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不同调制周期TiAlN/VN多层膜的微观结构、力学和摩擦性能研究
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作者 陆昆 叶青青 +2 位作者 黄冠楠 郑怡 李友余 《山西师范大学学报(自然科学版)》 2024年第1期59-63,共5页
为了研究调制周期对TiAlN/VN纳米结构多层膜结构和性能的影响,采用射频磁控溅射的方法,制备一系列不同调制周期对TiAlN/VN纳米结构多层膜.分别利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机对薄膜的相... 为了研究调制周期对TiAlN/VN纳米结构多层膜结构和性能的影响,采用射频磁控溅射的方法,制备一系列不同调制周期对TiAlN/VN纳米结构多层膜.分别利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机对薄膜的相结构、截面形貌、硬度和摩擦学性能进行表征.研究结果表明:TiAlN/VN多层膜始终沿(111)面择优生长.随着调制周期的增加,多层膜的硬度表现为先增加后减小,调制周期6 nm时,多层膜硬度最高,为33.12 GPa,分析认为晶格错配引发的交变应力场是多层膜出现“超硬效应”的原因.室温条件下调制周期6 nm时多层膜平均摩擦系数最小,为0.3628;高温635℃时调制周期8 nm对应的多层膜平均摩擦系数最小,为0.2485. 展开更多
关键词 磁控溅射 TiAlN/vn多层膜 硬度 摩擦性能
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回火温度对淬火态S35VN刀具钢组织与性能的影响
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作者 刘一博 董浩 +3 位作者 梁晨 刘少尊 闫英杰 曹睿 《热加工工艺》 北大核心 2024年第15期115-120,共6页
为降低淬火态S35VN刀具钢内的残余应力并提升其综合性能以满足最终使用要求,需对其进行回火处理。通过X射线衍射仪及扫描电子显微镜等研究淬火态S35VN钢分别经过180、200、220℃回火处理后物相、显微组织的差异及其对合金硬度、拉伸性... 为降低淬火态S35VN刀具钢内的残余应力并提升其综合性能以满足最终使用要求,需对其进行回火处理。通过X射线衍射仪及扫描电子显微镜等研究淬火态S35VN钢分别经过180、200、220℃回火处理后物相、显微组织的差异及其对合金硬度、拉伸性能及耐腐蚀性能的影响。结果表明:3种温度回火后S35VN钢的基体均以马氏体为主,混合少量残余奥氏体,碳化物类型均以M7C3为主,含有少量M23C6和MC;合金的硬度下降,强度、塑性提升,180℃回火后硬度均值为56.5 HRC,抗拉强度均值为1844 MPa,断裂时总应变量均值为3.89%,耐蚀性能最佳。 展开更多
关键词 S35vn 回火温度 基体类型 碳化物 力学性能 耐蚀性能
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1Cr12Ni3Mo2VN不锈钢的电化学腐蚀行为
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作者 郭龙蔚 李全德 +6 位作者 郭维华 胡红旺 戴君 倪荣 隆彬 巩秀芳 孟惠民 《材料保护》 CAS CSCD 2024年第8期105-114,共10页
为探究氯离子环境下阳极极化对于马氏体不锈钢的腐蚀行为、再钝化行为的影响,采用循环极化、恒电位极化、电化学阻抗谱等电化学测试方法,并利用激光共聚焦显微镜、扫描电镜、能谱仪和X射线光电子能谱等手段研究阳极极化电位对1Cr12Ni3Mo... 为探究氯离子环境下阳极极化对于马氏体不锈钢的腐蚀行为、再钝化行为的影响,采用循环极化、恒电位极化、电化学阻抗谱等电化学测试方法,并利用激光共聚焦显微镜、扫描电镜、能谱仪和X射线光电子能谱等手段研究阳极极化电位对1Cr12Ni3Mo2VN不锈钢耐蚀性的影响,分析了材料点蚀与再钝化的行为过程,以及耐蚀性与钝化膜成分的关系。结果表明,钝化区低电位下极化时表面不发生点蚀,钝化膜中Cr_(2)O_(3)、Fe_(2)O_(3)含量占比增加而氢氧化物减少,增强了钝化膜的稳定性,材料耐蚀性提高;钝化区高电位下极化时电化学阻抗谱低频区出现感抗弧,材料表面形成稳态点蚀,蚀孔呈半椭球形,蚀孔内表层Cr、Mo含量升高而Fe、Ni含量降低;在混合电位下降至保护电位后发生再钝化现象,修复后的钝化膜较薄,阻抗值减小,点蚀敏感性增加。 展开更多
关键词 1Cr12Ni3Mo2vn不锈钢 极化 电化学阻抗谱 点蚀 钝化膜
