VITEK-2 Compact检测奇异变形杆菌、摩根摩根菌、铜绿假单胞菌的部分药敏结果准确性评价

目的探讨VITEK-2 Compact检测奇异变形杆菌、摩根摩根菌和铜绿假单胞菌的部分药敏结果的准确性。方法收集2017年3月~2020年3月临床分离的58株奇异变形杆菌、32株摩根摩根菌和280株铜绿假单胞菌,以纸片扩散法(K-B法)为参考方法,用VITEK 2 Compact AST-GN16药敏卡检测前两种菌对亚胺培南(IPN)的敏感度,用AST-GN09药敏卡检测铜绿假单胞菌对亚胺培南、美罗培南(MEM)和氨曲南(ATM)的敏感度。结果仪器法与K-B法比较,经58株奇异变形杆菌药敏结果显示,其标准符合率(CA)、一般错误率(MIE)、严重错误率(ME)和极严重错误率(VME)分别为3.45%,6.90%,0%和89.66%,两种方法之间的差异有统计学意义(χ2=186.66,P<0.05);32株摩根摩根菌药敏结果显示,其CA,MIE,ME和VME分别为12.5%,6.25%,81.25%和0%,即两种方法之间的差异有统计学意义(χ2=155.56,P<0.05);280株铜绿假单胞菌药敏结果显示,其CA,MIE,ME和VME分别为88.93%,10.71%,0.36%和0%,即IPN两种方法之间的差异有统计学意义(χ2=9.84,P<0.05)。MEM和ATM的两种方法比较,其CA,MIE,ME和VME分别为95.00%,5.00%,0和0;68.57%,27.86%,1.07%和2.5%,即两种方法药敏结果的差异无统计学意义(χ2=4.58,0.78,P>0.05)。两种方法检测的分类一致性中,只有MEM结果差异无统计学意义(χ2=5.12,P>0.05),其它均有统计学意义(χ2=11.72~186.68,均P<0.05)。结论用VITEK-2 Compact AST-GN09检测铜绿假单胞菌对MEM敏感度结果可靠,无需验证,而对IPN和ATM的敏感度结果不可靠,需验证;VITEK-2 Compact AST-GN16检测奇异变形杆菌和摩根摩根菌的IPN敏感度结果也存在不同程度的差异,在工作中需采用K-B法进行补充修正,以便更加准确的指导临床用药。

VITEK-2 Compact AST-GN16检测鲍曼不动杆菌对阿米卡星和哌拉西林-他唑巴坦药敏结果的准确性评价

目的探讨VITEK-2 Compact AST-GN16检测鲍曼不动杆菌对阿米卡星(AK)和哌拉西林-他唑巴坦(TZP)药敏结果的准确性。方法收集2017年5月～2018年5月临床分离的100株鲍曼不动杆菌,分别采用E-test法,纸片扩散法(K-B法)和VITEK 2 Compact AST-GN16药敏卡检测分离菌株对AK和TZP的敏感性。结果 100株鲍曼不动杆菌中,有20株对IPM敏感,80株对IPM耐药。对IPM敏感的鲍曼不动杆菌,3种方法检测的AK和TZP敏感性结果一致,均为敏感,差异无统计学意义(P<0.05)。对80株耐IPM的鲍曼不动杆菌,AK药敏结果显示:E-test法结果共有48株耐药,3株中介,29株敏感;K-B法结果有78株与E-test法结果一致,另外2株耐药;有35株3种方法结果一致,45株VITEK法为敏感或中介,而其它两种方法均为耐药。E-test法和K-B法标准符合率(CA)为97.5%,VITEK法与E-test法CA为11.25%,一般错误率为2.5%,严重错误率为1.25%,极严重错误率为17.5%。TZP药敏结果显示:E-test法和K-B法结果完全一致,均为耐药;VITEK法有75株耐药,5株中介。E-test法和K-B法CA为100%,VITEK法与E-test法CA为93.75%,一般错误率为6.25%。结论 VITEK-2 Compact AST-GN16检测IPM敏感鲍曼不动杆菌对AK和TZP敏感性结果可靠,无需验证;但检测耐IPM鲍曼不动杆菌对AK和TZP的敏感性时,会出现不同程度的错误结果,在工作中需采用E-test法或K-B法进行验证。

