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A New Method for the Ultra-smooth Machining of the Silicon Based Materials
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作者 王波 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2009年第S1期244-246,共3页
A New method,named atmospheric pressure plasma polishing,for the ultra-smooth machining of the silicon based materials is introduced.By inputting the CF4 gas into the atmospheric pressure plasma flame,high density rea... A New method,named atmospheric pressure plasma polishing,for the ultra-smooth machining of the silicon based materials is introduced.By inputting the CF4 gas into the atmospheric pressure plasma flame,high density reactive radicals will be generated,which will then react with the silicon based materials.The reaction product is the vaporization of the SiF4,which can be easily processed.In this way,the atomic scale material removal can be realized and the defect free ultra-smooth surface can be obtained.An experimental setup is built up,and the SiC polishing experiment is carried out.The AFM test result shows that the finished surface roughness (Ra) can be improved from 4.529 nm to 0.926 nm in 3 minutes. 展开更多
关键词 atmospheric pressure plasma silicon based materials ultra-smooth
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水风光储一体化系统中储能平抑出力波动效果评价研究
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作者 任岩 侯尚辰 +2 位作者 郑源 张锴 邢新阳 《水电与抽水蓄能》 2024年第2期18-23,26,共7页
随着新型电力系统的发展,风能、光能等高比例新能源的联网运行是实现其大规模开发利用重要途径,也是在双碳政策背景下节能减排的重要方式。由于风电和光伏出力具有极强的随机性与不可控性,高比例的风电与光伏接入电网势必会产生巨大的波... 随着新型电力系统的发展,风能、光能等高比例新能源的联网运行是实现其大规模开发利用重要途径,也是在双碳政策背景下节能减排的重要方式。由于风电和光伏出力具有极强的随机性与不可控性,高比例的风电与光伏接入电网势必会产生巨大的波动,从而降低电能质量,给电网运行带来许多不便。如何既能高比例地消纳风电与光伏,又能尽量减少其并网产生的不利影响成为一项重要课题。本文建立了风电、光伏及水电的出力模型,分析了不同情景下的出力特点与趋势,根据其出力的强不确定性、间歇性与周期性的特点,计算不同组合方式下的组合能源系统出力数据并对比分析。以某水电站为例,建立以水电调节为主的水风光发电系统,并在其中加入超短期储能装置,研究发现此组合能源出力系统可以很好地平抑出力波动并达到出力最高,且经济效益良好。 展开更多
关键词 水风光储互补系统 超短期储能 出力特性 出力波动 平抑效果
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Application of atmospheric pressure plasma polishing method in machining of silicon ultra-smooth surfaces 被引量:3
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作者 Jufan ZHANG Bo WANG Shen DONG 《Frontiers of Electrical and Electronic Engineering in China》 CSCD 2008年第4期480-487,共8页
The modern optics industry demands rigorous surface quality with minimum defects,which presents challenges to optics machining technologies.There are always certain defects on the final surfaces of the compo-nents for... The modern optics industry demands rigorous surface quality with minimum defects,which presents challenges to optics machining technologies.There are always certain defects on the final