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Micro-alloying of Zn and Ca in vacuum induction casted bioresorbable Mg system:Perspectives on corrosion resistance,cytocompatibility,and inflammatory response
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作者 Manisha Behera Agnès Denys +2 位作者 Rajashekhara Shabadi Fabrice Allain Cosmin Gruescu 《Journal of Magnesium and Alloys》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第7期2812-2825,共14页
There is an increasing interest in biodegradable materials,such as magnesium,for orthopaedic implants.This is driven by their potential to address challenges like stress shielding and the need for secondary removal su... There is an increasing interest in biodegradable materials,such as magnesium,for orthopaedic implants.This is driven by their potential to address challenges like stress shielding and the need for secondary removal surgery.In this study,biodegradable magnesium alloys were produced using the Vacuum Induction Casting technique.The impact of micro-alloying Zn and Ca in Mg-xZn-0.2Ca(x=0.1,0.2,0.3,and 0.4 wt%)alloys on corrosion resistance,cytocompatibility,and early-stage inflammatory response was investigated.XRD and SEM-EDS analysis confirmed the presence of Ca_(2)Mg_(6)Zn_(3)secondary phases in all alloys.The Mg-0.3Zn-0.2Ca alloy exhibited the lowest corrosion rate and an elastic modulus of 36.8 GPa,resembling that of natural bone.Electrochemical measurements indicated a correlation between grain size and secondary phase volume fraction in explaining corrosion behaviour.In vitro degradation in simulated body fluid(SBF)for 21 days showed hydroxyapatite formation on alloy surfaces,aligning with electrochemical studies.In vitro cytotoxicity tests demonstrated the cytocompatibility of all alloys,with Mg-0.3Zn-0.2Ca having the highest cell viability over a 6-day cell culture.Investigation into the inflammatory response with RAW-Blue macrophages revealed the anti-inflammatory properties of Mg-0.3Zn-0.2Ca alloys.Micro-alloying with 0.3 wt%Zn and 0.2 wt%Ca enhanced mechanical properties,corrosion resistance,cytocompatibility,and immunomodulatory properties.This positions the Mg-0.3Zn-0.2Ca alloy as a promising biodegradable implant for bone fixation applications. 展开更多
