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VAD等离子体中宏观粒子的悬浮电位
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作者 何俊佳 邹积岩 程礼椿 《微细加工技术》 1997年第2期65-70,共6页
由阴极过程主导的VAD等离子体并不满足局部热力学平衡条件,其中的离子表现出非常强的流动性。本文讨论了这种特殊等离子体气氛下孤立宏观颗粒的荷电特性。根据颗粒半径与电子德拜长度的相对大小,分别对薄鞘层情形和厚鞘层情形计算了... 由阴极过程主导的VAD等离子体并不满足局部热力学平衡条件,其中的离子表现出非常强的流动性。本文讨论了这种特殊等离子体气氛下孤立宏观颗粒的荷电特性。根据颗粒半径与电子德拜长度的相对大小,分别对薄鞘层情形和厚鞘层情形计算了宏观颗粒相对于等离子体的平衡电位。 展开更多
关键词 真空电弧涂镀 vad等离子体 悬浮电位
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