surfaces of the compo-nents formed in conventional contacting machining proc-esses,such as micro-cracks,lattice disturbances,etc.It is especially serious for hard-brittle functional materials,such as crystals,glass and ceramics because of their special characteristics.To solve these problems,the atmospheric pressure plasma polishing(APPP)method is developed.It utilizes chemical reactions between reactive plasma and surface atoms to perform atom-scale material removal.Since the machining process is chemical in nature,APPP avoids the surface/subsurface defects mentioned above.As the key component,a capacitance coupled radio-fre-quency plasma torch is first introduced.In initial opera-tions,silicon wafers were machined as samples.Before applying operations,both the temperature distribution on the work-piece surface and the spatial gas diffusion in the machining process were studied qualitatively by finite element analysis.Then the following temperature measurement experiments demonstrate the formation of the temperature gradient on the wafer surface predicted by the theoretical analysis and indicated a peak temper-ature about 90uC in the center.By using commercialized form talysurf,the machined surface was detected and the result shows regular removal profile that corresponds well to the flow field model.Moreover,the removal profile also indicates a 32 mm^(3)/min removal rate.By using atomic force microscopy(AFM),the surface roughness was also measured and the result demonstrates an Ra 0.6 nm surface roughness.Then the element composition of the machined surface was detected and analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)technology.The results also demonstrate the occurrence of the anticipated main reactions.All the experiments have proved that this atmospheric pressure plasma polishing method has the potential to achieve the manufacture of high quality optical surfaces. 展开更多
关键词 atmospheric pressure plasma ultra-smooth surface single crystal silicon capacitance coupled polish-ing
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Ultra-smooth CsPbI_(2)Br film via programmable crystallization process for high-efficiency inorganic perovskite solar cells
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作者 Fu Zhang Zhu Ma +9 位作者 Taotao Hua Rui Liu Qiaofeng Wu Yu Yue Hua Zhang Zheng Xiao Meng Zhang Wenfeng Zhang Xin Chen Hua Yu 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第7期150-156,共7页