关键词 micro-alloying MgZnCa Corrosion resistance In vitro Anti-inflammatory response
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基于VNS-NSGA-Ⅱ的双目标绿色冷链运输路径优化
5
作者 王滕 江心英 《物流科技》 2024年第14期163-170,共8页
在绿色冷链物流高质量发展背景下,构建以成本最小化与顾客满意度最大化的双目标绿色冷链物流车辆运输优化模型具有重要的现实意义。文章探讨了变邻域搜索算法(VNS)与多目标遗传算法二代(NSGA-Ⅱ)结合的VNSNSGA-Ⅱ算法,通过组合策略优化... 在绿色冷链物流高质量发展背景下,构建以成本最小化与顾客满意度最大化的双目标绿色冷链物流车辆运输优化模型具有重要的现实意义。文章探讨了变邻域搜索算法(VNS)与多目标遗传算法二代(NSGA-Ⅱ)结合的VNSNSGA-Ⅱ算法,通过组合策略优化双目标模型求解方法。最后,借助Solomon算例集和苏宁小店的实际数据进行算例对比、仿真求解与灵敏度分析,佐证了VNS-NSGA-Ⅱ算法更具灵活性和收敛性,可以提高搜索效率,趋近于全局最优性,有助于解决绿色冷链车辆路径优化问题,为绿色冷链运输企业的可持续发展提供了方法论。 展开更多
关键词 冷链物流 运输路径优化 vnS-NSGA-Ⅱ算法
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激光熔覆VN增强Fe基合金涂层组织和耐磨性能研究
6
作者 晁永礼 张浦津 丁林 《热处理》 CAS 2024年第5期21-23,26,共4页
采用激光熔覆技术在Q235钢上制备了VN增强Fe基合金涂层。检测了涂层的微观组织、硬度和耐磨性。结果表明:VN增强Fe基合金涂层组织由α-Fe、Cr_(23)C_(6)、Cr_(7)C_(3)、VN和FeV组成,弥散的FeV和VN使涂层中粗大枝晶断裂成细小均匀的短棒... 采用激光熔覆技术在Q235钢上制备了VN增强Fe基合金涂层。检测了涂层的微观组织、硬度和耐磨性。结果表明:VN增强Fe基合金涂层组织由α-Fe、Cr_(23)C_(6)、Cr_(7)C_(3)、VN和FeV组成,弥散的FeV和VN使涂层中粗大枝晶断裂成细小均匀的短棒状枝晶和等轴晶;与Fe基合金涂层相比,VN增强Fe基合金涂层的硬度提高了27.28%,磨损失重降低了42.79%。 展开更多
关键词 激光熔覆 FE基合金 vn 耐磨性
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35kV VN1型开关手车重合闸信号及闭锁辅助开关动作的时序配合分析
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作者 陈佳 李世卿 周凯峰 《电力与能源》 2024年第1期125-128,共4页
根据五防要求,开关手车会根据手车位置及开关状态闭锁开关合闸。以一起35 kV VN1型开关的重合闸失败事故为例,探讨了该型开关手车的的重合闸信号及闭锁辅助开关时序配合问题,并提出了类似故障的解决方案。
关键词 城市配电网 vn1型开关 闭锁线圈 重合闸信号
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VN型空预器在低负荷时的漏风率分析
8
作者 裴东旭 《电力设备管理》 2024年第14期92-94,共3页
近年来,火力发电机组在低负荷时的运行时间普遍增加,为评估低负荷下机组的能耗水平,空预器在低负荷下的漏风率开始得到关注。本文通过对某厂两种VN型空预器在不同工况下的转子变形量及漏风量进行分析,找到低负荷时漏风量与漏风率的定量... 近年来,火力发电机组在低负荷时的运行时间普遍增加,为评估低负荷下机组的能耗水平,空预器在低负荷下的漏风率开始得到关注。本文通过对某厂两种VN型空预器在不同工况下的转子变形量及漏风量进行分析,找到低负荷时漏风量与漏风率的定量关系,指出了VN型空预器在机组高负荷与低负荷时漏风率变化的原因,为评估空预器在低负荷下的漏风率指标提供参考意见。 展开更多
关键词 vn型空预器 转子变形量 低负荷 漏风量 漏风率
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VN合金在非调质钢中的应用 被引量:12
9
作者 卢向阳 刘明 +3 位作者 贾斌 董军 董成瑞 崔润炯 《钢铁钒钛》 CAS 北大核心 2000年第3期29-33,共5页
简要介绍了VN合金在F35MnVN钢中的应用 ,对钒、氮的作用和钢水增氮方法进行了研究。结果表明 ,为发挥钒的作用 ,应增加含钒非调质钢中氮的含量 ;加氮的最好办法是采用VN合金。
