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Analysis of the resistive switching behaviors of vanadium oxide thin film 被引量:1
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作者 韦晓莹 胡明 +3 位作者 张楷亮 王芳 赵金石 苗银萍 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第3期437-441,共5页
We demonstrate the polarization of resistive switching for a Cu/VOx/Cu memory cell.The switching behaviors of Cu/VOx/Cu cell are tested by using a semiconductor device analyzer(Agilent B1500A),and the relative micro... We demonstrate the polarization of resistive switching for a Cu/VOx/Cu memory cell.The switching behaviors of Cu/VOx/Cu cell are tested by using a semiconductor device analyzer(Agilent B1500A),and the relative micro-analysis of I-V characteristics of VOx/Cu is characterized by using a conductive atomic force microscope(CAFM).The I-V test results indicate that both the forming and the reversible resistive switching between low resistance state(LRS) and high resistance state(HRS) can be observed under either positive or negative sweep.The CAFM images for LRS and HRS directly exhibit evidence for the formation and rupture of filaments based on positive or negative voltage.The Cu/VOx/Cu sandwiched structure exhibits reversible resistive switching behavior and shows potential applications in the next generation of nonvolatile memory. 展开更多
关键词 vox thin films reversible resistive switching resistive random access memory(RRAM) conductive atomic force microscope
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Fabrication and Thermally Sensitive Properties of VO_x Thin Films by Sol-Gel Method
2
作者 Shenglin Jiang Bowu Yan +1 位作者 Dongxiang Zhou and Meidong Liu 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A03期559-560,共2页
For the high temperature coefficient of resistivity (TCR) of VO_x thin films,the preparation process including the heat-treating and the application of seed layer,has been investigated.When the films were prepared wit... For the high temperature coefficient of resistivity (TCR) of VO_x thin films,the preparation process including the heat-treating and the application of seed layer,has been investigated.When the films were prepared without a seed layer, heated in air for 2 h,and then in N_2 for 2 h at 470℃,the TCR of about 1.07% K^(-1) (3.75% K^(-1) at 45℃~65℃) was gained.The R_(20℃)/R_(100℃) was about 28.75,while the R_(20℃)/R_(100℃) of the thin films prepared on a seed layer was 5.5.The X-ray diffraction (XRD) showed that better heating conditions led to less phase compositions and higher V_2O_5 diffraction peak,which led to higher TCR.The experiment results showed that the optimum heating condition was at 470℃for 4 h. 展开更多
