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UHV系统及变压器发展之设想
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作者 贺以燕 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期28-31,共4页
介绍了UHV系统的发展方式、绝缘水平以及国外变压器和变压器单台极限容量,对下个世纪中国的UHV变压器等科研物质准备工作讲行了设想。
关键词 uhv系统 变压器 发展
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NEA GaAs光电阴极表面和UHV系统微颗粒污染的寻源分析与排除 被引量:5
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作者 陈高善 程宏昌 +4 位作者 石峰 刘晖 冯刘 任兵 成伟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期205-210,共6页
借助于扫描电镜和能量分散X-ray能谱分析方法,对发生在超高真空(UHV)系统内,负电子亲和势GaAs光阴极表面上的金属微颗粒污染物进行了分析研究。给出了存在于表面上微颗粒污染物的性质、类型、所占比例、构成成分、形貌、几何尺寸。介绍... 借助于扫描电镜和能量分散X-ray能谱分析方法,对发生在超高真空(UHV)系统内,负电子亲和势GaAs光阴极表面上的金属微颗粒污染物进行了分析研究。给出了存在于表面上微颗粒污染物的性质、类型、所占比例、构成成分、形貌、几何尺寸。介绍了寻找、排除微颗粒污染物的方法,并由成分分析结果,找到并排除了UHV系统内Mo微颗粒污染物产生的源头。发现在UHV系统内,传递杆等可移动部件的较粗糙表面具有携带、输运、抛撒微颗染污染物的功能。对UHV系统进行了全面的清洗处理,使其恢复到了原有的正常状态。 展开更多
关键词 表面微颗粒污染 uhv系统污染 GaAs光电阴极表面污染 能谱成分分析 线性传递杆
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新型UHV/CVD系统及器件级薄外延层生长
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《今日科技》 2004年第8期59-59,共1页
关键词 低温外延技术 硅器件 uhv/CVD系统 设计 薄膜材料
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Si基多层Ge量子点近红外光电探测器研制 被引量:1
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作者 汪建元 陈松岩 李成 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期660-664,共5页
采用超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)技术在Si衬底上外延生长了PIN结构多层Ge量子点探测器材料。PIN探测器结构由N型Si衬底,多层Ge量子点吸收区,和原位掺杂P型Si盖层构成,电极分别制作于N-Si和P-Si上,以获得好的欧姆接触。制备的Si基Ge... 采用超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)技术在Si衬底上外延生长了PIN结构多层Ge量子点探测器材料。PIN探测器结构由N型Si衬底,多层Ge量子点吸收区,和原位掺杂P型Si盖层构成,电极分别制作于N-Si和P-Si上,以获得好的欧姆接触。制备的Si基Ge量子点光电探测器具有较低的暗电流密度(-1 V偏压下为7.35×10-6A/cm2),与Si相比,探测波长延伸到1.31μm波段。 展开更多
关键词 多层Ge量子点 近红外光电探测器 uhv/CVD系统 自组织生长
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