CsPbI_(2)Br is an ideal inorganic perovskite material with a reasonable bandgap for solar cell applications because of its advantage of superior thermal and phase stability. However, the performance of CsPbI2Br based ... CsPbI_(2)Br is an ideal inorganic perovskite material with a reasonable bandgap for solar cell applications because of its advantage of superior thermal and phase stability. However, the performance of CsPbI2Br based solar cells highly relied on the perovskite crystallization process along with the interfacial contact engineering process between CsPbI_(2)Br perovskite and charge-transporting layers. In this work, a programmable crystallization method is developed to obtain ultra-smooth CsPbI_(2)Br perovskite film with a well-engineered contact interface in perovskite solar cells. This method combines a pre-stand-by process with a programmable gradient thermal engineering process, which mediates the crystal growth dynamics process of CsPbI2Br perovskite by controlling the release of dimethyl sulfoxide(DMSO) from its coordinates with the perovskite film, leading to high-quality CsPbI_(2)Br film with large-scale crystalline grains, reduced surface roughness, and low trap density. Fabricated perovskite devices based on CsPbI_(2)Br film obtained by this method deliver power conversion efficiency of 14.55 %;meanwhile, the encapsulated CsPbI_(2)Br perovskite device achieves a maximum efficiency of 15.07 %. This decent solar conversion efficiency demonstrates the effectiveness of the programmable crystallization method used in this work,which shows great potential as a universal approach in obtaining high-quality CsPbI_(2)Br perovskite films for fabricating high-efficiency inorganic perovskite solar cells. 展开更多
关键词 CsPbI_(2)Br ultra-smooth morphology Interface Crystallization Inorganic perovskites
原文传递
Numerical simulation of materials-oriented ultra-precision diamond cutting:review and outlook 被引量:1
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作者 Liang Zhao Junjie Zhang +3 位作者 Jianguo Zhang Houfu Dai Alexander Hartmaier Tao Sun 《International Journal of Extreme Manufacturing》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第2期1-21,共21页
Ultra-precision diamond cutting is a promising machining technique for realizing ultra-smooth surface of different kinds of materials.While fundamental understanding of the impact of workpiece material properties on c... Ultra-precision diamond cutting is a promising machining technique for realizing ultra-smooth surface of different kinds of materials.While fundamental understanding of the impact of workpiece material properties on cutting mechanisms is crucial for promoting the capability of the machining technique,numerical simulation methods at different length and time scales act as important supplements to experimental investigations.In this work,we present a compact review on recent advancements in the numerical simulations