关键词 vn合金 财质钢 微合金化 钢水增氮
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VN合金在大规格角钢生产中的应用研究 被引量:11
10
作者 冯运莉 刘战英 +1 位作者 陈春生 王云阁 《钢铁钒钛》 CAS 北大核心 2004年第2期40-43,共4页
大规格角钢主要用于铁塔制造和建筑结构中。唐钢过去用16Mn钢生产Q345级别角钢,因供轧化学成分范围较窄,供轧率偏低。通过加入V-Fe合金及VN合金进行微合金化,设计了16MnV(N)钢种生产角钢,使角钢综合性能有显著提高。分析比较了16Mn、16... 大规格角钢主要用于铁塔制造和建筑结构中。唐钢过去用16Mn钢生产Q345级别角钢,因供轧化学成分范围较窄,供轧率偏低。通过加入V-Fe合金及VN合金进行微合金化,设计了16MnV(N)钢种生产角钢,使角钢综合性能有显著提高。分析比较了16Mn、16MnV及16MnV(N)角钢的性能,认为在大规格高强度角钢生产中,用VN合金进行微合金化,其效果是最佳的。 展开更多
关键词 角钢 vn合金 强化 力学性能
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VNS试剂三甲基肼碘化物(TMHI)的合成与应用 被引量:9
11
作者 汪营磊 王伯周 +2 位作者 张志忠 熊存良 罗义芬 《化学试剂》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期287-288,303,共3页
以四氢呋喃为反应介质,偏二甲基肼、碘甲烷为原料,合成了进行异常亲核取代氢(VNS)反应用VNS试剂三甲基肼碘化物(TMHI),用红外、核磁共振、元素分析等手段对其结构进行了表征。优化的最佳反应条件为:反应介质四氢呋喃,偏二甲基肼与碘甲... 以四氢呋喃为反应介质,偏二甲基肼、碘甲烷为原料,合成了进行异常亲核取代氢(VNS)反应用VNS试剂三甲基肼碘化物(TMHI),用红外、核磁共振、元素分析等手段对其结构进行了表征。优化的最佳反应条件为:反应介质四氢呋喃,偏二甲基肼与碘甲烷的物质的量比为1:1,反应时间1.5h,反应温度20℃,收率达到91.2%。将自行合成的VNS试剂TMHI应用于新型含能材料4-氨基-3,5-二硝基吡唑(LLM-116)的合成,获得良好的效果。 展开更多
关键词 有机化学 三甲基肼碘化物 合成 vnS试剂
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VNS反应合成LLM-116 被引量:15
12
作者 汪营磊 张志忠 +1 位作者 王伯周 罗义芬 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 2007年第6期20-23,共4页
以1,3-二硝基吡唑为原料,经热重排、氨气中和得到3,5-二硝基吡唑铵盐,然后酸化得到3,5-二硝基吡唑。以三甲基肼碘化物(TMHI)作为异常亲核取代氢(VNS)反应试剂,与3,5-二硝基吡唑在叔丁醇钾为催化剂,利用VNS反应合成4-氨基-3,5-二硝基吡唑... 以1,3-二硝基吡唑为原料,经热重排、氨气中和得到3,5-二硝基吡唑铵盐,然后酸化得到3,5-二硝基吡唑。以三甲基肼碘化物(TMHI)作为异常亲核取代氢(VNS)反应试剂,与3,5-二硝基吡唑在叔丁醇钾为催化剂,利用VNS反应合成4-氨基-3,5-二硝基吡唑(LLM-116)。采用红外分析、核磁共振、元素分析等仪器鉴定了其结构,讨论了VNS反应机理及影响因素。通过实验,得出最佳VNS反应试剂为TMHI,反应时间为4h,反应温度为25℃,收率达到60%。 展开更多
关键词 有机化学 有机合成 vnS反应 4-氨基-3 5-二硝基吡唑
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TiAlN/VN纳米多层膜的微结构与力学和摩擦学性能 被引量:9
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作者 李淼磊 王恩青 +1 位作者 岳建岭 黄小忠 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1280-1284,共5页
