VTE法制备γ-LiAlO_2/α-Al_2O_3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响

通过气相传输平衡法(VTE)制备了γLiAlO2 /αAl2O3 复合衬底,使用5%的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h。利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11 20)和γ面(1 102)均获得单相多晶的γLiAlO2,且后者的择优取向好于前者。腐蚀可以提高样品的择优取向,在5%的稀盐酸中,时间控制在2min左右可获得较好的结果。退火后γLiAlO2 颗粒质量得到改善,白宝石a面上γLiAlO2 的质量优于r面上的γLiAlO,两者都出现颗粒长大现象。

大尺寸高质量γ-LiAlO_2晶体的制备研究

采用提拉法快速(6mm／h)生长了透明、Φ45mm×50mm完整的铝酸锂晶体,但晶体中下部出现了一个树状、乳白色的核芯．分别从透明和乳白色核芯部位取样,研磨作粉末X射线衍射测试,发现两个样品所有的衍射峰均可以用γ-LiAlO2指标化．双晶摇摆曲线显示晶体透明和乳白色部位的半高宽分别为116．9arcsec和132．0arcsec,结晶质量较差．通过三步气相传输平衡法(简称VTE)处理后,透明部位半高宽值(FWHM)降至44．2arcsec,乳白色部位 FWHM值降至53．3arcsec．结合快速生长和VTE技术,可以得到40mm×40mm高质量的铝酸钾晶片．