of material-oriented diamond cutting,in which representative machining phenomena are systematically summarized and discussed by multiscale simulations such as molecular dynamics simulation and finite element simulation:the anisotropy cutting behavior of polycrystalline material,the thermo-mechanical coupling tool-chip friction states,the synergetic cutting responses of individual phase in composite materials,and the impact of various external energetic fields on cutting processes.In particular,the novel physics-based numerical models,which involve the high precision constitutive law associated with heterogeneous deformation behavior,the thermo-mechanical coupling algorithm associated with tool-chip friction,the configurations of individual phases in line with real microstructural characteristics of composite materials,and the integration of external energetic fields into cutting models,are highlighted.Finally,insights into the future development of advanced numerical simulation techniques for diamond cutting of advanced structured materials are also provided.The aspects reported in this review present guidelines for the numerical simulations of ultra-precision mechanical machining responses for a variety of materials. 展开更多
关键词 diamond cutting ultra-smooth surface material-oriented physics-based simulation model molecular dynamics finite element
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空间引力波探测系统中超光滑光学元件表面散射特性分析 被引量:4
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作者 张耘豪 钟哲强 张彬 《光电工程》 CSCD 北大核心 2023年第11期86-96,共11页
在引力波探测系统中,超光滑光学元件表面散射特性对高精度引力波测量至关重要。本文针对超光滑光学元件,建立了一种能快速准确地分析和预测其表面散射特性的非傍轴标量散射模型Generalized Beckmann-Kirchhoff(GBK)。在此基础上,研究了... 在引力波探测系统中,超光滑光学元件表面散射特性对高精度引力波测量至关重要。本文针对超光滑光学元件,建立了一种能快速准确地分析和预测其表面散射特性的非傍轴标量散射模型Generalized Beckmann-Kirchhoff(GBK)。在此基础上,研究了入射角度、散射方位角对P偏振和S偏振入射光的角分辨散射分布的影响,以及入射角度、散射方位角、自相关长度、斜率、截止频率以及表面粗糙度等因素对不同表面统计分布特征下的角分辨散射分布的影响。研究结果可为引力波探测系统中超光滑光学元件的加工、系统杂散光的产生及抑制等提供参考。 展开更多
关键词 超光滑光学元件 表面散射模型 偏振散射特性 角分辨散射分布
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碳化硅晶片的超精密抛光工艺 被引量:1
7
作者 甘琨 刘彦利 +1 位作者 史健玮 胡北辰 《电子工艺技术》 2023年第2期51-54,共4页
使用化学机械抛光(CMP)方法对碳化硅晶片进行了超精密抛光试验,探究了滴液速率、抛光头转速、抛光压力、抛光时长及晶片吸附方式等工艺参数对晶片表面粗糙度的影响,并对工艺参数进行了优化,最终得到了表面粗糙度低于0.1 nm的原子级光滑... 使用化学机械抛光(CMP)方法对碳化硅晶片进行了超精密抛光试验,探究了滴液速率、抛光头转速、抛光压力、抛光时长及晶片吸附方式等工艺参数对晶片表面粗糙度的影响,并对工艺参数进行了优化,最终得到了表面粗糙度低于0.1 nm的原子级光滑碳化硅晶片。 展开更多
关键词 碳化硅晶片 超精密抛光 表面粗糙度
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环境友好型防污涂料的研究进展
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作者 李志高 韩旭 马少华 《涂料工业》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期36-41,52,共7页
