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VO_2薄膜制备工艺及电阻开关特性研究
被引量:
3
1
作者
许旻
邱家稳
+3 位作者
赵印中
王洁冰
何延春
李强勇
《中国空间科学技术》
EI
CSCD
北大核心
2001年第6期62-67,共6页
用溶胶 -凝胶法在非晶玻璃上制备 VO2 薄膜 ,经过熔融、涂膜、烘干和热处理等工艺最后得到电阻相变 2~ 3个量级的 VO2 薄膜。对烘干温度、熔融温度、膜厚和热处理温度对薄膜电阻开关特性的影响进行了研究。通过 XRD ( X-ray diffracti...
用溶胶 -凝胶法在非晶玻璃上制备 VO2 薄膜 ,经过熔融、涂膜、烘干和热处理等工艺最后得到电阻相变 2~ 3个量级的 VO2 薄膜。对烘干温度、熔融温度、膜厚和热处理温度对薄膜电阻开关特性的影响进行了研究。通过 XRD ( X-ray diffraction)和 XPS ( X- ray photoelectron spectroscopy)对薄膜的结构和价态进行分析 ,表明用溶胶 -凝胶法制备 VO2 膜工艺简单 ,重复性好。
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关键词
二氧化钒
vo2薄膜材料
制备工艺
电阻开关特性
影响因素
溶胶-凝胶法
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职称材料
题名
VO_2薄膜制备工艺及电阻开关特性研究
被引量:
3
1
作者
许旻
邱家稳
赵印中
王洁冰
何延春
李强勇
机构
兰州物理研究所
出处
《中国空间科学技术》
EI
CSCD
北大核心
2001年第6期62-67,共6页
文摘
用溶胶 -凝胶法在非晶玻璃上制备 VO2 薄膜 ,经过熔融、涂膜、烘干和热处理等工艺最后得到电阻相变 2~ 3个量级的 VO2 薄膜。对烘干温度、熔融温度、膜厚和热处理温度对薄膜电阻开关特性的影响进行了研究。通过 XRD ( X-ray diffraction)和 XPS ( X- ray photoelectron spectroscopy)对薄膜的结构和价态进行分析 ,表明用溶胶 -凝胶法制备 VO2 膜工艺简单 ,重复性好。
关键词
二氧化钒
vo2薄膜材料
制备工艺
电阻开关特性
影响因素
溶胶-凝胶法
Keywords
Film Sample preparation Electronic switch Performance analysis
分类号
TQ135.1 [化学工程—无机化工]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
VO_2薄膜制备工艺及电阻开关特性研究
许旻
邱家稳
赵印中
王洁冰
何延春
李强勇
《中国空间科学技术》
EI
CSCD
北大核心
2001
3
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职称材料
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