VITEK-2 Compact高级专家系统对葡萄球菌属红霉素诱导克林霉素耐药推导结果准确性评价

目的通过VITEK-2 Compact全自动微生物鉴定及药敏仪对葡萄球菌属红霉素对克林霉素诱导耐药的检测,与CLSI推荐的D-test法比较,最终通过聚合酶链反应(PCR)方法检测诱导耐药基因予以确认,对耐药检测情况进行评价。方法同一株葡萄球菌属细菌同时通过VITEK-2 Compact GP AST-卡以及按临床实验室标准化协会推荐的纸片扩散方法测定并判读,葡萄球菌属D-test测定红霉素对克林霉素的诱导耐药表型,对结果进行比较,两者结果不符合者,最终通过聚合酶链反应(PCR)方法检测诱导耐药基因予以确认。结果共检测葡萄球菌属细菌111株,两者结论符合者103株,不符合者8株。经PCR方法验证,纸片扩散法结果与PCR方法符合。其中2株经纸片法测定为阳性,VITEK-2检测后结果为阴性,约1.8%(2/111);6株经纸片法测定为阴性,VITEK-2检测后结果为阳性,约5.4%(6/111)。结论该仪器对检测葡萄球菌属对红霉素诱导克林霉素耐药准确率约为92.8%,假阳性率约为5.4%,假阴性率约为1.8%。根据风险最低原则,该仪器可能造成约2%的葡萄球菌属细菌红霉素诱导克林霉素耐药漏检。

VITEK-2 compact全自动微生物鉴定仪对葡萄球菌鉴定能力的评价

目的评价VITEK-2 compact全自动微生物鉴定仪对葡萄球菌的鉴定能力。方法收集从我院病人标本中分离的葡萄球菌81株。常规细菌培养后,用VITEK-2 compact和API Staph系统进行检测,以API Staph系统为参照,评价VITEK-2 compact的优势和不足。结果 VITEK-2 compact和API Staph系统的总体鉴定符合率为95.1%,其中金黄色葡萄球菌的鉴定符合率为100%,凝固酶阴性葡萄球菌的鉴定符合率为90.5%。结论 VITEK-2 compact鉴定系统能够满足临床工作的需求,其中对金黄色葡萄球菌的鉴定率较高,在进行凝固酶阴性葡萄球菌鉴定时有一定的局限性,需要其他方法予以补充。

VITEK-2 Compact全自动细菌鉴定仪直接鉴定BACTEC 9120血培养阳性标本的临床应用

目的利用VITEK-2 Compact全自动细菌鉴定仪对BACTEC 9120血培养阳性标本进行直接菌种鉴定,并将结果与传统检测方法相比较,以探讨快速获得阳性血培养结果的可行性。方法共收集60例单细菌血培养阳性标本,其中36例为革兰阴性杆菌,24例为革兰阳性球菌。应用VITEK-2 Compact全自动细菌鉴定仪对血培养阳性标本进行直接鉴定,同时与传统操作方法结果相比较。结果血培养阳性标本直接经VITEK-2 Compact全自动细菌鉴定仪鉴定后,97.2%的革兰阴性杆菌和75.0%的革兰阳性球菌与传统操作方法所得鉴定结果相一致。结论在直接鉴定革兰阴性杆菌血培养阳性标本时,应用VITEK-2 Compact全自动细菌鉴定仪进行鉴定是可行的,但在鉴定革兰阳性球菌时可靠性稍差。该方法在一定程度上可以有效缩短获得血培养结果的周期,对指导临床治疗起到积极的作用。

聚合酶链式反应法和VITEK-2 compact仪器法检测耐甲氧西林凝固酶阴性葡萄球菌的比较

目的:应用mecA基因聚合酶链式反应(PCR)法和VITEK-2 compact仪器法检测耐甲氧西林凝固酶阴性葡萄球菌,比较仪器法表型检测与PCR法基因型检测的符合性。方法:对97株凝固酶阴性葡萄球菌菌株进行耐药基因mecA扩增,与全自动细菌鉴定及药敏分析系统VITEK-2 compact的结果进行比较。结果:VITEK-2 compact仪器法共检测出76株耐甲氧西林凝固酶阴性葡萄球菌,与mecA基因PCR法的符合率为97.4%(76/78)。2株PCR法检测mecA基因阳性的凝固酶阴性葡萄球菌对苯唑西林敏感。结论:VITEK-2 compact仪器法可以快速、准确地鉴定耐甲氧西林凝固酶阴性葡萄球菌,与PCR法基因型检测符合性高。