防污涂料以其适用范围广泛、性价比高等特点是当前主流的防污方法。其中基于有机硅弹性体的污损脱附型涂层具有环境友好和性能稳定等优点,应用前景广阔,但机械性能差、静态防污性能不足限制了其应用。对此国内外科技工作者进行了大量改... 防污涂料以其适用范围广泛、性价比高等特点是当前主流的防污方法。其中基于有机硅弹性体的污损脱附型涂层具有环境友好和性能稳定等优点,应用前景广阔,但机械性能差、静态防污性能不足限制了其应用。对此国内外科技工作者进行了大量改性研究,包括共混/接枝两亲性添加剂、防污剂、自修复技术等,提高了有机硅涂层的综合性能。文中综述了几种环境友好型防污涂料包括以抗血栓为聚合物的无毒自更新防污涂料、仿生防污涂料和有机硅弹性体污损释放型防污涂料的研究现状及其优缺点,并对已经商业化产品进行了分析,结合仿生防污技术的灵感,为海洋防污涂层环境友好化提供了一些新的视野。 展开更多
关键词 海洋污损 环境友好型防污涂料 污损释放型 有机硅基涂层 超滑涂层 自更新表面 仿生防污
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超光滑表面抛光技术 被引量:29
9
作者 陈杨 陈建清 陈志刚 《江苏大学学报(自然科学版)》 EI CAS 2003年第5期55-59,共5页
超光滑表面抛光技术是超精密加工体系的一个重要组成部分,超光滑表面在国防和民用等领域都有着广泛的应用 文中介绍了超光滑表面的物理特征和应用,并根据抛光过程中工件与抛光盘之间的接触状态,将各种抛光方法分为直接接触、准接触和非... 超光滑表面抛光技术是超精密加工体系的一个重要组成部分,超光滑表面在国防和民用等领域都有着广泛的应用 文中介绍了超光滑表面的物理特征和应用,并根据抛光过程中工件与抛光盘之间的接触状态,将各种抛光方法分为直接接触、准接触和非接触3类,对每一种抛光方法作了总体的描述,详细地介绍了近年来发展的激光抛光技术和化学机械抛光技术及其超光滑表面抛光的加工机理。 展开更多
关键词 抛光 超光滑表面 机理 评价
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蓝宝石基片的磁流变化学抛光试验研究 被引量:13
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作者 尹韶辉 王永强 +3 位作者 李叶鹏 康仁科 陈逢军 胡天 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期80-87,共8页
分析了磁流变化学抛光的加工机理,对蓝宝石基片的磁流变化学抛光进行了试验研究。结果表明:磁流变化学抛光可将蓝宝石基片加工到亚纳米级粗糙度的超光滑镜面,材料去除率受化学反应速率和剪切去除作用共同影响,化学反应速率越快,剪切去... 分析了磁流变化学抛光的加工机理,对蓝宝石基片的磁流变化学抛光进行了试验研究。结果表明:磁流变化学抛光可将蓝宝石基片加工到亚纳米级粗糙度的超光滑镜面,材料去除率受化学反应速率和剪切去除作用共同影响,化学反应速率越快,剪切去除作用越强,材料去除率越高;混有硅胶溶液与α-Al2O3磨料的磁流变化学抛光液去除率最高;材料去除率随工作间隙,励磁间隙以及加工时间的增大而减少,随铁粉浓度减少而减少;利用磁流变化学抛光方法加工蓝宝石基片可获得Ra 0.3 nm的超光滑表面。 展开更多
关键词 蓝宝石基片 磁流变化学抛光 材料去除率 超光滑镜面
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超光滑表面加工技术研究进展 被引量:16
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作者 文东辉 周海锋 +1 位作者 徐钉 朴钟宇 《机电工程》 CAS 2015年第5期579-584,共6页
针对如何高效稳定地获得粗糙度值小、少无亚表面损伤、低成本的超光滑表面的问题,分析了原子级超光滑表面加工技术的加工原理,详细阐述了几类非接触式抛光方法的加工原理及国内外最新研究进展,并着重论述了声悬浮抛光和磨料水射流抛光... 针对如何高效稳定地获得粗糙度值小、少无亚表面损伤、低成本的超光滑表面的问题,分析了原子级超光滑表面加工技术的加工原理,详细阐述了几类非接触式抛光方法的加工原理及国内外最新研究进展,并着重论述了声悬浮抛光和磨料水射流抛光的研究现状。接着,在此基础上对这几类加工方法各方面的优缺点进行了对比总结。最后,针对目前超光滑表面加工技术存在的不足,指出了超光滑表面加工技术有待进一步研究的方向。研究结果表明,采用非接触式的抛光方法,对加工过程加以合理的控制,可大大降低工件表面粗糙度,改善亚表面的损伤情况;目前非接触式抛光普遍对抛光设备精度要求较高,减少加工成本是超光滑表面加工技术进行大规模推广的迫切要求。 展开更多
关键词 研究进展 超光滑表面 非接触式抛光 表面粗糙度 亚表面损伤
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离子束倾斜入射抛光对表面粗糙度的影响 被引量:9
12
作者 舒谊 周林 +2 位作者 解旭辉 廖文林 李圣怡 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第4期365-368,共4页
基于光学元件离子束高精度确定性抛光技术,在自行研制的离子束抛光机床上,本文研究了离子束倾斜入射抛光对光学材料熔石英表面粗糙度的影响.为了在离子束抛光中改善表面粗糙度,采用了0°~80°之间不同入射角度的离子束倾斜抛... 基于光学元件离子束高精度确定性抛光技术,在自行研制的离子束抛光机床上,本文研究了离子束倾斜入射抛光对光学材料熔石英表面粗糙度的影响.为了在离子束抛光中改善表面粗糙度,采用了0°~80°之间不同入射角度的离子束倾斜抛光和倾斜45°入射均匀去除两种实验方案进行研究,其中不同入射角度抛光实验研究结果表明:离子束垂直入射抛光较难改善表面粗糙度,倾斜入射抛光可以较好地改善表面粗糙度,入射角为30°~60°之间时抛光效果最佳,表面粗糙度得到明显改善;倾斜45°入射均匀去除抛光实验结果表明表面粗糙度的RMS值由抛光前(0.92±0.06)nm下降到(0.48±0.04)nm,提高了光学零件的表面质量,验证了离子束倾斜入射抛光可以较好地改善表面粗糙度,实现了离子束倾斜抛光超光滑表面的生成. 展开更多
关键词 离子束抛光 倾斜入射 熔石英 表面粗糙度 超光滑表面