关键词 VO_x thin films sol-gel method TCR
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溶胶——凝胶法制备VOx薄膜的半导体——金属相转变 被引量:4
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作者 陆松伟 侯立松 干福熹 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1990年第2期175-180,共6页
本文用 VO(i-OC_3H_7)_3为原料采用溶胶—凝胶浸渍法在石英玻璃基片上制备了凝胶薄膜,通过真空热处理获得了具有半导体—金属可逆相转变现象的 VO_x(2≤x<2.5)薄膜,其相转变温度为67℃,相转变前后近红外区域薄膜的透过率变化可达50%... 本文用 VO(i-OC_3H_7)_3为原料采用溶胶—凝胶浸渍法在石英玻璃基片上制备了凝胶薄膜,通过真空热处理获得了具有半导体—金属可逆相转变现象的 VO_x(2≤x<2.5)薄膜,其相转变温度为67℃,相转变前后近红外区域薄膜的透过率变化可达50%,红外光谱研究表明,x 值接近于2。 展开更多
关键词 vox薄膜 半导体—金属相转变观象 溶胶—凝胶法
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TiO_2缓冲层对掺钨氧化钒热敏智能玻璃的制备及性能影响 被引量:4
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作者 刘涛 李合琴 +3 位作者 刘丹 武大伟 吕晓庆 宋泽润 《真空》 CAS 北大核心 2011年第6期21-24,共4页
用直流磁控溅射法在玻璃基片上先沉积TiO2缓冲层,再用直流/射频反应磁控共溅射法制备掺钨VOX薄膜,然后在氮气中退火。用X射线衍射、原子力显微镜、紫外可见光分光光度计、红外光谱仪等对薄膜的结构、表面形貌、光透过率等进行测试分析... 用直流磁控溅射法在玻璃基片上先沉积TiO2缓冲层,再用直流/射频反应磁控共溅射法制备掺钨VOX薄膜,然后在氮气中退火。用X射线衍射、原子力显微镜、紫外可见光分光光度计、红外光谱仪等对薄膜的结构、表面形貌、光透过率等进行测试分析。结果表明:在溅射气压为1 Pa,氧氩气体比例为1:4,Ti靶采用100 W直流电源时,所制备的TiO2缓冲层上的掺钨VOX薄膜致密,晶粒大小均匀。掺钨VOX薄膜样品的相变温度降低至35℃,可见光透过率较高,对红外光的屏蔽效果明显。 展开更多
关键词 掺钨vox薄膜 TiO2缓冲层 直流/射频反应磁控共溅射 光透过率
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多孔硅表面氧化钒热敏电阻薄膜的阻温特性 被引量:2
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作者 窦雁巍 胡明 +1 位作者 崔梦 宗杨 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期496-498,共3页
用电化学腐蚀法制备了具有不同导热系数的多孔硅样品(孔隙率为80%±2、厚度为110μm时,导热系数可降低至0.20 W/m·K),并在其表面沉积了氧化钒热敏薄膜,研究了多孔硅样品的热绝缘性能对氧化钒热敏薄膜阻温特性的影响.结果表... 用电化学腐蚀法制备了具有不同导热系数的多孔硅样品(孔隙率为80%±2、厚度为110μm时,导热系数可降低至0.20 W/m·K),并在其表面沉积了氧化钒热敏薄膜,研究了多孔硅样品的热绝缘性能对氧化钒热敏薄膜阻温特性的影响.结果表明:多孔硅良好的热绝缘性使在其表面制备的氧化钒热敏薄膜电阻的灵敏度远高于在硅基底上制备的热敏电阻的(多孔硅和硅片上的氧化钒薄膜电阻随功率变化斜率分别为120 kΩ/μW和2.1 kΩ/μW),且热敏电阻的灵敏度随着多孔硅孔隙率和厚度的增大而升高. 展开更多
关键词 无机非金属材料 多孔硅 热绝缘 氧化钒薄膜
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溅射工艺条件对氧化钒欧姆接触特性的影响 被引量:1
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作者 董翔 吴志明 +3 位作者 王涛 许向东 李伟 蒋亚东 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期236-241,共6页
采用反应磁控溅射并在氧氛围下进行后退火处理的方式,制备了氧化钒薄膜。尝试了在氧化钒上以不同衬底温度和溅射功率等工艺条件溅射金属薄膜电极。通过对氧化钒-金属接触的电流-电压(I-V)测试的数据进行分析拟合,研究了氧化钒薄膜表面... 采用反应磁控溅射并在氧氛围下进行后退火处理的方式,制备了氧化钒薄膜。尝试了在氧化钒上以不同衬底温度和溅射功率等工艺条件溅射金属薄膜电极。通过对氧化钒-金属接触的电流-电压(I-V)测试的数据进行分析拟合,研究了氧化钒薄膜表面性质和测试偏压的变化对I-V特性曲线欧姆系数的影响。结果表明在化学计量比约为VO2.15的非晶氧化钒薄膜上,溅射的金属电极随着溅射功率和测试偏压的提高,I-V特性曲线的线性度得到了逐步的改善。通过比较Ni/Cr,Ti及Al不同金属电极的接触性能,提出了合理的欧姆接触工艺条件以及电极工作电压范围。 展开更多