Vitek-2 Compact AST-GN13检测耐碳青霉烯鲍曼不动杆菌对左氧氟沙星药敏结果的准确性

目的探讨Vitek-2Compact AST-GN13对耐碳青霉烯鲍曼不动杆菌左氧氟沙星敏感性测定的准确性。方法收集亚胺培南耐药鲍曼不动杆菌50株,以E-Test法为参考方法,分别用Vitek-2Compact AST-GN13药敏卡和纸片扩散(K-B)法对收集菌株进行左氧氟沙星敏感性检测,并评价3种方法结果的符合性。结果共收集亚胺培南耐药鲍曼不动杆菌50株,E-Test法结果显示共有46株最低抑菌浓度(MIC)>256mg/L,4株MIC=4mg/L;K-B法结果与E-Test法结果相符;Vitek-2Compact AST-GN13检测出现不同结果,其中4株菌株为敏感(≤2mg/L),36株为中介(4mg/L),10株为耐药(≥8mg/L)。K-B法与ETest法标准符合率(CA)为100%,Vitek-2Compact与E-Test法CA为20%,一般错误率为72%,严重错误率为8%。结论Vitek-2Compact AST-GN13检测耐碳青霉烯鲍曼不动杆菌对左氧氟沙星的敏感性时,可能会产生错误结果,日常工作中可采用E-Test与K-B法互为替代方法进行试验。

Vitek-2 Compact和MALDI TOF MS对棒状杆菌属细菌鉴定能力评估

目的：评估 VITEK-2 compact微生物鉴定系统、法国生物梅里埃公司及德国 Bruker公司的 MALDI TOF MS对棒状杆菌的鉴定能力。方法学评价研究选择来自法国生物梅里埃公司的棒状杆菌40株，以16S rDNA测序为金标准，分别使用 VITEK-2 compact，VITEK MS及 Bruker MS进行鉴定，对其鉴定率、检测时间及耗材成本作描述性分析。结果 VITEK-2 compact，VITEK MS及Bruker MS正确鉴定至种水平的鉴定率分别为95.0％，88.9％和97.5％，平均检测时间分别为5～6 h，2～3 min和2～3 min，检测耗材成本约为50～70元、15～25元和10～20元。结论三种方法均具有较高的正确鉴定率，能够满足临床的鉴定需要，但 VITEK MS对无植酸棒状杆菌鉴定能力需要进一步提高。

VITEK-2 Compact系统检测葡萄球菌克林霉素诱导性耐药的分析

目的:分析梅里埃VITEK-2 Compact系统检测葡萄球菌红霉素诱导克林霉素耐药的临床可行性,以缩短检测时间,便于临床正确选择抗生素。方法:对本院临床分离出的红霉素耐药、克林霉素敏感的葡萄球菌,采用VITEK-2 Compact分析仪和D试验两种方法检测红霉素诱导克林霉素耐药的阳性发生率,并比较两种方法的符合率,对VITEK-2 Compact仪器法进行评估。结果:通过对两种方法的分析比较:81株葡萄球菌,D试验阳性菌株45株,诱导率为55.6%,VITEK-2 Compact仪器显示克林霉素诱导阳性44株,诱导率为54.3%,两种方法的检测结果无显著差异(χ^(2)=0.012,P>0.05),具有很好的一致性。结论:本试验采用两种方法检测结果比较无显著差异,具有很好的一致性,可在日常工作中使用VITEK-2 Compact自动分析仪检测,平均时间只需6h,不需附加另外试验,精简了检验流程,缩短了检验时间,为临床合理用药提供理论依据。

VITEK■ 2 Compact全自动微生物鉴定药敏分析仪虚拟仿真教学软件的开发与应用

文章主要介绍了VITEK■2 Compact全自动微生物鉴定药敏分析仪虚拟仿真教学软件的设计与开发,以及虚拟仿真融合线上线下混合教学模式在医学微生物检验实验教学中的应用。结果表明,该仿真教学软件的实际应用既有利于培养学生的实践操作能力及思维方式,又能弥补学校实训环境与临床实际不符的缺陷,为微生物检验实验教学质量的提升开辟新的思路。