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大气等离子体抛光技术在超光滑硅表面加工中的应用 被引量:18
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作者 张巨帆 王波 董申 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1749-1755,共7页
发展了大气等离子体抛光方法,并用于超光滑表面加工。该技术基于低温等离子体化学反应来实现原子级的材料去除,避免了表层和亚表层损伤。运用原子发射光谱法证明了活性反应原子的有效激发,进而揭示了特定激发态原子对应的电子跃迁轨道... 发展了大气等离子体抛光方法,并用于超光滑表面加工。该技术基于低温等离子体化学反应来实现原子级的材料去除,避免了表层和亚表层损伤。运用原子发射光谱法证明了活性反应原子的有效激发,进而揭示了特定激发态原子对应的电子跃迁轨道。在针对单晶硅片的加工实验中,应用有限元分析法在理论上对加工过程中的空间气体流场分布和样品表面温度分布进行了定性分析。后续的温度检测实验证实了样品表面温度梯度的形成,并表明样品表面最高温度仅为90℃。材料去除轮廓检测结果符合空间流场的理论分布模型,加工速率约为32 mm3/min。利用原子力显微镜对表面粗糙度进行测量,证实了加工后样品表面在一定范围内表面粗糙度Ra=0.6 nm。最后,利用X射线光电子谱法研究了该方法对加工后表面材料化学成分的影响。实验和检测结果均表明,该抛光方法可以进行常压条件下的超光滑表面无损抛光加工,实现了高质量光学表面的无损抛光加工。 展开更多
关键词 大气等离子体抛光法 超光滑表面 单晶硅 电容耦合
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超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究 被引量:14
14
作者 童晓蕾 李玉和 +1 位作者 林浩山 祁鑫 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2009年第12期65-69,共5页
超精表面检测技术已成为超精密测量技术重要组成部分。本文提出了一种超精表面三维形貌的相移干涉显微检测方法。检测系统引入偏振分光棱镜,建立相移检偏干涉与三维形貌重构模型,采用四帧相移与轮廓中线法进行相位与粗糙度参数计算。编... 超精表面检测技术已成为超精密测量技术重要组成部分。本文提出了一种超精表面三维形貌的相移干涉显微检测方法。检测系统引入偏振分光棱镜,建立相移检偏干涉与三维形貌重构模型,采用四帧相移与轮廓中线法进行相位与粗糙度参数计算。编制图像处理与系统测试软件,并对标准样品进行实验,结果表明:样品粗糙度重复测量精度达2.8nm,测试系统具有抗干扰能力强、稳定性好等特点。 展开更多
关键词 相移干涉 粗糙度 三维形貌 超精表面
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基于超级电容器–蓄电池复合储能的直驱风力发电系统的功率控制策略(英文) 被引量:31
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作者 张坤 黎春湦 +4 位作者 毛承雄 陆继明 王丹 曾杰 陈迅 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第25期99-108,15,共10页
随着风力发电的电网渗透率的增加,风电系统与电网之间的相互影响也越来越大。风电系统输出功率的波动性和间歇性对电网的电能质量及其稳定性将产生较大影响;与此同时,电网故障也会给风电系统带来一系列的暂态过程,甚至会危及到风电系统... 随着风力发电的电网渗透率的增加,风电系统与电网之间的相互影响也越来越大。风电系统输出功率的波动性和间歇性对电网的电能质量及其稳定性将产生较大影响;与此同时,电网故障也会给风电系统带来一系列的暂态过程,甚至会危及到风电系统的安全运行。该文基于超级电容器和蓄电池在技术性能上具有较强的互补性以及并网永磁直驱风力发电系统的运行特点,提出一种综合控制策略,在使风电系统输出较为平滑的功率的同时,还具有较强的低电压穿越能力,使风电系统基本不受电网故障的影响。仿真结果证明了所提控制策略的正确性和有效性。 展开更多
关键词 风电系统 直驱型 蓄电池 超级电容器 功率平抑 低电压穿越
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四频差动激光陀螺法拉第旋光片的加工 被引量:7
16
作者 金世龙 李晓红 +1 位作者 杨开勇 刘贱平 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期22-25,共4页
根据四频差动激光陀螺对法拉第旋光片的两个通光面都必须是超光滑表面且有一定夹角的使用要求,针对传统工艺必须采用光胶上盘法所带来的不利因素,提出了一种新的工艺。通过将数百个法拉第旋光片毛坯作为一个整体粘胶上盘并进行加工的方... 根据四频差动激光陀螺对法拉第旋光片的两个通光面都必须是超光滑表面且有一定夹角的使用要求,针对传统工艺必须采用光胶上盘法所带来的不利因素,提出了一种新的工艺。通过将数百个法拉第旋光片毛坯作为一个整体粘胶上盘并进行加工的方法,不仅使法拉第旋光片两通光面之间的夹角得到了很好的保证,而且还避免了光胶上盘对通光表面可能造成的损伤,最后使旋光片的两个通光面的表面质量同时得到了保证,从而使产品合格率大大提高(一盘数百个零件,两个通光表面的表面粗糙度同时优于0.08 nm(rms值)的合格率有时可达80%以上),解决了四频激光陀螺批量化生产中的一大制约因素。 展开更多
关键词 四频激光陀螺 法拉第旋光片 超光滑表面
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液流悬浮超光滑加工中流体动压力对加工效果的影响 被引量:5
17
作者 曹志强 詹建明 +1 位作者 朱崇涛 赵继 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1069-1074,共6页