关键词 溅射功率 衬底温度 氧化钒薄膜 金属薄膜电极 欧姆接触
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直流/射频反应磁控溅射法制备W掺杂VO_X薄膜的工艺和性能 被引量:1
7
作者 聂竹华 李合琴 +2 位作者 都智 储汉奇 宋泽润 《真空》 CAS 北大核心 2011年第4期65-68,共4页
用直流/射频反应磁控共溅射法分别在玻璃和单晶硅片基底上制备VOX薄膜和W掺杂VOX薄膜,经退火后,对薄膜进行电阻-温度特性、XRD、表面形貌等测试。结果表明:当溅射气压为1.5 Pa、氧氩比为0.8:25 sccm、V靶采用100 W直流电源、W靶10 W射... 用直流/射频反应磁控共溅射法分别在玻璃和单晶硅片基底上制备VOX薄膜和W掺杂VOX薄膜,经退火后,对薄膜进行电阻-温度特性、XRD、表面形貌等测试。结果表明:当溅射气压为1.5 Pa、氧氩比为0.8:25 sccm、V靶采用100 W直流电源、W靶10 W射频电源共溅射制备的W掺杂VOX薄膜,经Ar气氛中450℃退火2 h后,薄膜相变温度由未掺杂时的68℃降低到40℃左右。XRD衍射结果表明部分W原子进入了VOX晶格;另外单晶硅片上制备的VOX薄膜的电阻温度系数和电阻值均大于玻璃基片上制备的薄膜。 展开更多
关键词 直流 射频磁控共溅射 vox薄膜 W掺杂 相变温度 基底
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VO_x薄膜的sol-gel法制备 被引量:1
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作者 曾亦可 吴帮军 +1 位作者 姜胜林 邓传益 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期22-24,共3页
通过对工艺条件的研究,解决了钒有机溶胶与基片的亲水性问题,提出了成膜牢固的亲水处理方法,制备出了无裂纹、致密性好的VOx薄膜。测量结果表明,520℃热处理条件下的VOx薄膜样品的平均电阻温度系数达到了3.95%K–1。而470℃热处理下的VO... 通过对工艺条件的研究,解决了钒有机溶胶与基片的亲水性问题,提出了成膜牢固的亲水处理方法,制备出了无裂纹、致密性好的VOx薄膜。测量结果表明,520℃热处理条件下的VOx薄膜样品的平均电阻温度系数达到了3.95%K–1。而470℃热处理下的VOx薄膜样品,其升降温阻温特性一致性很好,可用作高灵敏度红外探测器敏感元材料。 展开更多
关键词 电子技术 vox SOL-GEL 薄膜 R-T特性
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退火温度对Ag/VO_x/Al阻变存储器性能的影响 被引量:1
9
作者 夏梦僧 杨瑞霞 +2 位作者 李春静 韩应宽 马浩 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第6期373-378,共6页
阻变存储器(RRAM)是下一代最有潜力的非易失性存储器。利用磁控溅射、电子束蒸发和离子束溅射方法制备了一种Ag/VO_x/Al结构的RRAM。使用半导体参数分析仪(Agilent B1500A)测试了器件的电学特性,器件具有双极阻变特性。器件的高阻态的... 阻变存储器(RRAM)是下一代最有潜力的非易失性存储器。利用磁控溅射、电子束蒸发和离子束溅射方法制备了一种Ag/VO_x/Al结构的RRAM。使用半导体参数分析仪(Agilent B1500A)测试了器件的电学特性,器件具有双极阻变特性。器件的高阻态的传输机制为空间电荷限制电流(SCLC)机制,低阻态的传输机制为欧姆机制,器件的阻变机制为金属导电细丝机制。研究了不同退火温度(150~300℃)对Ag/VO_x/Al器件阻变性能的影响。研究表明,不同退火温度不仅会影响VO_x薄膜的表面形貌与晶面组成,而且会影响器件的电学性能,在退火温度为200℃时器件的阻变窗口最大,而在300℃时器件的耐久性最优秀。适当的退火温度有益于改善器件的阻变性能。 展开更多
关键词 vox薄膜 阻变存储器(RRAM) 金属导电细丝机制 磁控溅射 退火温度
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VO_x/TiO_x/Ti多层薄膜的制备工艺与内耗研究 被引量:1
10
作者 方广志 李合琴 +1 位作者 沈洪雪 宋泽润 《真空》 CAS 北大核心 2009年第4期20-23,共4页
用磁控反应溅射法在玻璃和钼片衬底上制备VOx/TiOx/Ti多层薄膜。用X射线衍射(XRD)、QJ31单臂电桥、薄膜内耗仪等测试了薄膜的晶体结构、电阻、内耗。分别进行了薄膜的制备工艺与内耗研究。测试分析结果表明:试样的晶体结构、电阻-温度... 用磁控反应溅射法在玻璃和钼片衬底上制备VOx/TiOx/Ti多层薄膜。用X射线衍射(XRD)、QJ31单臂电桥、薄膜内耗仪等测试了薄膜的晶体结构、电阻、内耗。分别进行了薄膜的制备工艺与内耗研究。测试分析结果表明:试样的晶体结构、电阻-温度曲线、杨氏模量的突变均表明多层薄膜在66℃左右发生相变。样品的电阻温度系数为-4.35%/℃。并且真空退火有利于二氧化钒相生成。 展开更多
关键词 vox/TFiOx/Ti多层薄膜 磁控反应溅射 电阻温度系数 内耗
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纳米VOx薄膜在空气中的电学特性退化研究
11
作者 罗振飞 吴志明 +2 位作者 许向东 王涛 蒋亚东 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期622-627,共6页
