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TiO_2/VO_2双层薄膜的制备及光电性能研究
被引量:
3
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作者
吕晓庆
李合琴
+3 位作者
周矗
崔跃
何蓓
刘涛
《合肥工业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期1659-1661,共3页
文章采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备VO2单层薄膜与TiO2/VO2双层薄膜,并在Ar气中进行退火。用X射线衍射仪、扫描电镜、紫外-可见光分光光度计、LCR测试仪对薄膜样品的晶体结构、表面形貌、可见光透过率、电阻-温度特性进行测试。结...
文章采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备VO2单层薄膜与TiO2/VO2双层薄膜,并在Ar气中进行退火。用X射线衍射仪、扫描电镜、紫外-可见光分光光度计、LCR测试仪对薄膜样品的晶体结构、表面形貌、可见光透过率、电阻-温度特性进行测试。结果表明,TiO2/VO2双层薄膜的相变温度降低到56℃,电阻温度系数为-1.087/℃,可见光透过率提高了20%~30%,且薄膜生长致密均匀。
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关键词
TIO
2
vo2双层薄膜
相变温度
电阻温度曲线
可见光透过率
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职称材料
题名
TiO_2/VO_2双层薄膜的制备及光电性能研究
被引量:
3
1
作者
吕晓庆
李合琴
周矗
崔跃
何蓓
刘涛
机构
合肥工业大学材料科学与工程学院
出处
《合肥工业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期1659-1661,共3页
基金
国家973计划资助项目(2008CB717802)
安徽省自然科学基金资助项目(090414182
+2 种基金
11040606M63)
安徽省高校自然科学基金资助项目(KJ2009A091)
合肥工业大学国家级大学生创新性实验计划资助项目(101035914)
文摘
文章采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备VO2单层薄膜与TiO2/VO2双层薄膜,并在Ar气中进行退火。用X射线衍射仪、扫描电镜、紫外-可见光分光光度计、LCR测试仪对薄膜样品的晶体结构、表面形貌、可见光透过率、电阻-温度特性进行测试。结果表明,TiO2/VO2双层薄膜的相变温度降低到56℃,电阻温度系数为-1.087/℃,可见光透过率提高了20%~30%,且薄膜生长致密均匀。
关键词
TIO
2
vo2双层薄膜
相变温度
电阻温度曲线
可见光透过率
Keywords
TiO
2
/
vo
2
bilayer thin film
phase transition temperature
resistance-temperature curve
visible light transmittance
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TiO_2/VO_2双层薄膜的制备及光电性能研究
吕晓庆
李合琴
周矗
崔跃
何蓓
刘涛
《合肥工业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
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职称材料
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