建立了基于数控装备的液流悬浮超光滑加工系统,研制了可控制加工压力的柔顺加工装置。应用流体动压理论分析了液流悬浮超光滑加工过程中的流体动压力分布规律,研究了工具转速和加工间隙对流体动压力的影响规律,并通过实验得到了加工... 建立了基于数控装备的液流悬浮超光滑加工系统,研制了可控制加工压力的柔顺加工装置。应用流体动压理论分析了液流悬浮超光滑加工过程中的流体动压力分布规律,研究了工具转速和加工间隙对流体动压力的影响规律,并通过实验得到了加工间隙和流体动压力对加工效果的影响规律。结果表明,随着工具转速的提高,流体动压力逐步增大,在工具转速为6000r/min左右时,流体动压力达到最大值,然后又逐渐减小。随着加工间隙的增大,流体动压力逐步降低,并最终趋于稳定。加工间隙在5~40μm时,加工效果比较明显。在工具转速为6000r/min左右、加工间隙在10μm附近时,流体动压力增强为5N左右,加工效果最佳。 展开更多
关键词 超光滑加工 液流悬浮 流体动压力 加工效果
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超光滑表面加工技术的发展及应用 被引量:8
18
作者 于兆勤 杨忠高 +2 位作者 黄志刚 黄小舟 郭钟宁 《机床与液压》 北大核心 2007年第6期217-220,共4页
超光滑表面加工技术是超精密加工体系的一个重要组成部分,超光滑表面在国防和民用等领域都有着广泛的应用。本文针对超光滑表面的需求,介绍了超光滑表面制造技术的发展过程,对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价,最后提... 超光滑表面加工技术是超精密加工体系的一个重要组成部分,超光滑表面在国防和民用等领域都有着广泛的应用。本文针对超光滑表面的需求,介绍了超光滑表面制造技术的发展过程,对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价,最后提出了一种基于流体二维振动的超光滑表面加工技术,为超光滑表面的加工提供了新的方法。 展开更多
关键词 抛光 超光滑表面 超声振动 超精密加工
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反应烧结碳化硅反射镜表面改性技术 被引量:8
19
作者 徐领娣 张学军 王旭 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期120-124,共5页
为了解决新型优质光学材料—反应烧结碳化硅(RB-SiC)由SiC和Si两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了反射镜表面改性方案并且从加工工艺的角度介绍了改性工艺流程。以空间反射镜的使用环境为依据,对几种适用的RB-SiC改性材料进行了较... 为了解决新型优质光学材料—反应烧结碳化硅(RB-SiC)由SiC和Si两相结构引起的光学表面缺陷问题,提出了反射镜表面改性方案并且从加工工艺的角度介绍了改性工艺流程。以空间反射镜的使用环境为依据,对几种适用的RB-SiC改性材料进行了较为全面的分析比较。本文采用新的离子辅助沉积碳化硅(IAD-SiC)材料为改性层,对改性层的表面形貌及部分性能进行了测试,证明IAD-SiC膜层能够满足改性要求。在厚度为(6±0.5)μm的IAD-SiC膜层表面进行了一系列抛光工艺实验,文中给出了超光滑表面抛光工艺参数和实验结果。对改性层进行精抛光后,100mm口径样片的面形精度为0.033λRMS(λ=632.8nm),表面粗糙度优于0.5nmRMS。结果表明,本方法不仅可以很大程度提高元件表面质量,还可以进一步精修面形,为超光滑、低散射RB-SiC反射镜的加工提供了一条可行途径。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 表面改性 表面粗糙度 离子辅助沉积碳化硅 超光滑表面
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TiO_2纳米颗粒在单晶硅表面的吸附 被引量:5
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作者 宋孝宗 高贵 +2 位作者 周有欣 王宏刚 龚俊 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1694-1702,共9页
为了实现亚纳米级超光滑表面的加工,建立了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工系统,同时研究了加工过程中纳米颗粒与工件表面间的相互作用机理。首先,对实验所用锐钛矿TiO_2纳米颗粒及单晶硅工件表面进行表征测量。然后,用第一性原理的平... 为了实现亚纳米级超光滑表面的加工,建立了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工系统,同时研究了加工过程中纳米颗粒与工件表面间的相互作用机理。首先,对实验所用锐钛矿TiO_2纳米颗粒及单晶硅工件表面进行表征测量。然后,用第一性原理的平面波赝势计算方法研究了纳米颗粒胶体射流加工中TiO_2分子团簇在单晶硅表面化学吸附的表面构型结构及其体系能量。最后,开展了TiO_2纳米颗粒及单晶硅工件表面间的吸附实验。实验结果表明:胶体中的OH基团在TiO_2团簇表面及单晶硅表面分别发生化学吸附,在TiO_2纳米颗粒及单晶硅表面吸附过程中形成了新的Ti-O-Si键及化学吸附的H_2O分子。红外光谱实验结果显示:TiO_2纳米颗粒与单晶硅界面间存在新生成的Ti-O-Si键。这种界面间的相互作用证实了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流抛光过程可实现材料去除的化学作用机理。 展开更多
关键词 TIO2纳米颗粒 超光滑表面 单晶硅表面 化学吸附 紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工
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