采用射频磁控溅射法在氮化硅衬底上沉积纳米VOx薄膜,利用X射线衍射、原子力显微镜分别对薄膜的结晶形态及表面形貌进行表征.研究了纳米VOx薄膜在空气中长时间暴露后的方块电阻、热滞回线等电学特性的变化情况,并分析这些变化给器件带来... 采用射频磁控溅射法在氮化硅衬底上沉积纳米VOx薄膜,利用X射线衍射、原子力显微镜分别对薄膜的结晶形态及表面形貌进行表征.研究了纳米VOx薄膜在空气中长时间暴露后的方块电阻、热滞回线等电学特性的变化情况,并分析这些变化给器件带来的影响.利用X射线光电子能谱仪、傅里叶变换红外光谱仪分析对比新制与久置薄膜的组分及分子结构差异.研究表明,暴露在空气中的纳米VOx薄膜方块电阻增大是因为低价钒离子被吸附氧原子氧化成5价钒的缘故,热滞回线形状发生变化的原因是由于薄膜原子与吸附原子、官能团成键后影响了纳米VOx薄膜的分子结构. 展开更多
关键词 纳米vox薄膜 磁控溅射 电学特性 退化
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氧化钒薄膜的微结构及阻变特性研究 被引量:5
12
作者 韦晓莹 胡明 +2 位作者 张楷亮 王芳 刘凯 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期411-416,共6页
采用射频反应溅射法于室温下在Cu/Ti/SiO2/Si基底上制备了氧化钒薄膜.X-射线衍射、X射线光电子能谱分析仪及原子力显微镜结果表明,室温下制备的氧化钒薄膜除微弱的V2O5(101)和V2O3(110)峰外,没有明显的结晶取向,是VO2,V2O5,V2O3及VO的... 采用射频反应溅射法于室温下在Cu/Ti/SiO2/Si基底上制备了氧化钒薄膜.X-射线衍射、X射线光电子能谱分析仪及原子力显微镜结果表明,室温下制备的氧化钒薄膜除微弱的V2O5(101)和V2O3(110)峰外,没有明显的结晶取向,是VO2,V2O5,V2O3及VO的混合相薄膜,且薄膜表面颗粒大小均匀,表面均方根粗糙度约为1nm.采用半导体参数分析仪对薄膜的电开关特性进行测试.结果表明薄膜具有较低的开关电压(VSet<1V,VReset<0.5V),并且具有稳定的可逆开关特性.薄膜从低阻态转变为高阻态的电流(IReset)随限流的增大而增大.通过高低阻态时I-V对数曲线的拟合(高阻态斜率>1,低阻态斜率=1),认为Cu离子在薄膜中扩散形成的导电细丝是该体系发生电阻转变的主要机制. 展开更多
关键词 氧化钒薄膜 电阻开关 电阻式非挥发存储器 导电细丝
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氧化钒薄膜的制备及电致开关特性的研究 被引量:4
13
作者 张楷亮 韦晓莹 +2 位作者 王芳 武长强 赵金石 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期656-659,共4页
采用反应溅射法,室温下,在Cu/Ti/SiO2/Si衬底上制备了氧化钒(VOx)薄膜,并对薄膜进行450℃、30min的真空退火处理。采用X-射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的结晶取向和表面形貌进行了表征,通过半导体参数分析仪对薄膜的电... 采用反应溅射法,室温下,在Cu/Ti/SiO2/Si衬底上制备了氧化钒(VOx)薄膜,并对薄膜进行450℃、30min的真空退火处理。采用X-射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的结晶取向和表面形貌进行了表征,通过半导体参数分析仪对薄膜的电开关特性进行测试,并利用导电原子力显微镜(CAFM)对VOx薄膜的导电机制进行了探索。测试结果表明,VOx薄膜在Cu/Ti/SiO2/Si衬底取向生长,并且是以V2O5为主的V6O13和V2O5的混合物,薄膜表面颗粒大小均匀(30~40 nm),粗糙度为2.4 nm。电学测试结果表明薄膜具有较低(Vset=0.72 V,Vreset=0.39 V)的开关电压,开关电阻的转变倍率约3个数量级,经CAFM测试发现,VOx薄膜导电态中有导电细丝,结合VOx/Cu界面态及Cu离子快扩散特性,认为VOx薄膜导电态主要是Cu离子在薄膜中扩散形成的导电细丝所致。 展开更多
关键词 氧化钒(vox)薄膜 电阻开关特性 阻变机理
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氧化钒薄膜的制备及其在光激励下对太赫兹波的调制 被引量:2
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作者 夏晓旭 胡明 +2 位作者 朱乃伟 梁继然 韦晓莹 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期681-686,共6页
采用磁控溅射法在蓝宝石基底上制备金属钒薄膜,然后在O2中快速热处理获得具有相变特性的VOx薄膜。实验对比了不同的热处理温度和热处理时间对薄膜性能的影响,薄膜的结晶状况用X射线衍射(XRD)进行分析;利用THz时域频谱系统,观测薄膜在不... 采用磁控溅射法在蓝宝石基底上制备金属钒薄膜,然后在O2中快速热处理获得具有相变特性的VOx薄膜。实验对比了不同的热处理温度和热处理时间对薄膜性能的影响,薄膜的结晶状况用X射线衍射(XRD)进行分析;利用THz时域频谱系统,观测薄膜在不同激励光功率下的相变特性及其对THz波的调制作用。结果表明,在570℃条件下快速热处理60s所制得的VOx薄膜性能最佳,薄膜对THz波透过性最好,光激励后对THz波的调制作用最大,调制幅度达到83.9%,且引发相变的功率阈值低。 展开更多
关键词 vox 薄膜 THz调制 光激励 快速热处理
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