VITEK-2 Compact检测鲍氏不动杆菌对阿米卡星药敏结果准确性的探讨

目的针对VITEK-2Compact在检测鲍氏不动杆菌对阿米卡星药敏试验中的局限性,利用金标准E-test法探索不同耐药表型和检测结果的相关性,为临床提供更加准确的结果。方法运用VITEK-2Compact AST-GN13药敏卡测定296株鲍氏不动杆菌的药敏试验结果,按耐药表型将所测菌株分为3组即1组仅阿米卡星敏感、2组仅阿米卡星及亚胺培南敏感、3组除阿米卡星及亚胺培南外存在其他被检测药物敏感;每组随机抽取40株用E-test法作为金标准同时进行K-B法测定鲍氏不动杆菌对阿米卡星的敏感性。结果 3组检测鲍氏不动杆菌K-B法和E-test法均一致;1组VITEK-2Compact结果与K-B法及E-test法结果不一致,2组39株不一致、1株一致,3组2株结果不一致、38株结果一致;同时观察到VITEK-2Compact AES专家系统显示耐药表型为野生株的29株3种方法结果一致。结论试验结果证实K-B法及E-test法的结果是一致的,所以VITEK-2Compact用户可以采用K-B法检测鲍氏不动杆菌对阿米卡星的敏感性。

VITEK-2 Compact在食源性致病菌检测中的应用

目的探讨VITEK-2 Compact全自动微生物鉴定系统对致病菌鉴定能力的准确性。方法应用国家标准GB4789中的方法及美国食品药品管理局(FDA)推荐的常规API生化鉴定方法,对从食源性致病菌中检测分离的20株沙门菌、40株单增李斯特菌、30株金黄色葡萄球菌,30株蜡样芽孢杆菌应用VITEK-2 Compact全自动微生物鉴定系统进行复检测。结果 2种鉴定方法的检测结果一致,对4种食源性致病菌的符合率为100%。结论 VITEK-2 Compact全自动微生物鉴定系统对食源性致病菌的鉴定准确、快速、简便,适用于食源性疾病的检测及突发事件的监测。

VITEK-2 Compact仪器法检测葡萄球菌属克林霉素诱导性耐药的评价

目的评价VITEK-2Compact仪器法检测葡萄球菌属克林霉素诱导性耐药的应用价值。方法分别采用VITEK-2Compact仪器法和D试验检测83株金黄色葡萄球菌,52株凝固酶阴性葡萄球菌属的诱导性克林霉素耐药,两种方法的比较采用卡方检验,同时以"D试验"为金标准,计算VITEK-2Compact仪器法的特异性、敏感性、假阳性率、假阴性率。结果经卡方检验,两种方法在检测金黄色葡萄球菌克林霉素诱导性耐药方面具有很好的一致性,特异性为100.0%,敏感性为95.8%,kappa值为0.97,假阴性率为4.2%;两种方法在检测凝固酶阴性葡萄球菌方面结果一致性较好,特异性、敏感性分别为83.3%、100.0%,kappa值为0.435,假阳性率为16.7%。结论 VITEK-2Compact仪器法在检测金黄色葡萄球菌诱导性克林霉素耐药方面与D试验有很好的一致性,但存在假阴性可能;在检测凝固酶阴性葡萄球菌属细菌方面,与D试验有较好的一致性,存在一定的假阳性。

VITEK-2 Compact全自动微生物鉴定仪与VITEK MS质谱仪在摩根摩根菌鉴定中的应用及评价

目的分析研究VITEK-2 Compact全自动微生物鉴定仪与VITEK MS质谱仪在摩根摩根菌鉴定中的应用及对其鉴定结果的准确性做出评价,为临床精准治疗提供科学依据。方法收集2017年1月至2020年5月云南省第三人民医院送检的不同类型标本中分离出的50株摩根摩根菌;常规方法进行菌株培养;采用VITEK-2 Compact全自动微生物鉴定仪,手工生化补充试验和VITEK MS质谱仪对菌株进行菌种鉴定,鉴定结果不一致的菌株采用16S rDNA测序验证。结果共分离出5株β溶血表型和45株非β溶血表型摩根摩根菌;VITEK-2 Compact全自动微生物鉴定仪对非β溶血摩根摩根菌鉴定结果均符合,对β溶血摩根摩根菌鉴定结果均不符合,且均鉴定为奇异变形杆菌,鉴定符合率为90%;手工生化补充试验结果也符合奇异变形杆菌;VITEK MS质谱仪对非β溶血和β溶血摩根摩根菌的鉴定结果均符合,鉴定符合率为100%;16S rDNA测序对鉴定结果不一致的5株β溶血菌的测序结果均为摩根摩根菌。结论 VITEK-2 Compact全自动微生物鉴定仪对非β溶血摩根摩根菌的鉴定结果准确可信;对β溶血摩根摩根菌鉴定结果均不准确,且鉴定为奇异变形杆菌的概率很高;VITEK MS质谱仪对摩根摩根菌的鉴定结果均准确快速且不受细菌β溶血与否影响。

