用V(z)曲线分析压电陶瓷表面的声学特性

本文利用超声显微镜技术中的V(z)曲线,无损伤地测量了压电陶瓷表面上不同点声表面波(瑞利波)速度,定量地分析了陶瓷的一致性。同时又根据V(z)曲线中周期的起伏,定性地给出了表面颗粒均匀性及缺陷存在的可能性。文中给出了几种不同陶瓷材料的实验数据及分析结果,并简单地描述了V(z)曲线的理论与声表面波(瑞利波)速度的计算公式、测试方法。