采用反应磁控溅射制备了Ti Al N/VN纳米多层膜,并使用X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、纳米压痕仪和多功能摩擦磨损试验机对多层膜的微结构与力学和摩擦学性能进行了表征和分析。研究结果表明:不同调制... 采用反应磁控溅射制备了Ti Al N/VN纳米多层膜,并使用X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、纳米压痕仪和多功能摩擦磨损试验机对多层膜的微结构与力学和摩擦学性能进行了表征和分析。研究结果表明:不同调制周期的Ti Al N/VN多层膜均呈典型的柱状晶生长结构,插入VN层并没有打断Ti Al N涂层柱状晶的生长。在一定调制周期下,Ti Al N/VN纳米多层膜中的Ti Al N和VN层之间能够形成共格生长结构,其硬度和弹性模量相比于Ti Al N单层膜均有显著提升,其中,Ti Al N(10 nm)/VN(10 nm)的硬度和弹性模量最大增量分别达到39.3%和40.9%。Ti Al N/VN纳米多层膜的强化主要与其共格界面生长结构有关。另外,Ti Al N单层膜的摩擦系数较高(~0.9),通过周期性地插入摩擦系数较低的VN层能够使得Ti Al N的摩擦系数大大降低,Ti Al N/VN纳米多层膜的摩擦系数最低为0.4。 展开更多
关键词 反应磁控溅射 TiAlN/vn纳米多层膜 摩擦性能
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轧制工艺对VN微合金化厚钢板截面不均匀性的影响 被引量:4
14
作者 李南 杨才福 +1 位作者 张永权 苏航 《钢铁钒钛》 CAS 2007年第2期27-32,42,共7页
在厚板轧制过程中,由于板厚所引起的由表面到心部变形不均匀,将导致组织与力学性能沿厚度方向上有较大差异,最终影响钢板的整体质量。因此合理选择控轧工艺对于厚板生产至关重要。该研究采用有限元方式模拟了50 mm厚板的轧制过程,得出... 在厚板轧制过程中,由于板厚所引起的由表面到心部变形不均匀,将导致组织与力学性能沿厚度方向上有较大差异,最终影响钢板的整体质量。因此合理选择控轧工艺对于厚板生产至关重要。该研究采用有限元方式模拟了50 mm厚板的轧制过程,得出了不同轧制条件下的厚板截面不同位置的变形情况。同时结合Gleeble热模拟实验,研究了不同控轧工艺对VN微合金化50 mm厚钢板截面效应的影响。结果表明,对于VN微合金化厚板,870℃终轧并保温可得到最佳的截面均匀性。 展开更多
关键词 厚板 轧制 截面效应 有限元 vn微合金化
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时效处理对VN合金/Co基熔覆层组织和性能影响 被引量:4
15
作者 权秀敏 丁林 +2 位作者 刘荣富 韩世萍 黄红兵 《铸造》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期269-272,275,共5页
利用时效方式对低碳钢基体表面制备的VN合金/Co基合金涂层进行处理。采用金相显微镜、扫描电镜、透射电镜、X射线衍射仪、显微硬度机和滑动磨损机研究了时效处理对涂层的组织结构及性能的影响。结果表明:VN合金/Co基涂层时效后主要相... 利用时效方式对低碳钢基体表面制备的VN合金/Co基合金涂层进行处理。采用金相显微镜、扫描电镜、透射电镜、X射线衍射仪、显微硬度机和滑动磨损机研究了时效处理对涂层的组织结构及性能的影响。结果表明:VN合金/Co基涂层时效后主要相组成γ-Co、Cr23C6、Co5.47N、σ-Fe V和VN没有发生变化,仅40~50°峰高有所下降;随时效温度的提高,涂层组织明显细化,熔覆层的硬度和耐磨性能均显著提高,研究结果为时效处理在激光熔覆后的应用提供了指导。 展开更多
关键词 时效处理 vn合金 CO基合金 激光熔覆 耐磨性能
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AlN/VN纳米多层膜的共格生长与超硬效应 被引量:3
16
作者 李戈扬 劳技军 +1 位作者 田家万 韩增虎 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期56-59,共4页
研究了亚稳相立方AlN(c-AlN)在AlN/VN纳米多层膜中的形成条件以及c-AlN对纳米多层膜力学性能的影响。一系列不同调制周期的AlN/VN多层膜采用反应磁控溅射法制备,多层膜的微结构采用小角度X射线衍射和高分辨电子显微镜表征,利用微力学探... 研究了亚稳相立方AlN(c-AlN)在AlN/VN纳米多层膜中的形成条件以及c-AlN对纳米多层膜力学性能的影响。一系列不同调制周期的AlN/VN多层膜采用反应磁控溅射法制备,多层膜的微结构采用小角度X射线衍射和高分辨电子显微镜表征,利用微力学探针测量了多层膜的力学性能。结果表明:亚稳的c-AlN因VN的'模板'作用生成于小调制周期的纳米多层膜中,并与VN形成共格外延生长的超晶格柱状晶,从而使多层膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应。随调制周期的增大,c-AlN转变为稳定的六方结构(h-AlN),使多层膜形成纳米晶的'砖墙'型结构。此时多层膜的硬度和弹性模量与混合法则所得值相当。AlN/VN纳米多层膜在小调制周期下产生的超硬效应与c-AlN形成带来的性质变化以及c-AlN与VN形成共格结构所产生的界面交变应变场有关。 展开更多