评估纸片扩散法与Vitek-2 Compact仪器法检测洋葱伯克霍尔德菌体外药物敏感性

目的评估纸片扩散法与Vitek-2 Compact仪器法检测洋葱伯克霍尔德菌体外药敏试验的可靠性。方法收集2017年1月至2017年12月绍兴市人民医院临床分离到的34株洋葱伯克霍尔德菌,分别采用纸片扩散法、Vitek-2 Compact仪器法和微量肉汤稀释法检测其对头孢他啶、复方磺胺甲噁唑、左氧氟沙星、哌拉西林/他唑巴坦、替加环素、美罗培南、氯霉素、米诺环素和头孢哌酮/舒巴坦共9种抗菌药物的体外敏感性。以微量肉汤稀释法为参考方法,分别评估纸片扩散法、Vitek-2Compact仪器法与参考方法的分类一致率(CA%)。结果微量肉汤稀释法检测头孢他啶、复方磺胺甲噁唑、左氧氟沙星、美罗培南和氯霉素5种抗菌药物95%可信区间(95%CI)分别为6.2～13.2、0.5～0.8、3.8～6.3、3.7～7.3和5.0～10.0;纸片扩散法检测头孢他啶、复方磺胺甲噁唑、替加环素、氯霉素和米诺环素的体外敏感性结果与参考方法一致率均>90%;Vitek-2 Compact检测头孢他啶、复方磺胺甲噁唑和左氧氟沙星的体外敏感性结果与参考方法的一致率均>90%;纸片扩散法和Vitek-2Compact仪器法检测哌拉西林/他唑巴坦体外敏感性与参考方法一致率最低,均<80%;Vitek-2Compact检测替加环素的大错误(ME)为50%;以微量肉汤稀释法为标准,体外敏感性最好的抗菌药物为复方磺胺甲噁唑和米诺环素(均为100%),敏感性最差的抗菌药物为左氧氟沙星(38.2%)。结论纸片扩散法和Vitek-2 Compact仪器法检测洋葱伯克霍尔德菌体外药物敏感性,对头孢他啶和复方磺胺甲噁唑均具有较好的可靠性;应用纸片扩散法检测哌拉西林/他唑巴坦和头孢哌酮/舒巴坦的药物敏感性时,应注意可能出现极大错误(VME)及ME。

VITEK-2 compact全自动微生物鉴定仪对葡萄球菌鉴定能力的评价

目的:评价VITEK-2 compact全自动微生物鉴定仪对葡萄球菌的鉴定能力。方法:选取2019年10月~2020年4月本院80例患者,收集分离出葡萄球菌80株,分别采用VITEK-2 compact和APIStaph系统进行葡萄球菌的检测,对VITEK-2 compact全自动微生物鉴定仪检测系统应用的优势及不足进行评价。结果:经VITEK-2 compact和APIStaph系统进行检测后,其鉴定率均为100.00%;在葡萄球菌鉴定符合率方面,VITEK-2 compact和APIStaph系统鉴定一致率为96.25%,不一致的为3.75%;VITEK-2 compact和APIStaph系统鉴定后发现,80株葡萄球菌中,金黄色葡萄球菌和凝固酶阴性葡萄球菌分别为39株和41株,39株金黄色葡萄球菌的鉴定符合率为100%,而41株凝固酶阴性葡萄球菌中,鉴定一致率为92.68%,其中3株鉴定不一致。结论:VITEK-2 compact全自动微生物鉴定仪对金黄色葡萄球菌的鉴定能力比较强,但是对凝固酶阴性葡萄球菌的鉴定存在着一定的局限性,临床进行应用时,还需要其他方法辅助鉴定。

