隔离CMOS工艺技术
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作者 彭忠献 王方 +1 位作者 李荫波 黄敞 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1990年第5期38-41,共4页
本文介绍一种深U型槽隔离CMOS工艺技术,对工艺实施中的若干问题进行了讨论,并对器件特性进行了分析。
关键词 CMOS 集成电路 槽隔离 工艺
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谈山区深沟弯梁桥的设计
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作者 解磊 《山西建筑》 2016年第18期165-167,共3页
结合神池至岢岚高速公路小口子大桥的工程概况,从桥型选择、布梁方式、墩台、全桥防护等方面,阐述了小口子大桥的设计要点,总结了山区深沟地形条件下,桥梁设计需考虑的因素,以供同类桥梁设计参考。
关键词 桥梁 u型沟 桥墩 悬臂
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杭州地铁长期运营监测分析 被引量:2
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作者 吴灿鑫 牟大鹏 《土工基础》 2020年第2期236-240,共5页
针对杭州地区地质情况复杂多变的情况,对杭州地铁监测数据分析,为将来的设计施工以及运营管理提供参考。统计分析5年的长期运营监测数据,结果表明:在淤泥质粘土中采用冻结法施工联络通道时,对地基土扰动较大,淤泥质粘土渗透性差、固结... 针对杭州地区地质情况复杂多变的情况,对杭州地铁监测数据分析,为将来的设计施工以及运营管理提供参考。统计分析5年的长期运营监测数据,结果表明:在淤泥质粘土中采用冻结法施工联络通道时,对地基土扰动较大,淤泥质粘土渗透性差、固结时间长,会产生较大沉降变形;U型槽是地下结构过渡到地面车辆段的特殊区段,结构不同位置受地下水浮力影响差异较大,应加强地基处理,避免运营后产生较大的不均匀沉降;合理的隧道埋深,可以有效避免钱塘江"洪冲潮淤"的影响,反之隧道埋深较浅时易受外界影响,产生较大沉降变形;为有效保护地铁,当旁侧基坑基底处在软弱土层时,宜采用满堂或裙边加抽条的加固形式,以对围护结构底部形成较好的支档效果,应避免角撑等传力不直接、受力复杂的支撑体系。 展开更多
关键词 长期运营监测 联络通道 隧道埋深 u型槽 旁侧基坑
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