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266 nm紫外固体激光在碳化硅晶片上的微结构加工 被引量:5
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作者 齐立涛 刘文海 《黑龙江科技大学学报》 CAS 2017年第2期176-180,共5页
紫外固体激光微细加工以其独特优势,成为微结构加工的重要方法之一,尤其对硬脆难加工类宽带隙材料的微细加工。利用266 nm紫外固体激光微细加工系统,在宽带隙材料Si C上进行实验研究。应用扫描电子显微镜和光学显微镜等检测技术对样件... 紫外固体激光微细加工以其独特优势,成为微结构加工的重要方法之一,尤其对硬脆难加工类宽带隙材料的微细加工。利用266 nm紫外固体激光微细加工系统,在宽带隙材料Si C上进行实验研究。应用扫描电子显微镜和光学显微镜等检测技术对样件进行检测。采用紫外固体激光静态照射Si C晶片表面,紫外固体激光烧蚀孔径和单脉冲能量的关系,计算266 nm紫外固体激光烧蚀Si C晶片的烧蚀阈值。通过直线扫描实验,在不同实验条件下,在Si C晶片表面加工微槽,获得微槽的宽度和深度与激光主要参数之间的关系。结果表明:激光能量密度可以改变槽宽和槽深,而扫描次数对槽宽基本无影响,而对槽深影响较大。利用聚焦的紫外固体激光束沿着轨迹扫描,在Si C晶片上加工出典型的微细结构,实现微细结构的精密加工。 展开更多
关键词 紫外固体激光微细加工 SI C微细加工 微细结构加工 微槽
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扑翼微飞行器紫外激光加工技术 被引量:4
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作者 张伟 张卫平 +3 位作者 柯希俊 邹阳 柴双双 叶以楠 《半导体光电》 CAS 北大核心 2015年第4期657-660,666,共5页
为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术... 为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术。并将其应用于扑翼微飞行器的加工,得到了一个翼展3cm,最小尺寸为80μm的飞行器样机。 展开更多
关键词 紫外激光 非硅微加工 碳纤维加工 扑翼微飞行器
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紫外激光器及其在微加工中的应用 被引量:20
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作者 聂世琳 管迎春 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1169-1179,共11页
紫外激光以其波长短、加工精度高、冷加工等特性,在微细制造中具有独特优势,能够有效提高制造品质。近年来,随着现代电子产业的快速发展,其对生产制造的要求不断提高,紫外激光的应用和发展也受到人们的广泛关注。紫外激光在微加工过程... 紫外激光以其波长短、加工精度高、冷加工等特性,在微细制造中具有独特优势,能够有效提高制造品质。近年来,随着现代电子产业的快速发展,其对生产制造的要求不断提高,紫外激光的应用和发展也受到人们的广泛关注。紫外激光在微加工过程中对材料尺寸形状要求小,加工过程灵活可变,产生的热影响区小,能够实现精密复杂结构的加工。本文介绍了紫外激光器的发展过程,并对目前主要用于微加工的两类紫外激光器:准分子激光器和全固态激光器的工作原理和技术特点进行了简要的概述。重点讨论紫外激光在半导体、光学元件和聚合物等领域的技术发展和应用现状,并进一步对未来研究方向进行预测和展望。 展开更多
关键词 紫外激光器 激光微加工 半导体材料 微光学元件 聚合物
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Automated synthesis of gadopentetate dimeglumine through solid-liquid reaction in femtosecond laser fabricated microfluidic chips
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作者 Difeng Yin Yucen Li +6 位作者 Lingling Xia Wenbo Li Wei Chu Jianping Yu Miao Wu Ya Cheng Ming Hu 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2022年第2期1077-1080,共4页
Despite the continuously increased requirement on automated synthesis of medicines for distributed manufacturing and personal care, it remains a challenge to realize automated synthesis which requires solid-liquid pha... Despite the continuously increased requirement on automated synthesis of medicines for distributed manufacturing and personal care, it remains a challenge to realize automated synthesis which requires solid-liquid phase reactions. In this work, we demonstrated an automated solid-liquid synthesis for gadopentetate dimeglumine, the most widely used magnetic resonance imaging(MRI) contrast agent. The high-efficiency reaction was performed in a 3D microfluidic chip which was fabricated by femtosecond laser micromachining. The structure of the chip realized 3D shear flow which was essential for highly efficient mixing and movement of the solid-liquid mixtures. Ultraviolet visible(UV-vis) spectrometer was employed for in-line analysis to help automation of this system. Comparing with the round-bottom flask system, this synthetic system showed significantly higher reaction rate, indicating the advantage of the3D microfluidic technology in micro chemical engineering. 展开更多
关键词 Automated synthesis Femtosecond laser micromachining MICROFLUIDICS MRI imaging uv–vis absorption spectrum
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基于紫外激光微加工的微型可变辐射器(英文)
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作者 曹生珠 王熙元 +2 位作者 韩闯 杨建平 陈学康 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第S2期38-40,共3页
微型星用热开关辐射器因其辐射能力可根据需要主动调节,整体采用薄膜和微结构制造,具有轻小、低功耗等的特点,非常适合于微/纳卫星热控应用。国外同类器件主要采用硅工艺制作,由于材料和工艺限制,器件热性能较差。本文提出了一种基于紫... 微型星用热开关辐射器因其辐射能力可根据需要主动调节,整体采用薄膜和微结构制造,具有轻小、低功耗等的特点,非常适合于微/纳卫星热控应用。国外同类器件主要采用硅工艺制作,由于材料和工艺限制,器件热性能较差。本文提出了一种基于紫外激光微加工技术、采用聚酰亚胺作为结构材料的微型星用热开关辐射器,介绍了器件的工作原理,对器件结构和热性能进行了理论分析,确定了影响器件性能的主要因素。然后采用紫外激光微加工、浸渍提拉法和磁控溅射薄膜沉积等技术制作了微型热开关辐射器样件,并进行了驱动电压和性能测试。测试结果表明,样件驱动电压为97 V,辐射功率调节量约为0.1 W。最后对测试结果进行了分析讨论。 展开更多
关键词 热开关 微型可变辐射器 激光微加工
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