VITEK2.Compact对奶牛乳源金黄色葡萄球菌的条件摸索及MRSA检测结果准确性的评价

为探究金黄色葡萄球菌全自动微生物检测平台(VITEK2 Compact)检测条件,及该方法在金黄色葡萄球菌耐药性筛查的准确性及其兽医临床应用价值,以金黄色葡萄球菌ATCC 29213为质控菌株,选取ASTGP79药敏板,参考美国临床实验室标准研究所(CLSI/NCCLS)的《抗生素敏感试验操作标准》(S100-17和M31-A2)中兽医临床抗生素敏感性试验选药原则,通过摸索不同稀释浓度菌液,对照药敏标准,摸索全自动微生物生长分析仪的高通量筛选平台的适用检测条件。将该耐药性筛查方法应用于在奶牛乳汁中分离获得的39株金黄色葡萄球菌,与经典K-B法的耐药性进行比较,以此验证VITEK2 Compact检测金黄色葡萄球菌药敏结果准确性。结果显示,综合考虑检测结果、透光度、重复性等因素,确定了质控菌株的菌液比例为1×10^(8)CFU/mL,且证实了VITEK2 Compact药敏检测方法的结果符合临床折点的判断标准;对39株乳源金黄色葡萄球菌的耐药性检测与K-B法比较,标准符合率(CA):β-内酰胺类为92.30%、氨基糖苷类为93.32%、四环素类为92.30%、磺胺类为94.87%、喹诺酮类为92.30%、大环内酯类为90.59%、林可酰胺类为92.30%、氯霉素类为94.87%;两种检测方法对耐甲氧西林金黄色葡萄球菌(meticillin-resistant Staphylociccus aureus,MRSA)的检出阳性率无统计学差异(P>0.05)。表明了本研究探讨的金黄色葡萄球菌全自动微生物检测平台的药敏检测方法的准确性与可靠性,为该方法应用于金黄色葡萄球菌引起的奶牛乳房炎防治提供了理论依据。

MgO-Nd_(2)Zr_(2)O_(7)复相陶瓷惰性燃料基质的制备及表征

为了获得致密性高、晶粒尺寸小、两相分布均匀的Mg O-Nd_(2)Zr_(2)O_(7)复相陶瓷惰性燃料基质,首先以Nd(NO3)3·6H_(2)O、C_(12)H_(28)O_(4)Zr为原料,采用sol-gel法合成了有序P型Nd_(2)Zr_(2)O_(7)烧绿石,再和Mg O复合制备了Mg O-Nd_(2)Zr_(2)O_(7)复相陶瓷。利用XRD、SEM-EDS等方法研究了化学组成、烧结时间、烧结温度对复相陶瓷的物相组成、晶粒大小以及致密性的影响。结果表明:采用sol-gel法在1200℃煅烧10 h能够成功合成出结晶良好的Nd_(2)Zr_(2)O_(7)烧绿石。此外,在1500℃烧结24 h,可以制备出致密性高、晶粒分布均匀的Mg O-Nd_(2)Zr_(2)O_(7)复相陶瓷。

基于PECVD的SiO_(2)薄膜制备研究进展

二氧化硅(SiO_(2))薄膜因其卓越的光学性能,在半导体器件、集成电路、光学涂层等领域具有巨大的应用潜力。然而,SiO_(2)薄膜制备过程中面临表面粗糙度、杂质控制和致密性等问题。为解决这些问题,研究者们通过工艺改进和表面修饰等手段来提高SiO_(2)薄膜的性能。在众多SiO_(2)薄膜制备技术中,等离子体增强化学气相沉积(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)技术由于沉积SiO_(2)薄膜所需温度低、原位生长等优势,成为制备SiO_(2)薄膜最常用的方法。综述了用PECVD技术制备SiO_(2)薄膜的发展历程,并探讨了关键工艺参数和后处理工艺对薄膜质量的影响。对PECVD技术的深入研究,有助于实现对SiO_(2)薄膜生长的更精准控制,进一步拓展其广泛的应用前景。

4H-SiC衬底上高厚度SiO_(2)薄膜的高温性能研究

采用等离子体增强化学的气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD)工艺在厚度370μm的4H-SiC衬底上生长厚度2μm的SiO_(2)薄膜样品,将样品在大气环境下分别经600℃、700℃、800℃和900℃高温处理1 h,从而研究分析SiO_(2)薄膜高温性能变化机制。研究表明,随着处理温度的提高,SiO_(2)薄膜的晶体形貌由混合的准晶体向单晶转变,薄膜致密性变好。SiO_(2)薄膜样品的处理条件为环境温度800℃、处理时间1 h时,其薄膜断面非晶态较少,中心应力最小,折射率最大,致密性最好。随着温度持续升高,SiO_(2)薄膜的非晶态增多,并出现大量的颗粒聚集,中心应力逐步增大,折射率和致密性稍有降低。