关键词 A1N/vn纳米多层膜 亚稳相 立方氮化铝 超硬效应
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硝基甲苯的VNS氨化反应 被引量:2
17
作者 李加荣 赵建民 +2 位作者 魏筱洁 赵晓帆 董海山 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 2006年第6期30-32,共3页
以DM SO为溶剂,研究了在甲醇钠作用下,用4-氨基-1,2,4-三唑等对硝基甲苯的VN S氨化反应。结果表明,DNT氨化可以得到3-氨基-2,4-二硝基甲苯;而TNT氨化得到的是3,5-二氨基-2,4,6-三硝基甲苯(DATNT),两者的产率分别为10.5%和27.6%。当反应... 以DM SO为溶剂,研究了在甲醇钠作用下,用4-氨基-1,2,4-三唑等对硝基甲苯的VN S氨化反应。结果表明,DNT氨化可以得到3-氨基-2,4-二硝基甲苯;而TNT氨化得到的是3,5-二氨基-2,4,6-三硝基甲苯(DATNT),两者的产率分别为10.5%和27.6%。当反应用微波加热时,氨化产物的转化率降低;而以盐酸羟胺作氨化试剂时,由TNT经过VN S氨化反应生成DATNT的产率不高。用红外光谱、核磁共振、元素分析和质谱签定了氨化产物的结构。 展开更多
关键词 有机合成 TNT DNT vnS氨化反应 硝基甲苯
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VN微合金化600MPa级特厚高强结构钢的研制 被引量:3
18
作者 顾林豪 刘春明 +1 位作者 邹扬 王振强 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2016年第2期94-97,共4页
利用VN微合金化工艺,以低成本和高性能为基本原则,通过对钢板化学成分、冶炼和连铸工艺、轧制及冷却工艺的设计,试制出60 mm以上规格600 MPa级特厚高强结构钢板。对试制钢板的力学性能和金相组织进行了研究。结果表明,试制钢板的屈服强... 利用VN微合金化工艺,以低成本和高性能为基本原则,通过对钢板化学成分、冶炼和连铸工艺、轧制及冷却工艺的设计,试制出60 mm以上规格600 MPa级特厚高强结构钢板。对试制钢板的力学性能和金相组织进行了研究。结果表明,试制钢板的屈服强度460~515 MPa,抗拉强度600~650 MPa,-20℃低温冲击功140~200J,冷弯性能良好。钢板具有较高的强度和良好的低温冲击韧性,可满足Q500D的标准要求。 展开更多
关键词 vn微合金化 Q500D 特厚规格 研制
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VN合金在HRB400钢筋生产中的应用 被引量:7
19
作者 冯运莉 齐长发 《钢铁钒钛》 CAS 北大核心 2002年第4期27-30,共4页
介绍了VN合金在HRB400热轧钢筋生产中的应用,对采用VN合金与普通FeV50生产的400MPa级钢筋的性能进行了对比,研究了VN微合金化对钢筋性能和组织的影响,比较了使用两种合金的生产成本。
关键词 vn 微合金化 成本 400MPa级钢筋 强化
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调制周期对TaN/VN纳米多层膜的影响 被引量:3
20
作者 张学华 曹猛 +4 位作者 杨瑾 刘桐 王明霞 邓湘云 李德军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期367-369,共3页
本研究选择钽和钒的氮化物作为个体层材料,利用射频磁控溅射系统制备TaN、VN及一系列的TaN/VN多层薄膜。通过XRD和纳米力学测试系统分析了该体系合成以后的晶体结构、调制周期对力学性能的影响。结果表明:多层膜的纳米硬度值普遍高于两... 本研究选择钽和钒的氮化物作为个体层材料,利用射频磁控溅射系统制备TaN、VN及一系列的TaN/VN多层薄膜。通过XRD和纳米力学测试系统分析了该体系合成以后的晶体结构、调制周期对力学性能的影响。结果表明:多层膜的纳米硬度值普遍高于两种个体材料混合相的硬度值;当调制周期为30 nm时TaN/VN多层膜达到最大硬度31 GPa,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、弹性模量以及耐磨性能均达到最佳效果。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 TaN/vn多层膜 调制周期
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